专利名称：一种单晶硅片清洗用水的回收利用方法
技术领域：
本发明涉及一种单晶硅片清洗用水的回收利用方法。
背景技术：
目前，在单晶硅片的生产过程中，需要用水进行清洗，通常情况下，一般要经过自 来水超洗一自来水鼓泡超洗一药品+纯水超洗第一次一药品+纯水超洗第二次一纯水超洗 第一次一纯水超洗第二次一纯水超洗第三次一纯水超洗第四次，总共要经过八道用水，每 道用水完毕后均排放掉，且纯水需要通过制水设备制得，其分离出的浓水也要排放掉，这不 但需要消耗大量的水资源，而且排放的越多，给环境带来不利的影响越大。
发明内容
本发明的目的是提供能节约和回收利用水资源，有利于环境保护的一种单晶硅片 清洗用水的回收利用方法。本发明采取的技术方案是一种单晶硅片清洗用水的回收利用方法，其单晶硅片 的清洗需要经过超洗(第一道)一鼓泡超洗(第二道)一药品+纯水超洗第一次(第三 道)一药品+纯水超洗第二次(第四道)一纯水超洗第一次(第五道)一纯水超洗第二次 (第六道)一纯水超洗第三次(第七道)一纯水超洗第四次(第八道)，且其中需要利用制 水设备将自来水分离成纯水和浓水，其特征在于把纯水超洗第三(第七道)、纯水超洗第四 次(第八道)后的排放水回收，并与浓水混合后，该混合水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然 后用于超洗(第一道)，之后排放处理，也可以分别用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一 道)，再各自排放处理；或是将上述所制得的浓水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然后用于超 洗(第一道)，之后排放处理，也可以分别用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一道)，再各 自排放处理。采用本发明，不仅可节约大量用水，节省成本，也可减少废水排放，有利于环保。
具体实施例方式下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。实施例一1、单晶硅片的清洗工艺超洗一鼓泡超洗一药品+纯水超洗第一次一药品+纯水 超洗第二次一纯水超洗第一次一纯水超洗第二次一纯水超洗第三次一纯水超洗第四次，2、先利用制水设备，将自来水分离成纯水和浓水。3、将纯水分别通过不同管道，用于药品+纯水超洗第一次(第三道)、药品+纯水 超洗第二次(第四道)、纯水超洗第一次(第五道)、纯水超洗第二次(第六道)、纯水超洗第 三次(第七道)、纯水超洗第四次(第八道)。然后，对药品+纯水超洗第一次(第三道)、 药品+纯水超洗第二次(第四道)、纯水超洗第一次(第五道)、纯水超洗第二次(第六道) 的用水排放处理。
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4、将之前所述的纯水超洗第三次(第七道)和纯水超洗第四次(第八道)的用水 回收，与浓水进行混合后，让混合水先进入硅片清洗的鼓泡超洗(第二道)，然后再用于超 洗(第一道)，之后排放处理。或是将混合水分别用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一 道)，再各自排放处理。实施例二1、单晶硅片的清洗工艺超洗一鼓泡超洗一药品+纯水超洗第一次一药品+纯水 超洗第二次一纯水超洗第一次一纯水超洗第二次一纯水超洗第三次一纯水超洗第四次，
2、先利用制水设备，将自来水分离成纯水和浓水。3、将纯水分别通过不同管道，用于药品+纯水超洗第一次(第三道)、药品+纯水 超洗第二次(第四道)、纯水超洗第一次(第五道)、纯水超洗第二次(第六道)、纯水超洗第 三次(第七道)、纯水超洗第四次(第八道)。然后，对药品+纯水超洗第一次(第三道)、 药品+纯水超洗第二次(第四道)、纯水超洗第一次(第五道)、纯水超洗第二次(第六道) 的用水排放处理。4、将之前所述的浓水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然后用于超洗(第一道)，之 后排放处理处理。或是将之前所述的浓水分别用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一道)， 再各自排放处理。
权利要求
1. 一种单晶硅片清洗用水的回收利用方法，其单晶硅片的清洗需要经过超洗(第一 道)一鼓泡超洗(第二道)一药品+纯水超洗第一次(第三道)一药品+纯水超洗第二次 (第四道)一纯水超洗第一次(第五道)一纯水超洗第二次(第六道)一纯水超洗第三次 (第七道)一纯水超洗第四次(第八道)，且其中需要利用制水设备将自来水分离成纯水和 浓水，其特征在于把纯水超洗第三(第七道)、纯水超洗第四次(第八道)后的排放水回收， 并与浓水混合后，该混合水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然后用于超洗(第一道)，之后排 放处理，也可以分别用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一道)，再各自排放处理；或是将 上述所制得的浓水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然后用于超洗(第一道)，之后排放处理， 也可以分别用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一道)，再各自排放处理。
全文摘要
本发明涉及一种单晶硅片清洗用水的回收利用方法，其单晶硅片的清洗需要经过超洗→鼓泡超洗→药品+纯水超洗第一次→药品+纯水超洗第二次→纯水超洗第一次→纯水超洗第二次→纯水超洗第三次→纯水超洗第四次，且其中需要利用制水设备将自来水分离成纯水和浓水；只要把上述的纯水超洗第三、纯水超洗第四次后的排放水回收，并与浓水混合后，该混合水可先用于鼓泡超洗，然后用于超洗，之后排放处理，也可以分别用于鼓泡超洗和超洗，再各自排放处理；或是将上述所制得的浓水可先用于鼓泡超洗，然后用于超洗，之后排放处理，也可以分别用于鼓泡超洗和超洗，再各自排放处理。采用本发明，不仅可节约大量用水，节省成本，也可减少废水排放，有利于环保。
文档编号C02F1/00GK102001715SQ20101051926
公开日2011年4月6日 申请日期2010年10月23日 优先权日2010年10月23日
发明者余城伟, 徐增宏, 方明游, 王土军 申请人:浙江硅宏电子科技有限公司