清洗装置和蚀刻系统的制造方法

文档序号:11412749阅读:239来源:国知局
清洗装置和蚀刻系统的制造方法
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种清洗装置和蚀刻系统。

背景技术:
在将玻璃原料加工成衬底玻璃时,需要利用蚀刻液进行减薄处理时,以形成符合要求的衬底玻璃。其中,在进行减薄处理过程中,为提升蚀刻液与玻璃的反应速率和反应均一性,往往会在蚀刻槽的底部设置一些曝气管,这些曝气管设置有若干个孔径小于1mm的出气孔。然而,随着减薄处理的进行,蚀刻液与玻璃反应后生成的氟硅酸盐(即玻璃砂)会沉积在蚀刻槽底部,此时,在曝气管上也会沉积一些氟硅酸盐,从而造成出气孔的堵塞,气泡搅拌效果下降,玻璃原料刻蚀不均匀等问题。为解决上述技术问题,现有技术中往往是每隔一段时间就需对曝气管进行一次人工清洗。然而,采用这种人工清洗的方式,不仅耗时较长,而且操作困难,尤其是对于一些角落位置,清洗难度较大

技术实现要素:
本发明提供一种清洗装置和蚀刻系统,可以快速、便捷的对蚀刻中的曝气管进行清洗。为实现上述目的,本发明提供了一种清洗装置,用于对蚀刻槽中的曝气管进行清洗,包括:超声波发生装置和隔离层,所述隔离层设置在所述超声波发生装置的外部;所述超声波发生装置用于产生并发射超声波,以对所述曝气管进行超声波清洗;所述隔离层用于隔离所述超声波发生装置和所述蚀刻槽中的蚀刻液,以避免超声波发生装置与所述蚀刻液接触。可选地,所述超声波发生装置包括:超声波振板和导线,所述导线与超声波振板连接;所述导线用于在与电源连接后向所述超声波振板传输电能,以供所述超声波振板产生超声波。可选地,所述隔离层为冷镀于所述超声波振板的表面的铁氟龙膜。可选地,所述隔离层为隔离槽,所述超声波振板位于所述隔离槽内,所述隔离槽和所述超声波振板之间设置有超声传导介质;所述超声波振板用于产生并发射超声波,以对与所述隔离槽的底部之间的距离处于预设范围内的所述曝气管进行超声波清洗。可选地,还包括:支撑结构,所述支撑结构设置于所述隔离槽的底部,所述支撑结构用于支撑所述超声波振板。可选地,所述隔离槽的底部设置有用于承载待处理玻璃原料的载台,所述支撑结构在所述载台的上表面的正投影位于所述载台的上表面所限定的区域内。可选地,还包括:固定结构,所述固定结构设置于所述超声波振板与所述隔离槽的侧壁之间;所述固定结构用于将所述超声波振板与所述隔离槽的侧壁固定。可选地,所述隔离槽的材料为:聚四氟乙烯或聚丙烯。可选地,所述隔离槽的底部的厚度小于或等于1mm。可选地,所述超声传导介质为水溶液。可选地,所述水溶液中溶解有紫色石蕊试剂。可选地,所述预设范围包括:0~150mm。可选地,还包括:快速接头,所述快速接头穿过所述隔离层,所述快速接头的两端分别与所述超声波振板和所述导线连接。可选地,所述导线的外部设置有不锈钢线管,所述不锈钢线管靠近所述隔离层的一端与所述快速接头连接,以使得所述不锈钢线管内的所述导线与所述快速接头连接。可选地,所述不锈钢线管远离所述隔离层的一端设置有手把。可选地,所述快速接头和所述不锈钢线管的表面设置有保护层,所述保护层的材料为塑料。可选地,所述超声波振板的材料为316L不锈钢。为实现上述目的,本发明还提供了一种蚀刻系统,包括:清洗装置,所述清洗装置采用上述的清洗装置。本发明具有以下有益效果:本发明提供过了一种清洗装置和蚀刻系统,其中该清洗装置包括:超声波发生装置和隔离层,隔离层设置在超声波发生装置的外部;超声波发生装置用于产生并发射超声波,以对曝气管进行超声波清洗;隔离层用于隔离超声波发生装置和蚀刻槽中的蚀刻液,以避免超声波发生装置与蚀刻液接触。本发明的技术方案通过利用超声波发生装置,可快速、便捷地对蚀刻槽中的曝气管进行清洗,进而提升蚀刻系统稼动率。与此同时,隔离层可有效的保护超声波发生装置,以避免超声波发生装置被刻蚀液腐蚀,从而保证了清洗装置的使用寿命。附图说明图1为本发明实施例一提供的清洗装置的结构示意图;图2为图1中清洗装置的俯视图;图3为本发明实施例二提供的清洗装置的结构示意图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合附图对本发明提供的清洗装置和蚀刻系统进行详细描述。实施例一图1为本发明实施例一提供的清洗装置的结构示意图,图2为图1中清洗装置的俯视图,如图1和图2所示,该清洗装置用于对蚀刻槽1中的曝气管2进行清洗,包括:超声波发生装置3和隔离层,隔离层设置在超声波发生装置3的外部;超声波发生装置3用于产生并发射超声波,以对曝气管2进行超声波清洗;隔离层用于隔离超声波发生装置3和蚀刻槽5中的蚀刻液,以避免超声波发生装置3与蚀刻液6接触。本发明的技术方案通过利用超声波发生装置3,可快速、便捷地对蚀刻槽1中的曝气管2进行清洗。与此同时,隔离层可有效的保护超声波发生装置3,以避免超声波发生装置3被刻蚀液腐蚀,从而保证了清洗装置的使用寿命。本实施例中,超声波发生装置3具体包括:超声波振板302和导线301,导线301与超声波振板302连接;导线301用于在与电源连接后向超声波振板302传输电能,以供超声波振板302产生超声波。参见图1所示,该隔离层为隔离槽5,超声波振板302位于隔离槽5内,隔离槽5和超声波振板302之间设置有超声传导介质8;超声波振板302用于产生并发射超声波,以对与隔离槽5的底部之间的距离处于预设范围内的曝气管2进行超声波清洗。本实施例中,可选地,超声波振板302的材料为316L不锈钢,采用316L不锈钢来制备超声波振板302,可在保证稳定输出超声波的同时,还能有效的降低设备成本。下面将对本发明提供的清洗装置的清洗过程及原理进行详细的说明。首先,将隔离槽5移至蚀刻槽1(蚀刻槽1中有蚀刻液6)中;然后,将超声波发生装置3中的导线301与电源接通;此时,超声波振板302产生超声波,该超声波通过超声传导介质8传递至隔离槽5,并穿透过隔离槽5,穿透过隔离槽5的超声波通过蚀刻液6传递至曝气管2处,从而对曝气管2进行清洗;最后,待清洗完成之后,将隔离槽5移出蚀刻槽1。本实施例中,可选地,隔离槽5的材料为隔离槽5的材料为:聚四氟乙烯或聚丙烯。由于聚四氟乙烯或聚丙烯具有良好的耐蚀刻液腐蚀性,因此可有效的隔离超声波振板302和蚀刻液6,从而起到保护超声波振板302的作用。需要说明的是,虽然超声波不容易穿透高分子塑料,但是发明人在实际实验中发现,采用聚四氟乙烯或聚丙烯来制备隔离槽5,且其厚度小于或等于1mm时,会有少部分的超声波可穿透出来,且在隔离槽5外部距离隔离槽5外表面0~150mm范围内,穿透隔离槽5的超声波仍具备清洗功能。因此,基于对于护超声波振板302的保护需求以及对曝气管2的清洗需求,本实施例中可选择利用聚四氟乙烯或聚丙烯来制备隔离槽5。需要说明的是,在实际的蚀刻槽1中,该蚀刻槽1的底部设置有载台7,该载台7用于承载被蚀刻的玻璃原料。为此,在利用本实施例提供的清洗装置对曝气管2进行清洗时,可将利用该载台7来承载隔离槽5。当隔离槽5放置与载台7上后,通过导线301将电能输送至超声波振板302,从而进行对曝气管2的清洗。为保证超声波振板302产生的超声波在穿透隔离槽5后能对下方的曝气...
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