1.一种坩埚喷淋器,包括清洗台(1)和设置在清洗台(1)上的清洗室(2),所述清洗台(1)构成清洗室(2)的底面,所述清洗台(1)上平行设有坩埚固定盘(3),所述坩埚固定盘(3)转动连接在清洗台(1)上,其特征是:所述坩埚固定盘(3)中间设有清洗孔(4),所述清洗孔(4)内伸出有内壁清洗喷头(5),所述清洗室(2)侧壁上固定有外壁清洗喷头(6)。
2.根据权利要求1所述的坩埚喷淋器,其特征是:所述内壁清洗喷头(5)有若干个,且均连接在内壁清洗管(7)上,所述内壁清洗管(7)一端固定在清洗室(2)内壁上,另一端从坩埚固定盘(3)的清洗孔(4)底端向清洗孔(4)顶端穿出。
3.根据权利要求2所述的坩埚喷淋器,其特征是:所述内壁清洗管(7)穿过清洗孔(4)的一端设有用于喷洗坩埚底部的内底清洗喷头(9)。
4.根据权利要求3所述的坩埚喷淋器,其特征是:所述内壁清洗喷头(5)位于内壁清洗管(7)靠近坩埚固定盘(3)的一侧,且相邻内壁清洗喷头(5)之间相互平行。
5.根据权利要求1所述的坩埚喷淋器,其特征是:所述外壁清洗喷头(6)有若干个,且均连接在外壁清洗管(8)上,所述外壁清洗管(8)一端固定在清洗室(2)内壁上,另一端沿清洗室(2)内壁一直延伸到清洗室(2)顶部。
6.根据权利要求5所述的坩埚喷淋器,其特征是:所述外壁清洗管(8)延伸到清洗室(2)顶部的一端设有用于喷洗坩埚底部的外底清洗喷头(10),所述外底清洗喷头(10)正对清洗孔(4)中心。
7.根据权利要求6所述的坩埚喷淋器,其特征是:所述外壁清洗喷头(6)均朝向坩埚固定盘(3)。
8.根据权利要求7所述的坩埚喷淋器,其特征是:所述外壁清洗喷头(6)均垂直于所述外壁清洗管(8),且相邻外壁清洗喷头(6)之间的距离相等。
9.根据权利要求8所述的坩埚喷淋器,其特征是:所述外壁清洗管(8)由清洗室(2)内壁过渡到清洗室(2)顶部处设有弯折段(22),所述弯折段(22)上的外壁清洗喷头(6)垂直于其所在切线。
10.根据权利要求4或9所述的坩埚喷淋器,其特征是:所述外壁清洗喷头(6)与所述内壁清洗喷头(5)相对设置。