坩埚喷淋器的制作方法

技术总结
一种坩埚喷淋器，属于坩埚清洗设备领域，包括清洗台和设置在清洗台上的清洗室，清洗台构成清洗室的底面，清洗台上平行设有坩埚固定盘，坩埚固定盘转动连接在清洗台上，其坩埚固定盘中间设有清洗孔，清洗孔内伸出有内壁清洗喷头，清洗室侧壁上固定有外壁清洗喷头，本方案可以将坩埚内外表面完全喷淋清洗。

技术研发人员：徐晓军;朱国平;舒晓峰;季军
受保护的技术使用者：江阴龙源石英制品有限公司
文档号码：201620875013
技术研发日：2016.08.12
技术公布日：2017.02.22