清洗装置的制作方法

技术特征：

技术总结
清洗装置(1)具有：加热单元(5)，其对基板(W)的清洗面进行加热；清洗单元(6)，其向基板(W)的清洗面供给臭氧水而对清洗面进行清洗；以及控制单元(7)，其对清洗面的加热和清洗液的供给进行控制，以使得在对基板(W)的清洗面进行了加热之后对清洗面进行清洗。

技术研发人员：小泽卓;横山俊夫;户川哲二
受保护的技术使用者：株式会社荏原制作所
技术研发日：2017.01.06
技术公布日：2017.07.14