一种ALD机台载板自动清洁装置的制作方法

本实用新型涉及光伏技术领域，尤其涉及一种ALD机台载板自动清洁装置。

背景技术：

ALD机即原子层沉积机，是生产用于光伏组件的工业型钝化发射极背面接触(PERC)单晶硅太阳能电池的主要设备之一。在生产过程中，载板上会残留碎片和掉渣，通常需要人工用吸尘器对载板进行清理。当使用吸尘器清理时，吸尘器容易产生扬尘，会对车间的无尘环境产生影响，同时也可能污染电池片。而且载板较大，采用人工清理较为不便，需要来回跑动更换不同位置清理，人工清理效率偏低，造成停机时间较长，影响产能。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有技术之不足，本实用新型提供一种结构简单、成本较低、操作简单、可调节性强，无需人力即可高效清洁载板上的碎片及掉渣的ALD机台载板自动清洁装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种ALD机台载板自动清洁装置，安装于ALD机台载板进腔等待区域或上下片区域，所述的ALD机台载板进腔等待区域或上下片区域具有机台框架，所述载板位于机台框架下，包括螺纹连接在机台框架载板进入一侧的条刷，所述的机台框架位于载板进腔一侧两端分别对称开有固定螺孔，所述条刷上对应固定螺孔处分别开有一个待机孔和至少三个在垂直于载板方向上高度不同的微调螺孔；在垂直于载板方向上，所述待机孔高度低于所有微调螺孔；所述的条刷通过螺栓插入待机孔或微调螺孔后并与固定螺孔锁紧而固定与机台框架上。在机台空跑时，可根据需要将条刷固定在机台框架上。当条刷与机台框架通过待机孔和固定螺孔螺纹紧固连接时，条刷在竖直方向上位于最高，条刷抬离载板位置，处于待机状态。当条刷与机台通过微调螺孔和固定螺孔螺纹紧固链接式，条刷下部可压接在载板上，当载板前进时，则可刷过载板，将载板上的碎片和掉渣一并清理。不同高度的微调螺孔则可调整条刷的下压力度，达到更好的清洁效果，保证载板清洁且无扬尘困扰。

进一步的，为了更加方便安装并调整条刷，机台框架沿载板运动方向截面为L型折弯结构，机台框架的L型折弯结构的折弯部向下方载板方向折弯，所述的固定螺孔位于L型折弯形成的横梁上。

更进一步的，条刷包括条形固定板和分别插接在条形固定板底部的刷毛，所述待机孔和微调螺孔开在条形固定板上并通过螺栓与折弯部锁紧。条刷的条形固定板和刷毛可采用一体式结构，也可采用分体式结构。采用插接分体式结构的刷毛，在清洁后可根据需要拆下更换磨损的刷毛，而无需更换整条条刷，可在一定程度上降低维护成本。

优选的，刷毛材质可选用尼龙丝。尼龙丝具有耐高温、耐磨、高硬度、回弹力好等优点。

本实用新型的有益效果是，本实用新型提供的一种ALD机台载板自动清洁装置，通过待机孔、微调螺孔与固定螺孔的配合，可在无需人力的情况下，通过条刷高效清理载板上的碎片及掉渣，有效减少机台停机时间，增加产能并节约人力成本。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型最优实施例的结构示意图。

图2是图1中A处的放大示意图。

图中1、机台框架 1-1、横梁 2、载板 3、条刷 3-1、条形固定板 3-2、刷毛 4、待机孔 5、微调螺孔。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1和图2所示的一种ALD机台载板自动清洁装置，是本实用新型最优实施例，安装于ALD机台载板2进腔等待区域或上下片区域。ALD机台载板2进腔等待区域或上下片区域具有机台框架1，所述载板2位于机台框架1下。ALD机台载板自动清洁装置包括螺纹连接在机台框架1载板2进入一侧的条刷3，为了更加方便安装并调整条刷3，机台框架1沿载板2运动方向截面为L型折弯结构，机台框架1的L型折弯结构的折弯部向下方载板2方向折弯，所述的固定螺孔位于L型折弯形成的横梁1-1上。

机台框架1位于载板2进腔一侧两端分别对称开有固定螺孔，所述条刷3上对应固定螺孔处分别开有一个待机孔4和三个在垂直于载板2方向上高度不同的微调螺孔5；在垂直于载板2方向上，所述待机孔4高度低于所有微调螺孔5。所述的条刷3通过螺栓插入待机孔4或微调螺孔5后并与固定螺孔锁紧而固定与机台框架1上。

条刷3包括条形固定板3-1和分别插接在条形固定板3-1底部的刷毛3-2，刷毛3-2材质可选用尼龙丝。尼龙丝具有耐高温、耐磨、高硬度、回弹力好等优点。待机孔4和微调螺孔5开在条形固定板3-1上并通过螺栓与折弯部锁紧。条刷3的条形固定板3-1和刷毛3-2可采用一体式结构，也可采用分体式结构。采用条形固定板3-1和刷毛3-2一体结构式的条刷3，仅通过螺栓即可完成条刷3的安装，拆卸清洗维护更为方便。而采用插接分体式结构的刷毛3-2，在清洁时可根据需要，从条形固定板3-1上拆下并更换已磨损的刷毛3-2，而无需更换整条条刷3，可在一定程度上降低维护成本。

在机台空跑时，可根据需要将条刷3固定在机台框架1上。当条刷3与机台框架1通过待机孔4和固定螺孔螺纹紧固连接时，条刷3在竖直方向上位于最高，条刷3抬离载板2位置，处于待机状态。当条刷3与机台通过微调螺孔5和固定螺孔螺纹紧固链接式，条刷3下部可压接在载板2上，当载板2前进时，则可刷过载板2，将载板2上的碎片和掉渣扫除清理。当需要调节条刷3的下压力度时，则可选择不同高度的微调螺孔5，用以达到更好的清洁效果，保证载板2清洁。

如此设计的一种ALD机台载板自动清洁装置，通过待机孔4、微调螺孔5与固定螺孔的配合，在机台空跑时，即可在无需人力和吸尘器的情况下，通过条刷3高效清理载板2上的碎片及掉渣，有效减少机台停机时间，增加产能并节约人力成本，且不会扬尘，对车间无尘环境无影响，不会污染电池片。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。