一种晶硅切片机自动清洗装置的制作方法

文档序号:15499715发布日期:2018-09-21 22:24阅读:505来源:国知局

本发明涉及晶硅切片机的清洗技术领域,具体是一种晶硅切片机的自动清洗装置。



背景技术:

在传统的晶硅切片机切割区域内没有自动清洗装置,每次/班次切割完成后,都需要人工清洗切割区域,将附着在侧壁、护罩等上面的硅粉冲刷干净,避免硅粉长期堆积引起跳线、断线等异常情况,进而影响切割质量,甚至导致硅棒报废。但是人工清洗时,需要工人左右不断的移动、调整,费时费力,而且人工清洗容易将清洗用水喷洒到设备外面,存在大量清洗死角,清洗效率和质量不佳。因此,迫切需要一种能够自动清洗晶硅切片机的清洗装置,以实现晶硅切片的自动化生产。



技术实现要素:

为了解决现有技术中的晶硅切片机的清洗无法实现自动化、清洗质量不佳的技术问题,本发明提供了一种晶硅切片机自动清洗装置。

为了解决上述技术问题,本发明采用以下技术方案:

一种晶硅切片机自动清洗装置,包括分流清洗组件、左转向轮清洗组件、右转向轮清洗组件、侧面清洗组件、前侧清洗组件和后侧清洗组件;

其中,分流清洗组件包括第一分流管、第二分流管、喷嘴和水管接头,第一分流管和第二分流管分别通过分流管支架安装在机架上,喷嘴通过万向球头安装在第一分流管中间位置,数个水管接头安装在喷嘴两侧的第一分流管上,第二分流管上安装数个水管接头;

左转向轮清洗组件和右转向轮清洗组件结构相同,包括左清洗阀块或右清洗阀块、喷嘴和水管接头,水管接头安装在左清洗阀块或右清洗阀块上,喷嘴通过万向球头安装在左清洗阀块或右清洗阀块上;

侧面清洗组件包括上、下两侧面清洗阀块、上、下两调整支架、喷嘴和水管接头,下调整支架安装在切割室框架上,上调整支架和下调整支架上下连接,两侧面清洗阀块上下安装在上调整支架上,上调整支架和下调整支架的架面上开设能够调整支架上下左右移动的长腰孔,水管接头安装在上下侧面清洗阀块上,喷嘴通过万向球头安装在上下侧面清洗阀块上;

前侧清洗组件和后侧清洗组件结构相同,均包括前侧或后侧清洗阀块、喷嘴和水管接头,喷嘴通过万向球头安装在前侧或后侧清洗阀块上,水管接头安装在前侧或后侧清洗阀块上;

第一分流管和第二分流管上的其中一个水管接头与气源管路连接,气源管路中的压缩空气可将分流管内的水压送至各个清洗组件,其他水管接头通过水管分别与左转向轮清洗组件、右转向轮清洗组件、侧面清洗组件、前侧清洗组件和后侧清洗组件的水管接头连接。

左转向轮清洗组件的左清洗阀块和右转向轮清洗组件的右清洗阀块均通过清洗支架分别安装在左、右转向轮的滑动座上,用于清洗左、右转向轮。

侧面清洗组件的上侧面清洗阀块为四通阀块,上面安装三个不同朝向的喷嘴,下侧面清洗阀块为三通阀块,上面安装二个不同朝向的喷嘴;侧面清洗组件的数量为两个,对称安装在切割室两侧顶部的框架上,对称分布的侧面清洗组件用于清洗进给护罩两侧和切割室防护罩两侧。

前侧清洗组件的前端清洗阀块为三通阀块,上面安装两个不同朝向的喷嘴,后侧清洗组件的后清洗阀块上安装一个朝向的喷嘴;前侧清洗组件为两组,均安装在切割室的前侧,用于清洗进给护罩前侧和切割室前壁;分流清洗组件和后侧清洗组件安装在切割室后侧,用于清洗进给护罩和切割室后壁。

作为优选,第一分流管水管接头与上两侧清洗阀块和前侧清洗阀块相连通,第二分流管的水管接头与左右转向轮清洗阀块、下两侧清洗阀块和后侧清洗阀块相连通。

作为优选,自动清洗装置还包括水源管路,水源管路与第一分流管和第二分流管连通。

作为优选,水源管路和气源管路上均安装受控于控制系统的电磁阀。

本发明提供的万向球头可以调整喷嘴的喷洒方向,减少清洗的死角;喷嘴可以根据清洗的需要更换不同规格和形式的喷嘴。

分流组件、左右转向轮清洗组件、侧面清洗组件、前侧清洗组件和后侧清洗组件分别固定在切割室框架的四周。

本发明提供的晶硅切片机自动清洗装置与人工清洗相比,具有以下有益技术效果:自动清洗装置通过控制系统调整电磁阀的通断,使清洗过程完全自动化,无需人工操作,减少了准备时间和工作量,又提高了设备的自动化程度,减少了设备的外接管路的同时又提升了设备的外观;对各个需要清洗部位进行全方位的有针对性的清洗,根据清洗部分的重要性分步完成自动冲洗,减少清洗死角,提高清洗质量。

附图说明

图1为本发明所提供的晶硅切片机自动清洗装置的结构示意图;

图2为本发明所提供的晶硅切片机自动清洗装置的立体结构示意图;

图3为本发明所提供的晶硅切片机自动清洗装置的另一结构示意图;

图4为本发明所提供的分流清洗组件的结构示意图;

图5为本发明所提供的左、右转向轮清洗组件的结构示意图;

图6为本发明所提供的侧面清洗组件的结构示意图;

图7为本发明提供的前、后侧清洗组件的结构示意图。

具体实施方式

本发明旨在提供一种晶硅切片机自动清洗装置,以解决现有技术中晶硅切片机的清洗无法实现自动化、清洗质量不佳的技术问题。

为了使本领域技术人员能够更好的理解本发明,下面结合具体实施方式和附图对本发明作进一步的详细说明。

一种晶硅切片机自动清洗装置,包括分流清洗组件1、左转向轮清洗组件2、右转向轮清洗组件3、侧面清洗组件4、前侧清洗组件5和后侧清洗组件6;各部件的具体结构如下:

分流清洗组件包括第一分流管101、第二分流管102、喷嘴14和水管接头15,第一分流管101和第二分流管102分别通过分流管支架103安装在机架上,喷嘴14通过万向球头13安装在第一分流管101中间位置,数个水管接头安装在喷嘴两侧的第一分流管101上,第二分流管102上安装数个水管接头15;

左转向轮清洗组件2和右转向轮清洗组件3结构相同,包括左清洗阀块201或右清洗阀块301、喷嘴14和水管接头15,水管接头15安装在左清洗阀块201或右清洗阀块301上,喷嘴14通过万向球头13安装在左清洗阀块201或右清洗阀块301上;左转向轮清洗组件的左清洗阀块201和右转向轮清洗组件的右清洗阀块301均通过清洗支架202、203分别安装在左、右转向轮的滑动座203、303上。

侧面清洗组件包括上、下两侧面清洗阀块401和402、上、下两调整支架403和404、喷嘴14和水管接头15,下调整支架404安装在切割室框架上,上调整支架403和下调整支架403上下固定连接,两侧面清洗阀块401和402上下安装在上调整支架403上,上调整支架403和下调整支架404的架面上开设能够调整支架上下左右移动的长腰孔405,水管接头15安装在上下侧面清洗阀块401和402上,喷嘴14通过万向球头13安装在上下侧面清洗阀块401和402上;侧面清洗组件的上侧面清洗阀块401为四通阀块,上面安装三个不同朝向的喷嘴,下侧面清洗阀块402为三通阀块,上面安装二个不同朝向的喷嘴;侧面清洗组件的数量为两个,对称安装在切割室两侧顶部的框架上。

前侧清洗组件和后侧清洗组件结构相同,均包括前侧或后侧清洗阀块501、601、喷嘴14和水管接头15,喷嘴14通过万向球头13安装在前侧或后侧清洗阀块501、601上,水管接头15安装在前侧或后侧清洗阀块501、601上;前侧清洗组件的前端清洗阀块501为三通阀块,上面安装两个不同朝向的喷嘴,后侧清洗组件的后清洗阀块601上安装一个朝向的喷嘴;分流清洗组件1和后侧清洗组件6安装在切割室后侧;前侧清洗组件5为两组,均安装在切割室的前侧。

第一分流管102和第二分流管102上的其中一个水管接头与气源管路12连接,其他水管接头通过水管16分别与左转向轮清洗组件、右转向轮清洗组件、侧面清洗组件、前侧清洗组件和后侧清洗组件的水管接头连接;上两侧清洗阀块401和前侧清洗阀块501与第一分流管101相连,左右转向轮清洗阀块201和301、下两侧清洗阀块402、后侧清洗阀块601与第二分流管102相连。

在一种优选的实施方式中,自动清洗装置还包括水源管路11,水源管路11与第一分流管101和第二分流管102连通;水源管路11和气源管路12上均安装电磁阀7、8、9、10。

气源通过气源管路12、电磁阀7和10将压缩空气分别输送到第一分流管101和第二分流管102中,水源通过水源管路16、电磁阀8和9将清洗用水分别输送到第一分流管101和第二分流管102中,压缩空气将分流管内的清洗用水压送至各清洗组件。

因工厂供液、供气的压力和流量比较恒定,所有喷嘴14同时开启时,喷嘴14喷射出的清洗用水压力和流量都比较小,清洗效果不明显,为获得较好的清洗效果,根据清洗部位的重要性,将清洗过程分成两步。切片完成后进给机构上升,进给防护罩收缩,此时先开启电磁阀7和电磁阀8,给第一分流管101供液供气,在进给防护罩收缩完全前,完成进给防护罩和切割室前后侧壁的清洗;随后关闭电磁阀7和电磁阀8,开启电磁阀9和电磁阀10,给第二分流管102供液供气,冲洗左右转向轮和切割室防护罩。

以上对本发明所提供的一种晶硅切片机自动清洗装置进行了详细的介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法和中心思想。应当指出,对于本技术领域的一般技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以对本发明进行若干改进和修饰,这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

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