一种半导体真空管路弹簧刮刀的制作方法

本发明涉及一种半导体领域，具体是一种半导体真空管路弹簧刮刀。

背景技术：

半导体(semiconductor)，指常温下导电性能介于导体(conductor)与绝缘体(insulator)之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。

半导体产业在生产过程中排出的废气，容易在弯头处或废气处理机内部(反应腔体与进气管连接处)堵塞问题。现有技术是在废气管壁外包裹加热带(防火布与加热丝制作)，将管壁温度升到100-170度左右，可以解决部分制程中产生的废气管路拥堵问题，废气处理机内反应腔体与进气管连接管路处堵塞问题无法解决。因此，本领域技术人员提供了一种半导体真空管路弹簧刮刀，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种半导体真空管路弹簧刮刀，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种半导体真空管路弹簧刮刀，包括电机、c型支架、传动轴、固定盘和弹簧支架，所述电机下侧固定安装有c型支架，所述c型支架下端安装有固定盘，所述固定盘内部设置有传动轴，所述传动轴上端设置在c型支架内部，所述传动轴下侧通过固定螺丝与弹簧支架进行固定连接，所述弹簧支架下侧固定安装有弹簧刮刀，所述弹簧刮刀的材质为刚性材质。

作为本发明进一步的方案：所述固定盘内部设置密封圈，用于防止真空管路内废气与外部相通泄漏。

作为本发明进一步的方案：所述传动轴与固定盘之间上下两端通过轴承进行连接，可以有效地达到旋转及固定的作用。

作为本发明再进一步的方案：所述传动轴上端与电机轴进行连接，方便电机的的传动。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：1)本发明的刮刀采用弹簧刮刀，由于弹簧本身可弯折的特性，这样可以有效地对管道内部的各个部位进行刮取，这样保证内部各个部位的通畅，而且弹簧刮刀为刚性材质，这样可以有效地进行防腐；

2)通过电机驱动传动轴进行旋转，这样可持续带动弹簧刮刀进行旋转工作，这样可以有效地保证设备的通畅。

附图说明

图1为一种半导体真空管路弹簧刮刀的爆炸示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。

一种半导体真空管路弹簧刮刀，包括电机8、c型支架7、传动轴5、固定盘3和弹簧支架2，所述电机8下侧固定安装有c型支架7，所述c型支架7下端安装有固定盘3，所述固定盘3内部设置密封圈4，可以有效地防止真空管路内废气与外部相通泄漏，所述固定盘3内部设置有传动轴5，所述传动轴5与固定盘3之间上下两端通过轴承6进行连接，可以有效地达到旋转及固定的作用，保证了传动轴5上下无法移动，将扭力更好的传到下侧的刮取设备上，这样方便设备的进行旋转刮取，从而保证了管道通畅，所述传动轴5上端设置在c型支架7内部，所述传动轴5上端与电机8的传动轴进行连接，通过电机8带动传动轴5转动，这样带动下侧的刮取设备进行转动，这样可以有效地方便了设备进行刮取，保证了管道内部的通畅，所述传动轴5下侧通过固定螺丝与弹簧支架2进行固定连接，所述弹簧支架2下侧固定安装有弹簧刮刀1，所述弹簧刮刀1的材质为刚性材质，这样可以有效地进行防腐，由于弹簧本身可弯折的特性，这样可以有效地对管道内部的各个部位进行刮取，这样保证内部各个部位的通畅。

本发明通过电机8驱动传动轴5进行转动，这样带动底部的弹簧刮刀1进行旋转，这样由于弹簧刮刀1的材质为刚性材质和弹簧本身的特性，这样弹簧刮刀1上部紧密及折弯设计，与弹簧支架2很好的配合将传动轴的扭力传至弹簧刮刀上面，保证弹簧刮刀达到最大扭力，这样可以方便保证管道内部的通畅。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种半导体真空管路弹簧刮刀，包括电机、C型支架、传动轴、固定盘和弹簧支架，所述电机下侧固定安装有C型支架，所述C型支架下端安装有固定盘，所述固定盘内部设置有传动轴，所述传动轴上端设置在C型支架内部，所述传动轴下侧通过固定螺丝与弹簧支架进行固定连接，所述弹簧支架下侧固定安装有弹簧刮刀，所述弹簧刮刀的材质为刚性材质。本发明通过电机驱动中间的传动轴进行转动，这样带动底部的弹簧刮刀进行旋转，这样可以有效地解决半导体生产过程中产生的废气管路的拥堵问题，这样可以有效地保证了刮刀管路各个部位的通畅。

技术研发人员：崔汉博;崔汉宽
受保护的技术使用者：上海高生集成电路设备有限公司
技术研发日：2018.07.06
技术公布日：2018.11.27