一种滚边清洗机载具装置的制作方法

本实用新型属于晶片清洗载具技术领域，具体涉及一种滚边清洗机载具装置。

背景技术：

随着半导体市场竞争的日趋激烈，降低能耗、节省成本、提升良率成为技术发展的核心，在晶片的清洗过程中，清洗液由位于晶片上方的喷头喷射于晶片上，高速的冲击力及下方晶片的转动产生的离心力使清洗液离开晶片表面，同时将一些颗粒等污物带走，从而达到清洗效果；传统的清洗装置只靠单纯的冲击力，无法有效去除附着于晶片上多量的粒子，尤其是部分粒子牢固地黏结在晶片的表面，因此清洗效果不佳，另外每次使用过的清洗液直接排掉，将会造成清洗液的浪费，给企业增加成本。传统滚边清洗载具装置晶片效率低,清洗好晶片表面由于晶片的清洗载具在清洗槽内是静止不动的，因此易出现砂痕,导致产品质量不稳定。

根据现有技术存在的问题，本实用新型提供一种提高清洗效率，并且防止晶片表面出现砂痕的滚边清洗机载具装置。

技术实现要素：

针对现有技术中存在的问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种滚边清洗机载具装置，包括清洗机，所述清洗机包括洗槽和电控箱，所述洗槽的两侧分别滑动连接有一滑块，所述洗槽内设有一具有向上开口的清洗篮，所述清洗篮的开口端连接有挡板，所述清洗篮两侧的所述挡板连接有固定连接板，所述固定连接板与所述滑块之间连接有固定螺栓，所述固定连接板上连接有传动连接板，所述传动连接板的一端与所述固定连接板固定连接，所述传动连接板的另一端穿过所述清洗机的机壁连接有设置在所述清洗机背部的驱动电机。

优选的，所述驱动电机通过所述传动连接板控制所述滑块在所述清洗机上滑动。

优选的，所述传动连接杆的另一端之间并列设有两个联动杆，所述联动杆相对的一面设有相互对应的条形卡槽，所述条形卡槽之间连接有第二联动板，所述驱动电机包括驱动轴，所述驱动轴与所述第二联动板之间设有第一联动板，所述驱动轴与所述第一联动板的一端连接，所述第二联动板与所述第一联动板的另一端之间连接有连接杆。

优选的，所述驱动电机控制所述的第一联动板以所述驱动轴为轴在水平面内进行转动。

优选的，所述联动杆之间设有限位板，所述限位板上设有与所述联动杆套接的限位穿孔。

优选的，所述清洗机的背部连接有位于所述驱动电机下方的支撑台，所述驱动轴穿过所述支撑台与所述第一联动板连接。

优选的，所述清洗篮的开口处设有一安装板，所述安装板上设有若干安装孔，所述安装孔处设有晶片筒。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过驱动电机、联动杆、传动连接板和滑块使清洗篮在洗槽内能够进晃动，使洗液对晶片具有一定的冲洗，能够将砂砾等杂质冲洗走；

2、晶片筒可以避免晶片之间发生碰撞；

3、限位板保证本实用新型的结构更加稳定。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型结构示意图，

图2是本实用新型结构示意图，

图3是本实用新型清洗机背部结构示意图，

图中标记为：1、清洗机；11、洗槽；12、电控箱；2、清洗篮；21、安装板；22、安装孔；23、晶片筒；3、挡板；31、固定连接板；32、固定螺栓；33、传动连接板；4、滑块；5、驱动电机；51、驱动轴；6、联动杆；61、条形卡槽；62、第二联动板；63、连接杆；7、支撑台；8、限位板；81、限位穿孔。

具体实施方式

下面结合附图描述本实用新型的优选实施方式：

如图1-图3所示，一种滚边清洗机载具装置，包括清洗机1，清洗机1包括洗槽11 和电控箱12，洗槽11的两侧分别滑动连接有一滑块4，洗槽11内设有一具有向上开口的清洗篮2，清洗篮2的开口端连接有挡板3，清洗篮2两侧的挡板3连接有固定连接板31，固定连接板31与滑块4之间连接有固定螺栓32，固定连接板31上连接有传动连接板33，传动连接板33的一端与固定连接板31固定连接，传动连接板33的另一端穿过清洗机1的机壁连接有设置在清洗机1背部的驱动电机5。

如图1-图3所示，驱动电机5通过传动连接板33控制滑块4在清洗机1上滑动。

如图1-图3所示，传动连接杆33的另一端之间并列设有两个联动杆6，联动杆6 相对的一面设有相互对应的条形卡槽61，条形卡槽61之间连接有第二联动板62，驱动电机5包括驱动轴51，驱动轴51与第二联动板62之间设有第一联动板52，驱动轴51 与第一联动板52的一端连接，第二联动板62与第一联动板52的另一端之间连接有连接杆63。

如图1-图3所示，驱动电机5控制的第一联动板52以驱动轴51为轴在水平面内进行转动。

如图1-图3所示，联动杆6之间设有限位板8，限位板8上设有与联动杆6套接的限位穿孔81。

如图1-图3所示，清洗机1的背部连接有位于驱动电机5下方的支撑台7，驱动轴51穿过支撑台7与第一联动板52连接。

如图1-图3所示，清洗篮2的开口处设有一安装板21，安装板21上设有若干安装孔22，安装孔22处设有晶片筒23。

以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行的详细说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同交换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。