石英晶片的清洗方法与流程

本发明涉及石英晶片加工领域，具体涉及一种石英晶片的清洗方法。

背景技术：

随着电子通信终端换代升级，对于压电石英器件也提出了更高的要求，尤其是在稳定性和小型化方面更为突出。压电石英器件中石英晶片是非常重要的组件之一，在石英晶片的加工过程中涉及到清洗清洁工序，清洗好后的晶片通过镀膜形成电极电路，若石英晶片清洗效果不佳将会直接影响到镀膜的效果，从而影响到后续成品质量，因此，清洗工序对最终产品质量有决定性因素的环节之一。

目前，石英晶体制造商的清洗方式是将一定数量的晶片放置在一个网篮中如图1所示，然后将多个网篮12一起放入清洗槽11中进行清洗，如图2所示，清洗干净后使用酒精进行脱水或者使用甩干的方式脱水，如图3所示，脱水后再进行烤干。该方案将多个晶片放置在同一个网篮中，由于晶片本身较薄，清洗时晶片之间很容易吸附在一起，片与片之间无法充分散开，而吸附在一起的晶片难以清洗干净，晶片清洗时，特别是在晶片干燥以后，能明显看到表面研磨砂的残留，清洗效果差。

有人为了解决晶片容易相互吸附的问题，研发了一种石英晶片的清洗装置。通过在单个清洗盒内对应只放置一个晶片，通过驱动电机带动清洗筒旋转，清洗液对清洗盒内的晶片进行冲刷清洗，同时，清洗盒与热风机的喷气头一一对应，清洗完后用热风机对每个清洗盒中的晶片进行干燥，如此使得每个清洗盒内的晶片充分干燥。该方案能够避免晶片堆叠以及清洗过程中发生磕碰损伤，同时保证晶片清洗和干燥彻底，但是该方案的清洗和干燥效率过低，不利于生产效率的提升。

技术实现要素：

本发明旨在克服上述现有技术的至少一种缺陷(不足)，提供一种清洗效果好、有助于提升镀膜质量及生产效率的石英晶片的清洗方法。

本发明采取的技术方案是：一种石英晶片的清洗方法，依次包括以下步骤：将石英晶片通过排片工序安装到镀膜夹具中；将安装好石英晶片的镀膜夹具放入清洗槽中进行清洗；将清洗好的镀膜夹具进行脱水甩干。

传统的石英晶片的清洗方法往往是在排片前将石英晶片集中清洗，清洗过程中石英晶片不可避免会出现吸附堆叠，导致石英晶片清洗不干净，从而影响到后续镀膜的质量。本发明提出了一种新的清洗方案，先将石英晶片在镀膜夹具上排片好后再清洗，如此能够有效确保在清洗过程中，每片石英晶片具有独立的清洗空间，能够受到全方位的清洗，从而去除石英晶片表面的颗粒杂质、粘附尘埃等杂质，清洗效果优异，有助于提升后续镀膜质量。同时，清洗后的石英晶片也无需从镀膜夹具上拆下来进行转移，可直接进行后续的镀膜步骤，大大简化了工艺的复杂程度，提高了生产效率。

同时，现有技术中，对清洗后的石英晶片往往需要用酒精进行脱水，一段时间后必须要更换新的酒精以防止清洗后的晶片再次污染，这样就导致需要使用大量的酒精，提高了生产成本。本发明采用甩干脱水的方式，免去了酒精的使用，降低了生产成本。

作为一种优选方案，对镀膜夹具的清洗具体为：将安装好石英晶片的镀膜夹具安装到一清洗提篮中，然后将所述清洗提篮置入清洗槽中。

为了便于清洗和转移，本方案将安装好石英晶片的镀膜夹具统一安装到一清洗提篮中，为了增加单次清洗的石英晶片数量，提高清洗效率。本方案采用了在一个清洗装置中放置多片镀膜夹具的方式，镀膜夹具之间设置一定的距离，保证每片镀膜夹具上的石英晶片有足够的清洗空间，能够受到全方位的清洗。

作为一种优选方案，为了便于操作者快速装卸镀膜夹具，本方案选用插入安装的方式在所述清洗提篮上设置多个导轨槽，所述导轨槽用于插入安装所述镀膜夹具。

作为一种优选方案，为了进一步提高清洗效率，同时避免清洗装置尺寸设计过长，所述导轨槽呈多列/多行设置，且相邻的两列/行的导轨槽为交错排列。本方案将导轨槽设置为呈行/列排列，且每行/列包含多个导轨槽，设置相邻列/行之间的导轨槽交错排列，也就是设置相邻列/行之间的镀膜夹具交错排列，能够有助于提升清洗效果。

作为一种优选方案，所述清洗提篮的侧面和/或底面设有开孔。

作为一种优选方案，对镀膜夹具的脱水具体为：将清洗好的镀膜夹具安装到一脱水提篮中，通过离心脱水的方式将石英晶片和镀膜夹具的水分甩干。

作为一种优选方案，设置所述脱水提篮设有多个导轨槽，所述导轨槽用于插入安装所述镀膜夹具。

作为一种优选方案，为了便于水分快速脱出，提高脱水效率，所述脱水提篮上设有脱水孔，所述脱水孔包括设于所述脱水提篮侧面的第一开窗孔。

作为一种优选方案，所述脱水孔还包括设置所述脱水提篮底面的第二开窗孔。设在脱水提篮底部的第二开窗孔可以让从镀膜夹具流出的水直接从第二开窗孔直接流出，有助于提升脱水效果。

在实际应用中，为了提高脱水效果和脱水效率，脱水提篮可以在保证其结构稳定的前提下，将第一开窗孔和第二开窗孔的面积设计到最大。

作为一种优选的方案，所述第二开窗孔的面积小于底面的面积；或，所有所述第二开窗孔的面积之和小于底面的面积。

作为一种优选方案，为了防止脱水不够充分，进一步保证石英晶片充分干燥，提高生产效率，镀膜夹具脱水后还包括烤干步骤：将脱水后的镀膜夹具放入烤干设备中烤干。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：提出了一种新的清洗方案，先将石英晶片在镀膜夹具上排片好后再清洗，如此能够有效确保在清洗过程中，每片石英晶片具有独立的清洗空间，能够受到全方位的清洗，从而去除石英晶片表面的颗粒杂质、粘附尘埃等杂质，清洗效果优异，有助于提升后续镀膜质量。同时，清洗后的石英晶片也无需从镀膜夹具上拆下来进行转移，可直接进行后续的镀膜步骤，大大简化了工艺的复杂程度，提高了生产效率。

附图说明

图1为现有技术中常用的石英晶片的清洗装置。

图2为现有技术中石英晶片的清洗方式示意图。

图3为现有技术中石英晶片的脱水方式示意图。

图4为安装有石英晶片的镀膜夹具的示意图。

图5为本实施例所提供的石英晶片的清洗装置的结构示意图。

图6为本实施例所提供的石英晶片的清洗装置的俯视图和左视图。

图7为实施例中脱水装置的结构示意图。

图8为实施例中脱水提篮安装有镀膜夹具的结构示意图。

附图标记：11.清洗槽；12.网篮；13.脱水装置的旋转支架；21/31.镀膜夹具；22.脱水提篮；23.离心支架；24.安装件；221.第一导轨槽；222.安装孔；223.第三开窗孔；224.支撑板；225.第四开窗孔；32.提篮；301.第一开窗孔；401.第二开窗孔；402.第二导轨槽；403.加强侧板。

具体实施方式

本发明附图仅用于示例性说明，不能理解为对本发明的限制。为了更好说明以下实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对于本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

实施例

本实施例提供了一种石英晶片的清洗方法，具体包括以下步骤：

(1)排片：先通过排片设备或人工排片的方式将石英晶片安装到镀膜夹具上，其中，本实施例中所采用的镀膜夹具如图4所示。

(2)清洗：将排片好的镀膜夹具安装到一清洗提篮上，其中，清洗提篮上设有多个导轨槽，镀膜夹具通过插入导轨槽的方式安装到清洗提篮上；将安装好镀膜夹具的清洗提篮放入清洗槽中进行清洗；

(3)脱水：将清洗好的镀膜夹具从清洗装置上取下，然后安装到一个脱水装置上，其中脱水装置包括多个设有多个导轨槽的脱水提篮，镀膜夹具通过插入导轨槽的方式安装到脱水提篮上；通过高速运转将石英晶片和镀膜夹具的水分甩干；

(4)烤干：将甩干后的镀膜夹具从脱水提篮中取下，然后放入烤干设备中烤干。

其中，烤干后的镀膜夹具可直接进行下一步的镀膜工序。

本实施例所提供的清洗方案，保证了在清洗过程中，每片石英晶片具有独立的清洗空间，能够受到全方位的清洗，从而去除石英晶片表面的颗粒杂质、粘附尘埃等杂质，清洗效果优异，有助于提升后续镀膜质量。同时，整个清洗过程中石英晶片也无需从镀膜夹具上拆下来进行转移，大大简化了各个步骤的复杂程度，提升了生产效率。

如图5和图6所示，本实施例还提供了一种适用于上述清洗方法的石英晶片的清洗装置，包括一上开口的提篮32。提篮32大致呈方形，中部还设有两条加强侧板403，将提篮32分成3个分区，每个分区都设有10条导轨槽402。其中，导轨槽402用来安装镀膜夹具31，石英晶片安装在镀膜夹具上。

如图5所示，本实施例所提供的清洗装置可放置3行镀膜夹具，每行两侧设置10根导轨槽，即1个清洗装置可放置30片镀膜夹具，镀膜夹具安装后高出提篮。如此，能够有效且能完全避免清洗时石英晶片之间吸附堆叠在一起，保证晶片清洗彻底，同时还不会影响清洗效率。

本实施例中，如图6的左视图所示，导轨槽402沿提篮32的两侧板上下贯穿底面。为便于把镀膜夹具插入提篮，导轨槽的顶部设置倒角，导轨槽的大小适配要安装的镀膜夹具。

本实施例中，在提篮与镀膜夹具相对的两侧各设置3个第一开窗孔301，第一开窗孔301的大小为40mm×35mm。同样，提篮底部设置3行4列第二开窗孔401，第二开窗孔的大小为50.5mm×35mm。

如图7所示，本实施例还提供了一种适用于上述清洗方法的石英晶片的脱水装置，包括脱水提篮22和离心旋转支架23。离心旋转支架23设有多个安装位，脱水提篮22安装于该安装位上。

如图8所示，脱水提篮22大致呈方形，上开口，提篮两侧分别设有突出的安装部，安装部上设有安装孔222。其中，该安装部还可便于操作人员握持，在实际应用中也可以不设置安装部，直接把安装孔222设于脱水提篮的两侧面。

脱水提篮22的其中一对侧面上平行设置有若干用于安装镀膜夹具21的导轨槽221，另一对侧面上设有第一开窗孔225；其底板设有第二开窗孔223。在本实施例中，设有两个第二开窗孔223，两第二开窗孔223设在底板的两侧，如此形成了底板中间剩余支撑板224，支撑板224用于支撑镀膜夹具21。在实际应用中，还可以设置第二开窗孔223设置于提篮底部的中间，但是第二开窗孔223长和宽都小于提篮的底面，或者设置第二开窗孔223设于提篮底面的中部，与导轨槽所在的侧面相接的底面部分保留。

其中，导轨槽221可以沿着提篮的侧面延伸至提篮底板上，同时为了便于将镀膜夹具插入提篮，导轨槽221的顶部设置有倒角，导轨槽的大小适配要安装的镀膜夹具的尺寸。

在本实施例中，第一开窗孔225的大小为60mm×47.5mm；第二开窗孔223的大小为76mm×17.5mm。

在实际应用中，本实施例所提供的脱水装置是用于给清洗后的石英晶片进行脱水。安装好石英晶片镀膜夹具且清洗好后如图6所示，将此镀膜夹具安装在脱水提篮中如图5所示，安装好后通过高速运转将晶片和镀膜夹具的水分甩干。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明技术方案所作的举例，而并非是对本发明的具体实施方式的限定。凡在本发明权利要求书的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。