一种带一体式滚轮的链式清洗机的制作方法

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种链式清洗机，特别是一种带一体式滚轮的链式清洗机。

背景技术：

硅片在扩散过程中，虽然采用背靠背扩散，但硅片的边缘将不可避免地扩散上磷；PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路。利用HNO3和HF的混合液体对扩散后硅片下表面和边缘进行腐蚀，去除边缘的N型硅，使得硅片的上下表面相互绝缘，在此过程中需用到一种硅片传送滚轮，使得硅片在清洗机内传送并使液体与硅片只在下表面和硅片边缘发生反应。

现有输送辊上具有凸槽并另加装氟胶圈，氟胶圈成本较高，两个月左右正常使用的氟胶圈部分会发生不规则膨胀变形，在传送过程中硅片会发生上下起伏，造成边缘过刻或刻蚀不足，严重影响产品的质量和效率，此时1200个氟胶圈就必须得更换，6个人徒手需更换需要2个小时，提高了设备的运行成本和降低了设备的运行时间，清洗成本高。因此，设计出一种带一体式滚轮的链式清洗机是很有必要的。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种带一体式滚轮的链式清洗机，该链式清洗机具有清洗成本低的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种带一体式滚轮的链式清洗机，包括机架，其特征在于，所述机架上固定有清洗水槽，清洗水槽上部具有开口，清洗水槽上还铰接有能将开口封闭住的箱盖，箱盖上固定有操作把手，清洗水槽内水平设置有若干输送辊一和若干输送辊二，且输送辊一与输送辊二相邻间隔排列，输送辊一上具有偶数个传输轮一，传输轮一与输送辊一为一体式结构，输送辊二上具有奇数个传输轮二，传输轮二与输送辊二为一体式结构，且相邻两个传输轮一之间具有一个传输轮二，清洗水槽上还具有能驱动输送辊一与输送辊二同步转动的驱动机构。

所述传输轮一和传输轮二均由PVDF材料制成。

所述驱动机构包括伺服电机、蜗杆、蜗轮、联动轴、若干主锥形齿轮一、若干主锥形齿轮二、若干从锥形齿轮一和若干从锥形齿轮二，伺服电机通过安装板固定在清洗水槽上，伺服电机的输出轴水平设置，蜗杆固定在伺服电机的输出轴端部，联动轴水平转动设置在清洗水槽内，且联动轴与输送辊一相互垂直，蜗轮、主锥形齿轮一和主锥形齿轮二分别固定在联动轴上，且蜗轮与蜗杆相啮合，从锥形齿轮一固定在输送辊一的端部，且从锥形齿轮一与主锥形齿轮一相啮合，从锥形齿轮二固定在输送辊二的端部，且从锥形齿轮二与主锥形齿轮二相啮合。

所述清洗水槽上还设置有辅助结构，辅助结构包括升降架、若干挡水条一和若干挡水条二，升降架设置在清洗水槽内，升降架与一能带动其上下移动的移动结构相连，挡水条一通过连杆一倾斜固定在升降架上，且挡水条一能靠近输送辊一，挡水条一上具有若干过水细孔一，挡水条二通过连杆二倾斜固定在升降架上，且挡水条二能靠近输送辊二，挡水条二上具有若干过水细孔二。

所述移动结构包括立柱、推杆电机、导轨和滑块，立柱固定在清洗水槽上，导轨竖直固定在立柱上，滑块设置在导轨上，升降架通过联杆和滑块相连，推杆电机固定在立柱上，推杆电机的推杆竖直向下，推杆电机的推杆端部和滑块相连。

所述导轨上端固定有上限位块，导轨下端固定有下限位块。

本实用新型中：将传输轮一与输送辊一作为一体式，传输轮二与输送辊二作为一体式，取消了氟胶圈作为和硅片的接触式传送，且传输轮一和传输轮二均由PVDF材料制成，输送辊一上具有偶数个传输轮一，作为和硅片的偶点接触式传送，输送辊二上具有奇数个传输轮二，作为和硅片的奇点接触式传送，这种安装分布方式有利与硅片下表面刻蚀的均匀性，即取消了氟胶圈的安装，降低了运行成本；偶点接触式和奇点接触式的错位安装有利于硅片的刻蚀均匀性；降低了因氟胶圈变形而导致翻液和过刻的不良率；因传输轮一和传输轮二一体化后传送变得稳定，使硅片可以更快更稳定的流过，清洗成本低。

根据实际需要，控制推杆电机带动升降架向下移动，升降架带动挡水条一和挡水条二向下移动，使挡水条一位于输送辊一侧部，使挡水条二位于输送辊二侧部，在挡水条一和挡水条二的作用下，可减小因输送辊一和输送辊二转动带起的水花，从而可保证清水水槽内的液面的平整性，辅助效果好。

与现有技术相比，本带一体式滚轮的链式清洗机具有该优点：

本实用新型中将传输轮一与输送辊一作为一体式，传输轮二与输送辊二作为一体式，取消了氟胶圈作为和硅片的接触式传送，且传输轮一和传输轮二均由PVDF材料制成，输送辊一上具有偶数个传输轮一，作为和硅片的偶点接触式传送，输送辊二上具有奇数个传输轮二，作为和硅片的奇点接触式传送，这种安装分布方式有利与硅片下表面刻蚀的均匀性，即取消了氟胶圈的安装，降低了运行成本；偶点接触式和奇点接触式的错位安装有利于硅片的刻蚀均匀性；降低了因氟胶圈变形而导致翻液和过刻的不良率；因传输轮一和传输轮二一体化后传送变得稳定，使硅片可以更快更稳定的流过，清洗成本低。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图。

图2是本实用新型中拆去部分的立体结构示意图。

图3是本实用新型中拆去部分的平面结构示意图。

图中，1、机架；2、清洗水槽；3、升降架；4、输送辊一；5、输送辊二；6、安装板；7、伺服电机；8、箱盖；9、操作把手；10、推杆电机；11、传输轮一；12、从锥形齿轮一；13、主锥形齿轮一；14、传输轮二；15、主锥形齿轮二；16、从锥形齿轮二；17、蜗杆；18、蜗轮；19、联动轴；20、联杆；21、挡水条二；22、连杆二；23、挡水条一；24、连杆一；25、立柱；26、下限位块；27、导轨；28、上限位块；29、滑块。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1-图3所示，本带一体式滚轮的链式清洗机，包括机架1，机架1上固定有清洗水槽2，在本实施例中，机架1上通过螺栓连接的方式固定有清洗水槽2；机架1上通过螺栓连接的方式固定有清洗水槽2；清洗水槽2上部具有开口，清洗水槽2上还铰接有能将开口封闭住的箱盖8，箱盖8上固定有操作把手9，清洗水槽2内水平设置有若干输送辊一4和若干输送辊二5，在本实施例中，输送辊一4和输送辊二5的数量均为六根；且输送辊一4与输送辊二5相邻间隔排列，输送辊一4上具有偶数个传输轮一11，在本实施例中，每根输送辊一4上传输轮一11的数量为四个；传输轮一11与输送辊一4为一体式结构，输送辊二5上具有奇数个传输轮二14，在本实施例中，每根输送辊二5上传输轮二14的数量为三个；传输轮二14与输送辊二5为一体式结构，且相邻两个传输轮一11之间具有一个传输轮二14，清洗水槽2上还具有能驱动输送辊一4与输送辊二5同步转动的驱动机构。

传输轮一11和传输轮二14均由PVDF材料制成。

驱动机构包括伺服电机7、蜗杆17、蜗轮18、联动轴19、若干主锥形齿轮一13、若干主锥形齿轮二15、若干从锥形齿轮一12和若干从锥形齿轮二16，在本实施例中，主锥形齿轮一13、主锥形齿轮二15、从锥形齿轮一12和从锥形齿轮二16的数量均为六个；伺服电机7通过安装板6固定在清洗水槽2上，伺服电机7的输出轴水平设置，蜗杆17固定在伺服电机7的输出轴端部，联动轴19水平转动设置在清洗水槽2内，且联动轴19与输送辊一4相互垂直，蜗轮18、主锥形齿轮一13和主锥形齿轮二15分别固定在联动轴19上，且蜗轮18与蜗杆17相啮合，从锥形齿轮一12固定在输送辊一4的端部，且从锥形齿轮一12与主锥形齿轮一13相啮合，从锥形齿轮二16固定在输送辊二5的端部，且从锥形齿轮二16与主锥形齿轮二15相啮合。

清洗水槽2上还设置有辅助结构，辅助结构包括升降架3、若干挡水条一23和若干挡水条二21，在本实施例中，挡水条一23和挡水条二21的数量均为六个；升降架3设置在清洗水槽2内，升降架3与一能带动其上下移动的移动结构相连，挡水条一23通过连杆一24倾斜固定在升降架3上，且挡水条一23能靠近输送辊一4，挡水条一23上具有若干过水细孔一，在本实施例中，每块挡水条一23上具有过水细孔一的数量为三十个；挡水条二21通过连杆二22倾斜固定在升降架3上，且挡水条二21能靠近输送辊二5，挡水条二21上具有若干过水细孔二，在本实施例中，每块挡水条二21上具有过水细孔二的数量为二十六个。

移动结构包括立柱25、推杆电机10、导轨27和滑块29，立柱25固定在清洗水槽2上，在本实施例中，立柱25通过焊接的方式固定在清洗水槽2上；导轨27竖直固定在立柱25上，滑块29设置在导轨27上，升降架3通过联杆20和滑块29相连，推杆电机10固定在立柱25上，在本实施例中，推杆电机10通过螺栓连接的方式固定在立柱25上；推杆电机10的推杆竖直向下，推杆电机10的推杆端部和滑块29相连。

本实用新型中：将传输轮一11与输送辊一4作为一体式，传输轮二14与输送辊二5作为一体式，取消了氟胶圈作为和硅片的接触式传送，且传输轮一11和传输轮二14均由PVDF材料制成，输送辊一4上具有偶数个传输轮一11，作为和硅片的偶点接触式传送，输送辊二5上具有奇数个传输轮二14，作为和硅片的奇点接触式传送，这种安装分布方式有利与硅片下表面刻蚀的均匀性，即取消了氟胶圈的安装，降低了运行成本；偶点接触式和奇点接触式的错位安装有利于硅片的刻蚀均匀性；降低了因氟胶圈变形而导致翻液和过刻的不良率；因传输轮一11和传输轮二14一体化后传送变得稳定，使硅片可以更快更稳定的流过，清洗成本低。

根据实际需要，控制推杆电机10带动升降架3向下移动，升降架3带动挡水条一23和挡水条二21向下移动，使挡水条一23位于输送辊一4侧部，使挡水条二21位于输送辊二5侧部，在挡水条一23和挡水条二21的作用下，可减小因输送辊一4和输送辊二5转动带起的水花，从而可保证清水水槽内的液面的平整性，辅助效果好。

在本实施例中，每次只能输送一块硅片，根据实际需要，也可以进行结构上的增加，而实现每次同时输送多块硅片。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。