一种含超细硅粉废水的处理方法及装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及一种含超细娃粉废水的处理方法及装置，属于多晶娃产业含娃粉废水 的处理领域。
【背景技术】
[0002] 含娃粉废水来源；在娃巧制备工序中，用娃巧银切割娃椿产生的娃粉，同时用超纯 水作为娃椿切割过程的直接冷却和对娃巧银、娃椿表面进行洗漆所形成的含有超细娃粉的 含娃粉废水。
[0003] 含娃粉废水中的娃粉非常细，大部分颗粒粒径在0. 1~1 ym范围，大部分细小颗粒 悬浮于水中，静置半年W上也只有部分大颗粒沉积于底部，大部分细小的娃粉仍悬浮于水 中，使得含娃粉废水一直处于混浊的状态。
[0004] 由于含娃粉废水中的娃粉非常细，其表面反应活性高，可W与水发生反应，产生 &，所W含娃粉废水不能长期储存，有着火的危险，化学式；Si + 3&0 - t。本 发明人认为含娃粉废水中的娃粉表面已经发生了变化(水化生成娃酸)，若将其含娃粉废水 中的娃粉回收，十分困难，并且得到物质可能已经不是高纯多晶娃。
[0005] 由于含娃粉废水中娃粉颗粒粒径较小，一般的过滤处理效果不好，而且处理后的 水浊度仍然较高，无法直接回用也难W达标排放，另外水化娃粉堵塞滤布严重，使得过滤阻 力大，过滤效率低，更换滤布周期缩短，成本高。
[0006] 从含娃粉废水的成分来看，基本上是由超细娃粉和超纯水组成。如果水中所含娃 粉不能去除，水就难W回收利用，也不符合清洁生产的标准。
[0007] 现阶段报道的含娃粉废水处理方法主要按含一般悬浮物的废水处理方法进行处 理，即是加入聚合氯化侣（PAC)、聚丙締酷胺（PAM)、聚丙締酸等絮凝剂使含娃粉废水絮凝 沉淀，该种方法处理含娃粉废水，效果差，而且引入了很多其他元素，对处理后水的资源化 利用造成影响。
[000引专利CN103272433A公开了一种含娃粉废水过滤净化处理方法，该含娃粉废水成 分与本发明的含娃粉废水相同，该方法是W珍珠岩或者娃藻±作为助滤剂，先将珍珠岩或 者娃藻±和清水混合，然后用厢式压滤机压滤，珍珠岩或者娃藻±在厢式压滤机的滤布上 形成一层滤膜，再切换含娃粉废水连续通过厢式压滤机过滤。该发明的优点是处理后的水 为中性，可W直接排放或者回用，该发明存在的不足之处是前期的滤液不合格，需要不断的 更换滤膜，成本高，另外由于含娃粉废水中娃粉粒径较小，滤膜堵塞严重，难清洗，清洗滤布 又产生大量废水，增加废水量，使得处理效率低。
[0009] 专利CN102653433A公开了制备娃晶片的工艺废水之处理方法，该含娃粉废水成 分与本发明的含娃粉废水成分不同，该发明中工艺废水的主要成分除了娃粉还有SiC和有 机物，该发明的第一步就是去除工艺废水中微粒，该方法提到用化学絮凝的方法使微粒凝 聚成胶体，再经过沉淀单元实现固液分离，得到上清液无明显颗粒存在。该发明并没有讲到 用何种絮凝剂，专利中提到该方法可W去除90%~95%的微粒。
[0010] 专利CN101683981A公开了一种废娃液回收再生方法，该专利第一步提到切割娃 椿产生的废娃废水进行离屯、分离，滤布孔径为800~1500目，获得娃粉料，在经过一系列的 物理化学方法回收得到太阳能级娃片。该方法的优点是实现了含娃粉废水中娃粉的资源 化，并且处理了水，但是对于本发明中的含娃粉废水，其娃粉粒径非常细，直接将含娃粉废 水进行离屯、分离并不适用，其处理效果不好。
[ocm] 专利CN103028329A公开了一种带有管式微滤膜组件的研磨废水回用、娃粉回收 装置，该专利主要是用可反冲洗的管式微滤膜组件为主体的含娃粉废水处理设备，该发明 的优点是处理效果好，处理效率高，但是该方法成本较高。
[0012] 专利CN101683981A公开娃切割废水中娃粉和废水回收利用装置及其方法，该发 明利用电解系统，离屯、分离系统，干燥系统，过滤系统，该发明含娃粉废水成分与本发明不 同，除娃粉之外还含有SiC，聚己二醇，表面活性剂。
【发明内容】
[0013] 含娃粉废水中娃粉的粒径较小，长时间静置不沉淀，传统的处理方法效果不好，现 有的方法成本较高，本发明要解决的技术问题是提供一种娃巧切割过程产生的含娃粉废水 处理方法，实现含娃废水中沉淀剂和含娃废水处理后碱性水的资源化利用，并减轻后续废 水处理设备的处理压力。
[0014] 本发明所述含超细娃粉废水的处理方法，包括W下步骤： (1) 将含超细娃粉的废水(娃粉的粒度为0. 1~1 y m)通入废水收集池1中，然后将含超 细娃粉的废水通入絮凝沉淀池2中； (2) 将沉淀剂化0H溶液(质量百分比为20~32%)由碱液池3累入到絮凝沉淀池2中， 控制揽拌机转速为10~2化/min ;控制絮凝沉淀池2液体的抑值为12~13. 5和反应时间为 30~90min形成上清液层和沉淀层； (3) 絮凝沉淀池2上部上清液层进入碱性水收集池6 ;碱性水收集池6中的碱性水一部 分作为循环碱性水返回到碱液池3,用于配制沉淀剂溶液，剩余的部分输送到工业水收集池 5中，然后送入氯硅烷废气淋洗设备7中作为氯硅烷废气淋洗过程中的吸收剂； (4) 絮凝沉淀池2底部沉淀物输送到压滤机4中进行压滤，滤渣直接运往渣库，滤液进 入碱性水收集池6。
[0015] 本发明所述的含超细娃粉废水的处理方法所用的装置包括含娃废水收集池1、絮 凝沉淀池2、碱液池3、压滤机4、工业水收集池5、碱性水收集池6、氯硅烷废气淋洗设备7、 揽拌器I 8、揽拌器II 9,废水收集池1、碱液池3分别通过累与絮凝沉淀池2相连通，絮凝沉 淀池2的下端通过累与压滤机4连通、上端与碱性水收集池6连通；碱性水收集池6与工业 水收集池5连通，并通过累与碱液池3相连，工业水收集池5通过累与氯硅烷废气淋洗设备 7相连；絮凝沉淀池2、碱液池3内部分别设有揽拌器I 8和揽拌器II 9,各个相连通的部件 之间均设有阀口。
[0016] 本发明所述氯硅烷废气淋洗工序是指来自=氯氨娃合成工序、=氯氨娃精馈提纯 工序和S氯氨娃还原工序所产生的含Si&Cls.Si肥I3和SiCl 4等废气用碱液进行喷淋吸收