一种湿制程设备清洗方法及装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明属于湿制程设备技术领域，尤其涉及一种湿制程设备清洗方法及装置。
【背景技术】
[0002] 目前市面上大多湿制程设备在清洗除胶渣及化铜段时大多采用人工清洗的方法， 使用人工清洗时清洗时间长、操作繁琐、安全性低。
[0003] 部分湿制程设备提供了自动清洗的方法，提高清洗的速度。通常湿制程设备自动 清洗方法是通过设置清洗参数中的高度，管控添加至清洗液的液体的量，例如高度为3厘 米，添加该液体至主槽中清洗液以使清洗液的高度增加3厘米。
[0004] 然而，湿制程设备自动清洗方法参数中的高度设置复杂，难于计算，对操作员工要 求较高，难以使清洗液浓度调整到目标值，难以进行清洗。例如，清洗液浓度改变后，操作 员工需进行计算添加进清洗液的液体的高度，并设置该高度才能使清洗液浓度调整到目标 值，才能正常进行清洗，由于主槽中存在阀、泵、传感器等，因此难于管控添加进清洗液的液 体的高度，因此存在添加过多的情况，造成添加的误差，难以使清洗液浓度调整到目标值， 难以进行清洗。
【发明内容】
[0005] 本发明实施例的目的在于提供一种湿制程设备自动清洗方法，旨在解决湿制程设 备自动清洗方法参数中的高度设置复杂，难于计算，对操作员工要求较高，难以使清洗液浓 度调整到目标值，难以进行清洗的问题。
[0006] 本发明实施例是这样实现的，一种湿制程设备自动清洗方法，包括：
[0007] 启动湿制程设备的清洗程序；
[0008] 调用清洗步骤组合中的参数组，所述参数组包括子液的加液量，所述子液为添加 进清洗液中的液体；
[0009] 根据所述清洗步骤组合中的清洗步骤的顺序，依次根据所述加液量添加子液至清 洗液中，并根据所述清洗步骤的顺序自动清洗所述湿制程设备。
[0010] 本发明实施例的另一目的在于提供一种湿制程设备清洗装置，包括：
[0011] 启动单元，用于启动湿制程设备的清洗程序；
[0012] 调用单元，用于调用清洗步骤组合中的参数组，所述参数组包括子液的加液量，所 述子液为添加进清洗液中的液体；
[0013] 清洗单元，用于根据所述清洗步骤组合中的清洗步骤的顺序，依次根据所述加液 量添加子液至清洗液中，并根据所述清洗步骤的顺序自动清洗所述湿制程设备。
[0014] 在本发明实施例中，根据所述清洗步骤组合中的清洗步骤的顺序，依次根据所述 加液量添加子液至清洗液中，并根据所述清洗步骤的顺序自动清洗所述湿制程设备，以使 通过加液量替代中的高度，简化了计算，降低了对操作员工要求，可以快速使得清洗液浓度 调整到目标值，快速进行清洗，用户也可手动输入需要添加的加液量，从而提高了用户操作 效率和清洗的效率。
【附图说明】
[0015] 图1是本发明实施例提供的湿制程设备自动清洗方法的实现流程图；
[0016] 图2是本发明实施例提供的操作界面的样例图；
[0017] 图3是本发明实施例提供的工艺参数的较佳样例图；
[0018] 图4是本发明实施例提供的自动清洗参数组的样例图；
[0019] 图5是本发明实施例提供的自动清洗的样例图；
[0020] 图6是本发明实施例提供的湿制程设备清洗装置的结构框图。
【具体实施方式】
[0021] 为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对 本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并 不用于限定本发明。
[0022] 图1是本发明实施例提供的一种湿制程设备自动清洗方法的实现流程图，详述如 下：
[0023] 在步骤S101中，启动湿制程设备的清洗程序；
[0024] 其中，通过操作输入装置启动湿制程设备的清洗程序，进入清洗界面。操作输入装 置可以为触摸显示屏。
[0025] 在步骤S102中，调用清洗步骤组合中的参数组，所述参数组包括子液的加液量， 所述子液为添加进清洗液中的液体；
[0026] 其中，加液量为添加进清洗液的液体的量。加液量米用的度衡单位为升、毫升。
[0027] 其中，子液包括但不限于氧化剂、清水。
[0028] 其中，子液的加液量可以直观显示出添加了多少量，因此避免了出现高度管控复 杂，难于计算，对操作员工要求较高，难以使清洗液浓度调整到目标值，难以进行清洗的情 况，用户可手动输入需要添加的加液量。
[0029] 在步骤S103中，根据所述清洗步骤组合中的清洗步骤的顺序，依次根据所述加液 量添加子液至清洗液中，并根据所述清洗步骤的顺序自动清洗所述湿制程设备。
[0030] 其中，控制输出装置根据清洗步骤组合中的清洗步骤的顺序，按清洗步骤的顺序， 依次根据加液量，通过泵添加子液，并根据清洗步骤的顺序自动清洗湿制程设备。
[0031] 在本实施例中，通过加液量替代现有技术中的液体的高度，简化了计算，降低了对 操作员工要求，可以快速使得清洗液浓度调整到目标值，快速进行清洗，用户也可手动输入 需要添加的加液量，从而提高了用户操作效率和清洗的效率。
[0032] 作为本发明的一个优选实施例，当调整所述清洗液的浓度时，获取所述清洗液的 高度；
[0033] 根据预先建立的清洗液的高度与转换系数的对应关系，查找与获取到的清洗液的 高度对应的转换系数；
[0034] 根据所述高度、所述转换系数以及湿制程设备底面积的乘积，生成调整所述清洗 液的浓度对应的加液量。
[0035] 其中，通过传感器获取清洗液的高度。根据经验值，预先将清洗液的高度与转换系 数建立对应关系，因此可以获取到转换系数。
[0036] 作为本发明的一个优选实施例，所述清洗步骤组合包括固定清洗步骤组合和自定 义清洗步骤组合，所述固定清洗步骤组合包括化铜段自动清洗步骤组合和除胶渣自动清洗 步骤组合。
[0037] 其中，除胶渣自动清洗包括以下步骤：
[0038] 进入操作界面；
[0039] 参考图2,图2是本发明实施例提供的操作界面的样例图。
[0040] 用户管理人员凭密码进入工艺参数设置界面，并根据工艺要求设置并保存参数；
[0041] 参考图3,图3是本发明实施例提供的工艺参数的较佳样例图。
[0042] 用户管理人员根据工艺要求选择自动清洗参数组；
[0043] 参考图4,图4是本发明实施例提供的自动清洗参数组的样例图。
[0044] 操作员确认并启动自动清洗；
[0045] 参考图5,图5是本发明实施例提供的自动清洗的样例图。
[0046] 机组按工艺参数自动运行清洗程序；
【主权项】
1. 一种湿制程设备清洗方法，其特征在于，包括： 启动湿制程设备的清洗程序； 调用清洗步骤组合中的参数组，所述参数组包括子液的加液量，所述子液为添加进清 洗液中的液体； 根据所述清洗步骤组合中的清洗步骤的顺序，依次根据所述加液量添加子液至清洗液 中，并根据所述清洗步骤的顺序自动清洗所述湿制程设备。
2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括： 当调整所述清洗液的浓度时，获取所述清洗液的高度； 根据预先建立的清洗液的高度与转换系数的对应关系，查找与获取到的清洗液的高度 对应的转换系数； 根据所述高度、所述转换系数以及所述湿制程设备的底面积的乘积，生成与所述清洗 液的浓度对应的加液量。
3. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述清洗步骤组合包括固定清洗步骤组 合和自定义清洗步骤组合，所述固定清洗步骤组合包括化铜段自动清洗步骤组合和除胶渣 自动清洗步骤组合。
4. 根据权利要求3所述的方法，其特征在于，当所述清洗步骤组合包括固定清洗步骤 组合和自定义清洗步骤组合时，所述调用清洗步骤组合中的参数组，包括： 显示清洗步骤组合列表，所述清洗步骤组合列表中包括清洗过程中所有的固定清洗步 骤组合和自定义清洗步骤组合； 检测用户在所述清洗步骤组合列表中指定的清洗步骤组合； 调用指定的清洗步骤组合中的参数组。
5. 根据权利要求3或4所述的方法，其特征在于，还包括： 显示步骤列表，所述步骤列表中包括清洗过程中所有的步骤； 检测用户在所述步骤列表中指定的步骤，以及指定的步骤的排列顺序； 根据所述指定的步骤以及所述指定的步骤的排列顺序，生成自定义清洗步骤组合。
6. -种湿制程设备清洗装置，其特征在于，包括： 启动单元，用于启动湿制程设备的清洗程序； 调用单元，用于调用清洗步骤组合中的参数组，所述参数组包括子液的加液量，所述子 液为添加进清洗液中的液体； 清洗单元，用于根据所述清洗步骤组合中的清洗步骤的顺序，依次根据所述加液量添 加子液至清洗液中，并根据所述清洗步骤的顺序自动清洗所述湿制程设备。
7. 根据权利要求6所述的装置，其特征在于， 获取单元，用于当调整所述清洗液的浓度时，获取所述清洗液的高度； 查找单元，用于根据预先建立的清洗液的高度与转换系数的对应关系，查找与获取到 的清洗液的高度对应的转换系数； 生成单元，用于根据所述高度、所述转换系数以及所述湿制程设备的底面积的乘积，生 成调整与所述清洗液的浓度对应的加液量。
8. 根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述清洗步骤组合包括固定清洗步骤组 合和自定义清洗步骤组合，所述固定清洗步骤组合包括化铜段自动清洗步骤组合和除胶渣 自动清洗步骤组合。
9. 根据权利要求8所述的装置，其特征在于，还包括： 第一显示单元，显示清洗步骤组合列表，所述清洗步骤组合列表中包括清洗过程中所 有的固定清洗步骤组合和自定义清洗步骤组合； 第一检测单元，检测用户在所述清洗步骤组合列表中指定的清洗步骤组合； 第一调用单元，调用指定的清洗步骤组合中的参数组。
10. 根据权利要求8或9所述的装置，其特征在于，还包括： 第二显示单元，用于显示步骤列表，所述步骤列表中包括清洗过程中所有的步骤； 第二检测单元，检测用户在所述步骤列表中指定的步骤，以及指定的步骤的排列顺 序； 第二检测单元，根据所述指定的步骤以及所述指定的步骤的排列顺序，生成自定义清 洗步骤组合。
【专利摘要】本发明适用于湿制程设备技术领域，提供了一种湿制程设备清洗方法及装置，所述方法包括：启动湿制程设备的清洗程序；调用清洗步骤组合中的参数组，所述参数组包括子液的加液量，所述子液为添加进清洗液中的液体；根据所述清洗步骤组合中的清洗步骤的顺序，依次根据所述加液量添加子液至清洗液中，并根据所述清洗步骤的顺序自动清洗所述湿制程设备。在本发明中，通过加液量替代高度，简化了计算，降低了对操作员工要求，可以快速使得清洗液浓度调整到目标值，快速进行清洗，用户也可手动输入需要添加的加液量，从而提高了用户操作效率和清洗的效率。
【IPC分类】B08B3-08
【公开号】CN104841662
【申请号】CN201410056431
【发明人】陈德和
【申请人】宇宙电路板设备(深圳)有限公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2014年2月19日