毛细管放电z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置的制造方法
【专利摘要】毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置，涉及杂质过滤技术，为了满足极紫外光刻光源光路中杂质过滤的需求。金属箔片冷阱包括多层金属箔片，每层金属箔片均为圆锥面，多层金属箔片与极紫外光刻光源同轴且依次嵌套，空心支撑管位于金属箔片冷阱的轴线上，支撑条的一端固定在空心支撑管的一端，空心支撑管的另一端固定在收集镜支架上，多根支撑条以空心支撑管为中心，呈放射状均匀分布，金属箔片的一端固定在支撑条的侧部，喷气装置位于毛细管与金属箔片冷阱之间，喷气装置的喷气方向与极紫外光刻光源的中心轴垂直。本实用新型能清除光路中的杂质，保证了光学收集镜不受污染，适用于过滤紫外光刻光源光路中的杂质。
【专利说明】
毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及杂质过滤技术，具体涉及极紫外光刻光源光路中杂质的过滤技术。
【背景技术】
[0002]在高纯度陶瓷毛细管大电流快脉放电中，通过Z箍缩，工作介质氙气(Xe)高价电离出Xelt3+，其复合退激发过程将辐射极紫外光，其辐射的13.5nm极紫外光就可做为极紫外光刻的光源。
[0003]但是在毛细管放电过程中，伴随着碎肩的杂质产生，通过电镜观察得到的毛细管内表面的图像可以看出，在毛细管内表面附着大量的白色点状物，通过对内表面沉积的物质测到的质谱图，对质谱图重构，可知它们都是铜、锌、硅、铝等物质的特征谱，这说明毛细管放电过程中，毛细管两端的电极和陶瓷毛细管，都有相当数量的碎肩喷射出来，这些碎肩一旦投射到后续的光学收集镜上，对昂贵的收集镜的污染会是十分严重的，所以在收集镜前一定要设置一杂质过滤装置。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型是为了满足极紫外光刻光源光路中杂质过滤的需求，从而提供毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置。
[0005]本实用新型所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置，包括喷气装置、金属箔片冷阱、多根支撑条和空心支撑管；
[0006]金属箔片冷阱包括多层金属箔片，每层金属箔片均为圆锥面，多层金属箔片与极紫外光刻光源同轴且依次嵌套，多层金属箔片的小口径端的开口朝向毛细管，空心支撑管位于金属箔片冷阱的轴线上，支撑条的一端固定在空心支撑管的一端，空心支撑管的另一端固定在收集镜支架上，多根支撑条以空心支撑管为中心，呈放射状均匀分布，金属箔片的一端固定在支撑条的侧部，喷气装置位于毛细管与金属箔片冷阱之间，喷气装置的喷气方向与极紫外光刻光源的中心轴垂直。
[0007]本实用新型的杂质过滤装置，是为了清除极紫外光出射光路中夹杂的毛细管放电电极、陶瓷毛细管本身在大电流快脉冲、高重频放电过程中喷射的极微小的碎肩状杂质，在毛细管出口处，设置一喷气装置，工作时气体通过喷气装置的气嘴出射气体，气流将以某种流量吹偏光路中有一定质量的杂质碎肩，使之偏离光路的光轴方向，这些碎肩杂质物，将附着到杂质过滤装置上，做到通过杂质过滤装置后的极紫外光中，清除了有害的杂质成份，保证了光学收集镜不受污染。
[0008]本实用新型适用于过滤紫外光刻光源光路中的杂质。
【附图说明】
[0009]图1是【背景技术】中的电镜观察到的毛细管内表面的图像；
[0010]图2是【具体实施方式】一所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置在应用系统中的示意图；
[0011]图3是【具体实施方式】一所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置的结构示意图；
[0012]图4是图3的左视图。
【具体实施方式】
[0013]【具体实施方式】一:参照图2至图4具体说明本实施方式，本实施方式所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置，包括喷气装置1、金属箔片冷阱2、多根支撑条3和空心支撑管4;
[0014]金属箔片冷阱2包括多层金属箔片，每层金属箔片均为圆锥面，多层金属箔片与极紫外光刻光源同轴且依次嵌套，多层金属箔片的小口径端的开口朝向毛细管5，空心支撑管4位于金属箔片冷阱2的轴线上，支撑条3的一端固定在空心支撑管4的一端，空心支撑管4的另一端固定在收集镜支架7上，多根支撑条3以空心支撑管4为中心，呈放射状均匀分布，金属箔片的一端固定在支撑条3的侧部，喷气装置I位于毛细管5与金属箔片冷阱2之间，喷气装置I的喷气方向与极紫外光刻光源的中心轴垂直。
[0015]【具体实施方式】二:本实施方式是对【具体实施方式】一所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置作进一步说明，本实施方式中，所述空心支撑管4的外径为30mm，壁厚 6mm。
[0016]【具体实施方式】三:本实施方式是对【具体实施方式】一或二所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置作进一步说明，本实施方式中，金属箔片的厚度均为
0.5mm ο
[0017]该杂质过滤装置，与其后紧接着的极紫外光收集系统匹配，极紫外光收集系统是一个多层(通常8-10层)双非球面面型(椭圆面型加双曲面面型)的薄壳的收集镜片6组成的。所以杂质过滤装置应是一种多层的，层数与光学收集镜系统一致，故这一装置是从口径小到口径大，一层层套装的组合。甚薄的锥筒式金属箔片冷阱，它的壁厚应小于收集镜片6的壁厚，收集镜通常壁厚2mm，杂质过滤装置每层锥筒式金属箔片的厚度应小于3mm，本实施方式取0.5mm的金属金属箔片。
[0018]【具体实施方式】四:本实施方式是对【具体实施方式】一或二所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置作进一步说明，本实施方式中，支撑条3为四根。
[0019]【具体实施方式】五:本实施方式是对【具体实施方式】一或二所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置作进一步说明，本实施方式中，最外层金属箔片的圆锥角α为60°，最内层金属箔片的圆锥角β为22.1022°。
[0020]锥筒式杂质过滤装置，在锥筒小口径端，锥筒的张角需充分覆盖毛细管中极紫外光出射的出射角方向，即与面对毛细管出口方向极紫外光收集角覆盖的空间相匹配，大口径端一一对应光学收集镜，这样一个精细设计，确保毛细管极紫外光通过杂质过滤装置，不会减少空间收集效率。
【主权项】
1.毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置，其特征在于，包括喷气装置(I)、金属箔片冷阱(2)、多根支撑条(3)和空心支撑管(4);金属箔片冷阱(2)包括多层金属箔片，每层金属箔片均为圆锥面，多层金属箔片与极紫外光刻光源同轴且依次嵌套，多层金属箔片的小口径端的开口朝向毛细管(5)，空心支撑管(4)位于金属箔片冷阱(2)的轴线上，支撑条(3)的一端固定在空心支撑管(4)的一端，空心支撑管(4)的另一端固定在收集镜支架(7)上，多根支撑条(3)以空心支撑管(4)为中心，呈放射状均匀分布，金属箔片的一端固定在支撑条(3)的侧部，喷气装置(I)位于毛细管(5)与金属箔片冷阱(2)之间，喷气装置(I)的喷气方向与极紫外光刻光源的中心轴垂直。2.根据权利要求1所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置，其特征在于，所述空心支撑管(4)的外径为30mm，壁厚6_。3.根据权利要求1或2所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置，其特征在于，金属箔片的厚度均为0.5mm。4.根据权利要求1或2所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置，其特征在于，支撑条(3)为四根。5.根据权利要求1或2所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光刻光源光路中杂质过滤装置，其特征在于，最外层金属箔片的圆锥角α为60°，最内层金属箔片的圆锥角β为22.1022°。
【文档编号】B08B5/02GK205673292SQ201620569387
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月13日 公开号201620569387.7, CN 201620569387, CN 205673292 U, CN 205673292U, CN-U-205673292, CN201620569387, CN201620569387.7, CN205673292 U, CN205673292U
【发明人】赵永蓬, 徐强, 王骐
【申请人】哈尔滨工业大学