专利名称：带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及西门子法多晶硅还原炉设备结构，特别涉及带有除尘装置的多晶 硅还原炉的尾气出口结构。
背景技术：
近几年来，国内多晶硅生产技术高速发展，现在生产多晶硅大多采用西门子法。利 用西门子法生产多晶硅，还原炉是核心设备，一般在还原炉上需要设置尾气出口将反应后 气体导出还原炉。在生产过程中，部分气体反应生成的无定形硅粉以及操作不当发生倒棒 现象而产生的硅棒碎块，会进入尾气出口管道。进入尾气出口管道的硅粉和硅块不易清理， 累积后的硅粉和硅块会造成管路通气不畅，影响硅棒生长。而且粉尘会被带到后续设备，对 后续设备造成堵塞和磨蚀等不良影响。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构，用于 解决还原炉尾气出口管道因为硅粉和硅块累积而堵塞以及不易清洗的问题。为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为，多晶硅还原炉尾气出口结构，包 括依次连接的进气管、三通、下端连接管、盲板；还包括水平连接管，与所述三通的第三个 端口连接；除尘装置，设置在由所述进气管、所述三通和所述下端连接管依次连接形成的腔 体内。所述除尘装置与所述腔体同轴设置。所述除尘装置的外径与所述腔体的内径相契合。 所述除尘装置纵向的长度至少完全遮盖住所述水平连接管与所述三通连接的端口。所述除 尘装置为圆筒状筛网，其侧面设有筛孔。所述筛孔的截面积之和大于所述进气管的截面积 之和。所述盲板通过下端法兰与所述下端连接管连接。所述腔体为竖直设置。本实用新型和已有结构相比，其效果是积极和显著的。本实用新型在尾气出口管 路中设置除尘装置，利用除尘装置的过滤作用和重力作用阻拦硅粉和硅块进入后续设备， 并使其堆积在盲板和除尘装置中。通过拆卸盲板可定时将堆积的硅粉和硅块进行清理，并 可取下除尘装置进行清洗。本实用新型保证了还原炉尾气管道的畅通，后续设备工艺气体 的清洁度，极大地减少硅粉对后续设备的磨蚀。
图1为本实用新型带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构正面剖视图。本实用新型带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构附图中附图标记说明10-盲板20-下端法兰 30-固定装置 40-下端连接管50-三通60-除尘装置 61-筛孔70-进气管80-水平连接管90-水平法兰 100-腔体
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构做进一步 详细说明。如图1所示，本实用新型带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构包括依次连 接的进气管70、三通50、下端连接管40、盲板10 ；水平连接管80，与所述三通50的第三个 端口连接；盲板10通过下端法兰20以及固定装置30与下端连接管40连接。除尘装置60，设置在由进气管70、三通50和下端连接管40依次连接形成的腔体 100内，腔体100为竖直设置；除尘装置60与腔体100同轴设置；除尘装置60的外径与腔 体100的内径相契合；除尘装置60纵向的长度至少完全遮盖住水平连接管80与三通50连 接的端口 ；除尘装置60由耐高温材料制成的圆筒状筛网结构，其侧面设有筛孔61，筛孔61 的截面积之和大于进气管70的截面积之和。正常工作时，携带着硅粉的尾气首先进入进气管70，到达三通50时进入放置于三 通50和下端连接管40腔体100内的除尘装置60，在除尘装置60的筛孔61的过滤作用下， 绝大部分硅粉被阻拦在除尘装置60内壁，并由于重力作用落到盲板10上。由于三通50的 下端被盲板10封住，经过过滤的尾气从三通50的水平端出口进入水平连接管80和水平法 兰90，水平法兰90与后续管路连接把尾气排出设备。如果由于操作不当导致硅块掉落进进 气管70时，由于除尘装置60的筛孔61的过滤作用以及重力作用，硅块掉落并累积在盲板 10上，而不会进入后续管路中。当累积在盲板10上的硅粉和硅块达到一定量后可以松开固 定装置30取下盲板10和除尘装置60进行清洗，还可以根据使用情况定期清洗盲板10和 除尘装置60。
权利要求带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构，其特征在于，包括依次连接的进气管、三通、下端连接管、盲板；还包括水平连接管，与所述三通的第三个端口连接；以及除尘装置，设置在由所述进气管、所述三通和所述下端连接管依次连接形成的腔体内。
2.根据权利要求1所述的带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构，其特征在于所 述除尘装置与所述腔体同轴设置。
3.根据权利要求2所述的带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构，其特征在于所 述除尘装置的外径与所述腔体的内径相契合。
4.根据权利要求3所述的带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构，其特征在于所 述除尘装置纵向的长度至少完全遮盖住所述水平连接管与所述三通连接的端口。
5.根据权利要求1所述的带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构，其特征在于所 述除尘装置为圆筒状筛网，其侧面设有筛孔。
6.根据权利要求5所述的带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构，其特征在于所 述筛孔的截面积之和大于所述进气管的截面积之和。
7.根据权利要求1所述的带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构，其特征在于所 述盲板通过下端法兰与所述下端连接管连接。
8.根据权利要求1所述的带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构，其特征在于所 述腔体为竖直设置。
专利摘要本实用新型提供了一种带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构包括依次连接的进气管、三通、下端连接管、盲板；还包括水平连接管，与三通的第三个端口连接；除尘装置，设置在由进气管、三通和下端连接管依次连接形成的腔体内。除尘装置与腔体同轴设置。除尘装置为圆筒状筛网，其侧面设有筛孔。本实用新型和已有结构相比，其效果是积极和显著的。本实用新型在尾气出口管路中设置除尘装置，利用除尘装置的过滤作用和重力作用阻拦硅粉和硅块进入后续设备，并使其堆积在盲板和除尘装置中。通过拆卸盲板可将堆积的硅粉和硅块进行清理。本实用新型保证了还原炉尾气管道的畅通及后续设备工艺气体的清洁度，极大地减少硅粉对后续设备的磨蚀。
文档编号B01D46/24GK201746334SQ201020258838
公开日2011年2月16日 申请日期2010年7月15日 优先权日2010年7月15日
发明者吴海龙, 周积卫, 张华芹, 王遂云, 程佳彪 申请人:上海森松新能源设备有限公司