专利名称：含氨尾气处理装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种含氨尾气处理装置。
背景技术：
在LED外延片、芯片等光电产品生产过程中，氨气(NH3)被用以提供N源。在连续 生产线中的尾气中，未分解的氨仍占大多数。氨气会强烈刺激人的粘膜和眼睛，对呼吸道有 窒息作用，16%-25%(V/V)的气态无水氨和空气会形成爆炸性混合物。所以，氨气不可以直接 排放，必需要经过处理达到排放标准后才能排放。
发明内容本实用新型的目的是提供一种效率高、自动化程度高的含氨尾气处理装置。为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是一种含氨尾气处理装置，具有进气口和出气口，所述的含氨尾气处理装置包括以 管道相连通的变频泵、换热器、分解炉，所述的变频泵、所述的分解炉均具有进气端和出气 端，所述的换热器具有第一进气端、第二进气端、第一出气端、第二出气端，所述的变频泵的 进气端与所述的进气口相连通，所述的变频泵的出气端与所述的换热器的第一进气端相连 通，所述的换热器的第一出气端与所述的分解炉的进气端相连通，所述的分解炉的出气端 与所述的换热器的第二进气端相连通，所述的换热器的第二出气端与所述的出气口相连 通；所述的分解炉中填充有镍基催化剂；连通所述的进气口与所述的变频泵的管道上设置有进气阀，连通所述的换热器的 第二出气端与所述的出气口的管道上设置有出气阀。优选的，所述的分解炉包括炉体、设置在所述的炉体中的炉胆，所述的炉体与所述 的炉胆之间填充有保温绝热材料，所述的炉胆的外围设置有空心的耐火砖，所述的耐火砖 的空心中设置有电阻加热丝，所述的镍基催化剂填充在所述的炉胆中。优选的，所述的出气阀与所述的出气口之间设置有阻火器。优选的，所述的进气阀与所述的变频泵之间设置有压力变送器，所述的压力变送 器与所述的变频泵相信号连锁。优选的，所述的进气阀与所述的变频泵之间设置有第一截止阀，所述的变频泵与 所述的换热器之间设置有第二截止阀。优选的，所述的变频泵的两端并联有旁通阀。优选的，所述的换热器与所述的出气阀之间设置有流量计。优选的，所述的分解炉上设置有控制所述的炉胆内温度的温度控制仪。优选的，所述的进气阀为止回阀。本实用新型工作原理是含氨尾气由所述的进气口进入该含氨尾气处理装置，通 过所述的变频泵的增压，压力提高至20Kpa以上，然后通过所述的换热器后进入所述的分 解炉。所述的分解炉内填充镍基催化剂，在镍基催化剂的作用下，氨气会在高温下分解为氮气和氢气，反应式为2NH3 = N2 + 3H2分解后的氮气和氢气所述的通过换热器与经由变频泵的含氨尾气进行热量交换 后，降低温度，再通过出气口排放至大气中，或者被回收利用。由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点本实用新型 的含氨尾气处理装置尾气处理效率高，能够满足尾气排放的环保要求，同时自动化程度高， 可实现无人值守，操作维护简单。
附图1为本实用新型的含氨尾气处理装置的示意图。以上附图中1、进气口 ；2、出气口 ；3、管道；4、变频泵；5、换热器；6、分解炉；7、进 气阀；8、压力变送器；9、第一截止阀；10、第二截止阀；11、旁通阀；12、炉体；13、炉胆；14、 镍基催化剂；15、温度控制仪；16、流量计；17、出气阀；18、阻火器。
具体实施方式
以下结合附图所示的实施例对本实用新型作进一步描述。实施例一参见附图1所示。一种含氨尾气处理装置，具有进气口 1和出气口 2，该含氨尾气处理装置包括以管 道3相连通的变频泵4、换热器5、分解炉6。变频泵4具有进气端和出气端，变频泵4的进气端与进气口 1相连通，变频泵4的 出气端与换热器5相连通。连通进气口 1与变频泵4的管道3上设置有进气阀7、压力变送 器8，进气阀7为止回阀，压力变送器8与变频泵4相信号连锁。压力变送器8与变频泵4 之间设置有第一截止阀9。变频泵4与换热器5之间设置有第二截止阀10，变频泵4的两 端并联有旁通阀11。换热器5具有第一进气端、第二进气端、第一出气端、第二出气端，变频泵4的出气 端与换热器5的第一进气端相连通。分解炉6均具有进气端和出气端，分解炉6包括炉体12、设置在炉体中的炉胆13， 炉体12与炉胆13之间填充有保温绝热材料，炉胆13的外围设置有空心的耐火砖，耐火砖 的空心中设置有电阻加热丝，炉胆13中填充有镍基催化剂14，分解炉6的进气端与换热器 5的第一出气端相连通，分解炉6上设置有控制炉胆内温度的温度控制仪15，使分解炉6内 的温度保持在800°C左右。分解炉6的出气端与换热器5的第二进气端相连通，换热器5的第二出气端与出 气口 2相连通；连通换热器5的第二出气端与出气口 2的管道3上设置有流量计16、出气 阀17、阻火器18。含氨尾气由进气口 1进入该含氨尾气处理装置，通过变频泵4的增压，压力提高至 20Kpa以上，然后通过换热器5后进入分解炉6。在镍基催化剂的作用下，氨气会在高温下 分解为氮气和氢气，反应式为2NH3 = N2 + 3H2分解后的氮气和氢气通过换热器8与经由变频泵4的含氨尾气进行热量交换后，降低温度，再通过出气口 2排放至大气中，或者被回收利用。 压力变送器8检测含氨尾气的压力并传送给变频泵4，变频泵4会根据含氨尾气的 压力，自动调整抽气量，当压力低至某一设定值后，变频泵4会自动停机，以保护生产线的 正常生产。若变频泵4出现故障，可手动关闭第一截止阀9、第二截止阀10并打开旁通阀 11，可以在不停机的情况下进行变频泵4的维修或维护。该含氨尾气处理装置尾气处理效率高，能够满足尾气排放的环保要求，同时自动 化程度高，可实现无人值守，操作维护简单。上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术 的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。 凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之 内。
权利要求1.一种含氨尾气处理装置，具有进气口和出气口，其特征在于所述的含氨尾气处理 装置包括以管道相连通的变频泵、换热器、分解炉，所述的变频泵、所述的分解炉均具有进 气端和出气端，所述的换热器具有第一进气端、第二进气端、第一出气端、第二出气端，所述 的变频泵的进气端与所述的进气口相连通，所述的变频泵的出气端与所述的换热器的第一 进气端相连通，所述的换热器的第一出气端与所述的分解炉的进气端相连通，所述的分解 炉的出气端与所述的换热器的第二进气端相连通，所述的换热器的第二出气端与所述的出 气口相连通；所述的分解炉中填充有镍基催化剂；连通所述的进气口与所述的变频泵的管道上设置有进气阀，连通所述的换热器的第二 出气端与所述的出气口的管道上设置有出气阀。
2.根据权利要求1所述的含氨尾气处理装置，其特征在于所述的分解炉包括炉体、设 置在所述的炉体中的炉胆，所述的炉体与所述的炉胆之间填充有保温绝热材料，所述的炉 胆的外围设置有空心的耐火砖，所述的耐火砖的空心中设置有电阻加热丝，所述的镍基催 化剂填充在所述的炉胆中。
3.根据权利要求1所述的含氨尾气处理装置，其特征在于所述的出气阀与所述的出 气口之间设置有阻火器。
4.根据权利要求1所述的含氨尾气处理装置，其特征在于所述的进气阀与所述的变 频泵之间设置有压力变送器，所述的压力变送器与所述的变频泵相信号连锁。
5.根据权利要求1所述的含氨尾气处理装置，其特征在于所述的进气阀与所述的变 频泵之间设置有第一截止阀，所述的变频泵与所述的换热器之间设置有第二截止阀。
6.根据权利要求1所述的含氨尾气处理装置，其特征在于所述的变频泵的两端并联 有旁通阀。
7.根据权利要求1所述的含氨尾气处理装置，其特征在于所述的换热器与所述的出 气阀之间设置有流量计。
8.根据权利要求1所述的含氨尾气处理装置，其特征在于所述的分解炉上设置有控 制所述的炉胆内温度的温度控制仪。
9.根据权利要求1所述的含氨尾气处理装置，其特征在于所述的进气阀为止回阀。
专利摘要本实用新型涉及一种含氨尾气处理装置，具有进气口和出气口，包括以管道相连通的变频泵、换热器、分解炉，换热器具有第一进气端、第二进气端、第一出气端、第二出气端，变频泵的进气端与进气口相连通，变频泵的出气端与换热器的第一进气端相连通，换热器的第一出气端与分解炉的进气端相连通，分解炉的出气端与换热器的第二进气端相连通，换热器的第二出气端与出气口相连通；分解炉中填充有镍基催化剂；连通进气口与变频泵的管道上设置有进气阀，连通换热器的第二出气端与出气口的管道上设置有出气阀。本实用新型的含氨尾气处理装置尾气处理效率高，能够满足尾气排放的环保要求，同时自动化程度高，可实现无人值守，操作维护简单。
文档编号B01D53/58GK201906561SQ20102066489
公开日2011年7月27日 申请日期2010年12月17日 优先权日2010年12月17日
发明者李辉, 郗春满, 郭正军 申请人:苏州苏净保护气氛有限公司