专利名称：化学液存储装置的制作方法
技术领域：
化学液存储装置技术领域[0001]本实用新型涉及半导体清洗技术领域，特别涉及一种化学液存储装置。
背景技术：
[0002]在半导体硅片湿法清洗工艺中会用到各种化学液，这些化学液或呈酸性、碱性或 者具有强烈的腐蚀性，又或者粘度较高。某些情况下，化学液是可以循环使用的，其工作寿 命可以达到每30L化学液连续清洗3天或者可以清洗3000片硅片，因此，化学液需要存储 在化学容器中，如槽或罐里面，非工艺时间可实现化学液在管路与容器间的自循环，而工艺 过后可使化学液经管路回到储存化学液的容器中。[0003]但是，如果没有特殊的引流装置，工艺过后回收的旧化学液因粘度较高无法与化 学容器中的自循环回的相对新鲜的化学液混合均匀，就会使得下次工艺时所使用的化学液 或者大多为自循环回的化学液，也可能大多为回收的旧液，这样就会影响工艺效果。目前， 对于自循环与回收的化学液间的均匀混合，尚没有成熟的措施，通常是化学液自循环管路 与化学液回收管路简单的、相互独立的分布在化学容器中，造成容器中化学液混合不均，影 响工艺效果。实用新型内容[0004](一)要解决的技术问题[0005]本实用新型要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种化学液存储装 置，通过化学液回收管路的特殊布局最终达到自循环的化学液与回收的化学液的充分混 合，实现起来较为简单。[0006](二)技术方案[0007]本实用新型提供一种化学液存储装置，包括化学液回收管路，所述回收管路呈螺 旋状并伸入化学液存储容器中，其管壁均匀分布小孔并且末端封堵；化学液循环管路，所述 循环管路贯穿于呈螺旋状的所述回收管路中并且伸入化学液存储容器中，其管壁均匀分布 小孔并且末端封堵。[0008]更好地，所述化学液回收管路和所述化学液循环管路末端用堵塞封堵。[0009]更好地，所述化学液回收管路和所述化学液循环管路末端用焊接封堵。[0010]更好地，所述化学液存储装置还包括，位于化学液存储容器侧面用于感测化学液 的液位传感器。[0011]更好地，所述液位传感器的数量至少为一个。[0012]更好地，所述化学液存储装置还包括，分别位于控制新化学液注入管、循环化学液 注入管和回收化学液注入管上的三个控制阀门。[0013]更好地，所述化学液存储装置还包括，用于将所述化学液存储容器中的化学液输 送到相应工艺单元的配置泵。[0014](三)有益效果[0015]本实用新型的化学液存储装置，通过化学液回收管路的特殊布局最终达到自循环 的化学液与回收的化学液的充分混合，实现起来较为简单，并且其结构简单有助于装置的 维修和清洗。
[0016]图1为本实用新型化学液存储装置内部结构示意图；[0017]图2为图1的右视图；[0018]图3为本实用新型化学液存储装置整体结构示意图；[0019]图4为本实用新型化学液存储装置工作原理图。
具体实施方式
[0020]
以下结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细描述。以下 实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。[0021]如图1并参考图2所示，本实用新型的化学液存储装置，包括化学液回收管路 11，所述回收管路呈螺旋状并伸入化学液存储容器中，其管壁均匀分布小孔并且末端封堵； 化学液循环管路12，所述循环管路贯穿于呈螺旋状的所述回收管路中并且伸入化学液存储 容器中，其管壁均匀分布小孔并且末端封堵。所述化学液回收管路和所述化学液循环管路 末端用堵塞封堵或者用焊接封堵。[0022]如图3所示，所述化学液存储装置还包括，位于化学液存储容器侧面用于感测化 学液的传感器9，所述传感器9的数量至少为一个。[0023]所述化学液存储装置还包括，位于控制新化学液注入管上的控制阀门(3，6)、循环 化学液注入管上的控制阀门(4，7)和回收化学液注入管上控制阀门(5，8);用于将所述化学 液存储容器中的化学液输送到相应工艺单元的配置泵(1，2)。[0024]如图5所示，工艺时首先打开控制阀门(3，6)，向化学液存储容器a和化学液存储 容器b中注入化学液，直到中间的液位传感器9感测到化学液，然后关闭控制阀门(3，6)。 此时运转配置泵I将化学液输送到相应的工艺单元，并打开控制阀门(5，8)回收旧化学液。 本实用新型中的化学液可循环使用，因此在工艺过程中可通过化学液回收管路11使旧化 学液回到化学液存储容器a中，而非工艺时，化学液可直接通过常开的控制阀门(4，7)回到 化学液存储容器中。由于化学液粘度较高，工艺后的化学液和自循环的化学液在化学液存 储容器中不能很好的混合，影响工艺的效果，本实用新型的化学液回收管路11采用特殊的 处理做成螺旋状，并在管的四周均匀打上若干小孔，同时将管路的出口采用特殊堵头或者 通过焊接的方式堵严，而化学液循环管路12采用穿插的形式贯穿于呈螺旋状的所述回收 管路11中，同时也是四周均匀开孔，末端同样堵严，这样化学液回收管路11中的化学液从 小孔中流入化学液存储容器a中，均匀排放到化学液存储容器a的上、中、下层，而化学液循 环管路贯穿在化学液回收管路11之间，化学液循环管路12中的化学液可透过小孔与化学 液回收管路11中透出的化学液交叉混合，这样，可使得两管出来的化学液均匀的混合在一 起。[0025]此外，在工艺过程中，可以通过液位标签实时观测到化学液存储容器中的液位，若 化学液低于所需液位，液位传感器9通过控制系统可实时自动为化学液存储容器补充化学液；若化学液存储容器a中的化学液达到其使用寿命，则运转配置泵2，使用化学液存储容 器b进行工艺。[0026]以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关技术领 域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和 变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应 由权利要求限定。
权利要求1.一种化学液存储装置，其特征在于，包括 化学液回收管路，所述回收管路呈螺旋状并伸入化学液存储容器中，其管壁均匀分布小孔并且末端封堵； 化学液循环管路，所述循环管路贯穿于呈螺旋状的所述回收管路中并且伸入化学液存储容器中，其管壁均匀分布小孔并且末端封堵。
2.如权利要求1所述的化学液存储装置，其特征在于，所述化学液回收管路和所述化学液循环管路末端用堵塞封堵。
3.如权利要求1所述的化学液存储装置，其特征在于，所述化学液回收管路和所述化学液循环管路末端用焊接封堵。
4.如权利要求1所述的化学液存储装置，其特征在于，所述化学液存储装置还包括，位于化学液存储容器侧面用于感测化学液的液位传感器。
5.如权利要求4所述的化学液存储装置，其特征在于，所述液位传感器的数量至少为一个。
6.如权利要求1所述的化学液存储装置，其特征在于，所述化学液存储装置还包括，分别位于控制新化学液注入管、循环化学液注入管和回收化学液注入管上的三个控制阀门。
7.如权利要求1所述的化学液存储装置，其特征在于，所述化学液存储装置还包括，用于将所述化学液存储容器中的化学液输送到相应工艺单元的配置泵。
专利摘要本实用新型公开了一种化学液存储装置，包括化学液回收管路，所述回收管路呈螺旋状并伸入化学液存储容器中，其管壁均匀分布小孔并且末端封堵；化学液循环管路，所述循环管路贯穿于呈螺旋状的所述回收管路中并且伸入化学液存储容器中，其管壁均匀分布小孔并且末端封堵。本实用新型的化学液存储装置，通过化学液回收管路的特殊布局最终达到自循环的化学液与回收的化学液的充分混合，实现起来较为简单，并且其结构简单有助于装置的维修和清洗。
文档编号B01F5/10GK202860427SQ20122051120
公开日2013年4月10日 申请日期2012年9月29日 优先权日2012年9月29日
发明者王营营 申请人:北京七星华创电子股份有限公司