1.一种多路气体切换供气而总供气量恒定的真空反应系统，包括有多条主气路和真空反应腔，每条主气路与真空反应腔连接，在主气路上沿供气方向依次设有流量器和主路隔膜阀，真空反应腔的出口管路上设有真空规、真空蝶阀和真空泵，其特征在于：在每条主气路上流量器和主路隔膜阀之间引出一条旁路，旁路接驳在真空反应腔和真空规之间的出口管道上，每条旁路都设有旁路隔膜阀，主路隔膜阀、旁路隔膜阀和真空蝶阀受PLC控制器控制开关。