技术总结
本发明公开一种无论多路气路如何切换，都可以保证流量器流出气量稳定的真空反应系统，包括有多条主气路和真空反应腔，每条主气路与真空反应腔连接，在主气路上沿供气方向依次设有流量器和主路隔膜阀，真空反应腔的出口管路上设有真空规、真空蝶阀和真空泵，在每条主气路上流量器和主路隔膜阀之间引出一条旁路，旁路接驳在真空反应腔和真空规之间的出口管道上，每条旁路都设有旁路隔膜阀，主路隔膜阀、旁路隔膜阀和真空蝶阀受PLC控制器控制开关。
技术研发人员：梁磊
受保护的技术使用者：佛山市思博睿科技有限公司
文档号码：201610719566
技术研发日：2016.08.24
技术公布日：2017.01.04