一种减压干燥设备的制作方法

本实用新型涉及显示器制造中的光刻工艺领域，具体涉及一种减压干燥设备。

背景技术：

在显示器的生产制造过程中，通常需要进行多次曝光，每次曝光前都需要对基板进行光刻胶的涂覆和涂覆后的减压干燥等工艺。如图1所示，为现有的减压干燥设备结构示意图，主要包括上盖10、底盖11、排气管12、第二驱动装置13和抽压泵14，上盖10和底盖11组合形成密封空腔。但是由于现有的减压干燥设备的排气管位置、腔室内的环境以及支撑台等问题，使得基板上涂覆的光刻胶干燥后出现光刻胶厚度不均匀的问题，影响到后续的生产制造，且该不均匀的问题可能造成产品的显示品质的下降。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种减压干燥设备，通过在上盖上设置可活动部分，在活动部移动时能够改善基板对应活动部所受到的压力，进而改善了减压干燥效果，以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，作为本实用新型的第一个方面，提供一种减压干燥设备，包括底盖、上盖和支撑台，所述底盖和所述上盖相对设置，并且所述底盖和所述上盖之间形成密封空腔，所述支撑台位于所述密封空腔内，其中，所述上盖包括侧壁和与所述侧壁相连的顶盖，所述顶盖的至少一部分能够沿朝向或远离所述底盖的方向移动。

优选地，所述顶盖包括活动部和与所述侧壁连接的固定部，所述活动部和所述固定部活动连接，所述活动部能够沿朝向或远离所述底盖的方向移动。

优选地，所述活动部包括多个活动段，每相邻两个所述活动段之间活动连接。

优选地，所述减压干燥设备还包括第一驱动装置，每个所述活动段与所述第一驱动装置之间均通过第一传动件连接，所述第一驱动装置能够通过所述第一传动件控制各个所述活动段沿朝向或远离所述底盖的方向移动。

优选地，所述减压干燥设备还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置通过第二传动件与所述支撑台连接，所述第二驱动装置能够通过所述第二传动件控制所述支撑台沿朝向或远离所述上盖的方向移动。

优选地，所述减压干燥设备还包括抽压泵和至少一根排气管，所述抽压泵通过所述排气管与所述密封空腔连通，所述抽压泵能够将所述密封空腔内的气体通过所述排气管抽出。

优选地，所述底盖上设置有至少一个通孔，每个所述排气管对应一个所述通孔，所述排气管的一端设置在所述通孔中，所述排气管的另一端与所述抽压泵连通。

优选地，所述排气管上设置有流量阀门，所述流量阀门能够控制所述排气管中所述气体的流量。

优选地，所述上盖的侧壁和所述底盖之间设置有密封圈。

本实用新型提供的减压干燥设备通过在上盖上设置可以活动的活动部，且活动部的多个活动段可以有不同的位置组合，从而可以改变上盖的不同区域到支撑台的距离，实现了对基板上不同区域光刻胶的干燥均匀性的调节，消除了基板上由于光刻胶干燥不均匀导致的膜厚差异性，使得玻璃表面的光刻胶达到更好的膜厚均一性，提高了产品的质量。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为现有技术中的减压干燥设备的结构示意图；

图2为本实用新型的减压干燥设备的一种实施方式的结构示意图；

图3为本实用新型的减压干燥设备的另一种实施方式的结构示意图。

10、上盖；101、固定部；102、活动部；103、第一驱动装置；104、侧壁；105、顶盖；11、底盖；12、排气管；121、第一通孔；122、第二通孔；13、第二驱动装置；14、抽压泵；15、支撑台；16、密封空腔；17、第一传动件；18、流量阀门；19、支撑架；20、密封圈；21、第二传动件。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

作为本实用新型的第一个方面，如图2所示，提供一种减压干燥设备，包括底盖11、上盖10和支撑台15，底盖11和上盖10相对设置，并且底盖11和上盖10之间形成密封空腔16，支撑台15位于密封空腔16内，其中，上盖10包括侧壁104和与侧壁104相连的顶盖105，顶盖105的至少一部分能够沿朝向或远离底盖11的方向移动。

本实用新型提供的一种减压干燥设备将上盖分成顶盖和侧壁两部分，且顶盖的至少一部分可以自由活动，通过顶盖中的至少一部分的自由活动可以改变该部分到支撑台之间的距离，进而可以改善支撑台上的基板对应于上述活动部分所受到的压力，并改善该部分的光刻胶的减压干燥效果，使得光刻胶干燥后的膜厚均匀。

作为一种具体地实施方式，如图2所示，顶盖105具体可以包括活动部102和与侧壁104连接的固定部101，活动部102和固定部101活动连接，活动部102能够沿朝向或远离底盖11的方向移动。

可以理解的是，顶盖105上的能够活动的部分设置为活动部102，其余的部分作为与侧壁104连接的固定部101。活动部102和固定部101活动连接，优选地，活动部102和固定部101之间可以通过一些弹性材料实现连接，该弹性材料能够保证活动部102自由的活动以及密封空腔16的密闭性。需要说明的是，为了能够进一步保证密封空腔16的真空环境，在使用弹性材料连接活动部102和固定部101时还需要保证活动部102与弹性材料的连接处以及固定部101与弹性材料的连接处的密封性。例如可以通过使用密封胶等保证连接处的密封。

还需要说明的是，固定部101和侧壁104可以通过一体形成实现连接，也可以密封固定连接，即固定部101和侧壁104的连接处也同样需要保证密封性。图2中所示的固定部101和侧壁104之间是一体形成的连接方式。

为了能够实现光刻胶在基板上各个区域的均匀干燥，优选地，如图2所示，活动部102包括多个活动段，每相邻两个所述活动段之间活动连接。活动部102的多个所述活动段可以有多种组合形式，通过多种组合形式，可以实现上盖10上的不同区域到支撑台15上有多种不同的距离组合。图2和图3所示分别为活动部102的多个所述活动段的两种不同的组合形式。可以理解的是，多个所述活动段不限于图2和图3中的组合形式。

需要说明的是，多个所述活动段之间的连接方式也可以是通过前文所述的弹性材料进行连接，同样在连接时也需要保证连接处的密封性。

为了使得多个所述活动段能够沿朝向或远离所述底盖的方向移动，作为另一种具体地实施方式，如图2所示，所述减压干燥设备还包括第一驱动装置103，每个所述活动段与第一驱动装置103之间均通过第一传动件17连接，第一驱动装置103能够通过第一传动件17控制各个所述活动段沿朝向或远离底盖11的方向移动。

可以理解的是，第一驱动装置103具体可以是驱动活塞缸或马达等装置。

当第一驱动装置103为所述驱动活塞缸时，第一传动件17可以为杆件。在安装第一驱动装置103时，将所述驱动活塞缸的缸筒固定在安装基础上，将所述驱动活塞缸的活塞杆与第一传动件17直接相连，通过所述活塞杆的伸缩可以控制第一传动件17的往复移动，从而可以带动相应的活动段往复移动。

当第一驱动装置103为马达时，第一传动件17可以是丝杠组件。将所述丝杠组件的螺母固定在安装基础上，将所述丝杠组件的螺杆与马达的输出轴相连。马达输出的旋转运动经丝杠组件转换成直线往复移动，从而可以带动相应的活动段往复移动。

当第一驱动装置103为马达时，第一传动件17还可以包括齿轮齿条传动组件，第一驱动装置103的输出轴与齿轮相连，齿条与相应的活动段相连。马达输出的旋转运动经所述齿轮齿条传动组件转换成直线往复移动，从而可以带动相应的活动段往复移动。

还可以理解的是，每个所述活动段都通过一个第一传动件17连接到第一驱动装置103上。当需要对其中一个所述活动段进行移动时，可以通过设置第一驱动装置103的驱动程序，使得第一驱动装置103控制需要移动的所述活动段沿朝向或远离底盖11的方向移动。当需要对多个所述活动段进行移动时，可以通过设置第一驱动装置103的驱动程序，使得第一驱动装置103同时控制多个需要移动的所述活动段沿朝向或远离底盖11的方向移动。

为了能够配合各个所述活动段的移动，使得各个所述活动段到支撑台15之间的距离更易调节，作为再一种具体地实施方式，如图2所示，所述减压干燥设备还包括第二驱动装置13，第二驱动装置13通过第二传动件21与支撑台15连接，第二驱动装置13能够通过第二传动件21控制支撑台15沿朝向或远离上盖10的方向移动。

可以理解的是，第二驱动装置13与第一驱动装置103的工作原理相同，通过第二传动件21连接到支撑台15上，第二驱动装置13和第二传动件21的具体实施方式可以参照前文所述的第一驱动装置103和第一传动件17的具体实施方式，此处不再赘述。

需要说明的是，支撑台15上支撑有带有光刻胶的基板，为了便于基板的取放，通常将支撑台15设置为多个支撑段的形式，如图2所示，每相邻两个所述支撑段之间间隔一定距离，便于机械手等装置进入其中取放所述基板。各个所述支撑段设置在一个支撑架19上，支撑架19通过一个第二传动件21与第二驱动装置13连接。

应当理解的是，每个所述支撑段都是一个小的支撑台，多个所述支撑段共同支撑基板。在第二驱动装置13的控制下，多个所述支撑段共同移动以改变支撑台15到上盖10的距离。

为了保证密封空腔16的真空环境，如图2和图3所示，所述减压干燥设备还包括抽压泵14和至少一根排气管12，抽压泵14通过排气管12与密封空腔16连通，抽压泵14能够将密封空腔16内的气体通过排气管12抽出。通过抽压泵14抽出密封空腔16内的空气，使得密封空腔16实现真空环境。

具体地，底盖11上设置有至少一个通孔，每个排气管12对应一个所述通孔，排气管12的一端设置在所述通孔中，排气管12的另一端与抽压泵14连通。

如图2所示，为了能够快速的抽出密封空腔16内的气体，在底盖11上设置了两个通孔分别为第一通孔121和第二通孔122，每个通孔对应一个排气管，因此，如图2中所示有两个排气管12，两个排气管12的一端分别设置在与之对应的通孔中，两个排气管12的另一端均与抽压泵14连通。可以理解的是，当抽压泵14抽出密封空腔16内的气体时，密封空腔16内的气体的流向沿着图2密封空腔16内的箭头方向流通。图2中所示的密封空腔16内的气体在所述基板上方分成两个流向，沿着两个排气管12进入到抽压泵14内。

由于密封空腔16内的气体排出速度也会影响到所述基板上的光刻胶的膜厚均匀性，因此需要控制气体的流量。为了控制排气管12上的气体流量，如图2所示，排气管12上设置有流量阀门18，流量阀门18能够控制排气管12中所述气体的流量。

可以理解的是，当有多个排气管12时，每个排气管12上均设置一个流量阀门18，图2中的两个排气管12上均设置有流量阀门18，通过旋转流量阀门18可以控制排气管12内的气体流量大小。

为了保证密封空腔16的密闭性，通常上盖10的侧壁104和底盖11之间设置有密封圈20。如图2所示，在上盖10的两个侧壁104与底盖11的接触面均设置有密封圈20。具体地，可以在底盖11上与侧壁104的接触面处设置凹槽，将密封圈20固定在底盖11的所述凹槽里，这样可以更方便的将密封圈设置在两个侧壁104和底盖11之间，从而保证了密封空腔16的密闭性。

本实用新型提供的减压干燥设备的工作原理是，当支撑台上的基板涂覆光刻胶后，在密封空腔内进行干燥以得到光刻胶膜厚均匀的基板。为了避免由于减压干燥设备本身的问题，如排气孔位置等造成的光刻胶干燥不均匀，而通过改变上盖到支撑台上基板的距离达到改善支撑台上的基板对应于活动部分所受到的压力，进而补偿基板上光刻胶干燥不均的问题。因此，将密封空腔的上盖上设置可以沿朝向或远离底盖的方向移动的活动部，所述活动部区域正对所述基板，将所述活动部设置为多个活动段，多个所述活动段对应所述基板的不同区域，当改变各个所述活动段到所述基板的距离时，能够改变与各个所述活动段对应的所述基板上光刻胶的干燥速度，通过反复调节活动段到基板的距离实现基板上光刻胶的干燥均匀性。

本实用新型提供的减压干燥设备通过在上盖上设置可以活动的活动部，且活动部的多个活动段可以有不同的位置组合，从而可以改变上盖的不同区域到支撑台的距离，实现了对基板上不同区域光刻胶的干燥均匀性的调节，消除了基板上由于光刻胶干燥不均匀导致的膜厚差异性，使得玻璃表面的光刻胶达到更好的膜厚均一性，提高了产品的质量。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。