石英晶体片镀膜用蜂巢式夹具底框的制作方法

文档序号:12220105阅读:来源:国知局

技术特征:

1.石英晶体片镀膜用蜂巢式夹具底框,包括平板形框体,其特征在于所述平板形框体内设有正方形嵌槽,该正方形嵌槽内腔的形状为立方体,在该正方形嵌槽的槽底面设有导流孔。

2.根据权利要求1所述的石英晶体片镀膜用蜂巢式夹具底框,其特征在于所述平板形框体内设有多个独立的正方形嵌槽,每一个正方形嵌槽都有一个独立的导流孔。

3.根据权利要求1所述的石英晶体片镀膜用蜂巢式夹具底框,其特征在于所述导流孔位于正方形嵌槽的槽底面中央。

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