本实用新型涉及MO源生产领域，尤其涉及一种MO源生产的尾气处理排放装置。
背景技术：
MOCVD设备在LED照明、蓝绿光激光器、太阳能电池等方面有广阔的应用。金属有机化合物（MO源）是MOCVD产业的支撑性原材料。现阶段的MO生产过程中会排放大量的醚类、胺类有机物，MO源蒸汽、MO源氧化颗粒等混合气体物质，一般尾气处理装置不能有效涵盖上述物质，尾气残留量大，达标困难；MO源具有自燃属性，同时尾气中大量有机物具有可燃属性，不正确的尾气处理方式会导致尾气被点燃，发生火灾和爆炸的危险。
现有使用方法缺点：目前常规方法是用稀酸或纯水吸附尾气中的MO源，用活性炭吸附其他有机物。由于尾气未经过预处理，有机物含量很大，活性炭消耗量巨大且不易达到效果；混合气中MO源浓度高，遇水或酸易发生剧烈反应；目前，能够检索到的文献资料均没有关于MO源生产尾气处理方案的公开报道。因此解决上述问题就显得十分重要了。
技术实现要素：
为解决上述问题，本实用新型提供一种MO源生产的尾气处理排放装置，MO源生产尾气进入首先进入低温冷凝器，大量有机物和MO源冷冻成液态收集处理，对尾气中有害物质进行预分离，之后有机洗涤塔再次溶解有机物和MO源残留，对残余尾气再次分离，去除醚类和胺类有机物，防止与MO源混合燃烧及爆炸风险；之后进入无机洗涤塔去除金属颗粒物和少量MO源蒸汽，通过活性炭吸附柱去除痕量有机物和MO源废气，通过离心风机，将剩余尾气排放到大气高层，这样的尾气综合处理装置，剩余气体为氮气，可以直接排放，没有安全和环保的问题，解决了背景技术中出现的问题。
本实用新型的目的是提供一种MO源生产的尾气处理排放装置，包括有低温冷凝器，所述低温冷凝器横向设置，低温冷凝器底部左侧设置有进气口，低温冷凝器顶部右侧设置有出气口；低温冷凝器右侧从左到右依次设置有纵向设置的有机洗涤塔、无机洗涤塔和活性炭吸附柱；有机洗涤塔、无机洗涤塔和活性炭吸附柱左侧底部分别设置有第一进口、第二进口和第三进口；有机洗涤塔、无机洗涤塔和活性炭吸附柱顶部分别设置有第一出口、第二出口和第三出口；进气口与第一进口之间连接有第一连接管，第一出口与第二进口之间连接有第二连接管，第二出口与第三进口之间连接有第三连接管。
进一步改进在于：所述活性炭吸附柱右侧设置有离心风机，第三出口与离心风机之间连接有第四连接管，离心风机右侧设置有出气管。
进一步改进在于：所述第一连接管、第二连接管、第三连接管和第四连接管均可拆卸。
进一步改进在于：所述第一连接管、第二连接管、第三连接管和第四连接管上均连接有取气管，取气管外套有取气罩。
本实用新型的有益效果：本实用新型MO源生产尾气进入首先进入低温冷凝器，大量有机物和MO源冷冻成液态收集处理，对尾气中有害物质进行预分离，之后有机洗涤塔再次溶解有机物和MO源残留，对残余尾气再次分离，去除醚类和胺类有机物，防止与MO源混合燃烧及爆炸风险；之后进入无机洗涤塔去除金属颗粒物和少量MO源蒸汽，通过活性炭吸附柱去除痕量有机物和MO源废气，通过离心风机，将剩余尾气排放到大气高层，这样的尾气综合处理装置，剩余气体为氮气，可以直接排放，没有安全和环保的问题；并且设置取气管对每个步骤处理的尾气进行取气检测。
附图说明
图1是本实用新型的示意图。
其中：1-低温冷凝器，2-进气口，3-出气口，4-有机洗涤塔，5-无机洗涤塔，6-活性炭吸附柱，7-第一进口，8-第二进口，9-第三进口，10-第一出口，11-第二出口，12-第三出口，13-第一连接管，14-第二连接管，15-第三连接管，16-离心风机，17-第四连接管，18-出气管，19-取气管，20-取气罩。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
如图1所示，本实施例提供一种MO源生产的尾气处理排放装置，包括有低温冷凝器1，所述低温冷凝器1横向设置，低温冷凝器1底部左侧设置有进气口2，低温冷凝器1顶部右侧设置有出气口3；低温冷凝器1右侧从左到右依次设置有纵向设置的有机洗涤塔4、无机洗涤塔5和活性炭吸附柱6；有机洗涤塔4、无机洗涤塔5和活性炭吸附柱6左侧底部分别设置有第一进口7、第二进口8和第三进口9；有机洗涤塔4、无机洗涤塔5和活性炭吸附柱6顶部分别设置有第一出口10、第二出口11和第三出口12；进气口2与第一进口7之间连接有第一连接管13，第一出口10与第二进口8之间连接有第二连接管14，第二出口11与第三进口9之间连接有第三连接管15。所述活性炭吸附柱6右侧设置有离心风机16，第三出口12与离心风机16之间连接有第四连接管17，离心风机16右侧设置有出气管18。所述第一连接管13、第二连接管14、第三连接管15和第四连接管17均可拆卸。所述第一连接管13、第二连接管14、第三连接管15和第四连接管17上均连接有取气管19，取气管19外套有取气罩20。
MO源生产尾气进入首先进入低温冷凝器1，大量有机物和MO源冷冻成液态收集处理，对尾气中有害物质进行预分离，之后有机洗涤塔4再次溶解有机物和MO源残留，对残余尾气再次分离，去除醚类和胺类有机物，防止与MO源混合燃烧及爆炸风险；之后进入无机洗涤塔5去除金属颗粒物和少量MO源蒸汽，通过活性炭吸附柱6去除痕量有机物和MO源废气，通过离心风机16，将剩余尾气排放到大气高层，这样的尾气综合处理装置，剩余气体为氮气，可以直接排放，没有安全和环保的问题；并且设置取气管19对每个步骤处理的尾气进行取气检测。