一种用于石英坩埚喷涂的喷罐的制作方法

文档序号:14489807阅读:551来源:国知局

本实用新型涉及光伏技术领域,特别是涉及一种用于石英坩埚喷涂的喷罐。



背景技术:

在光伏行业,多晶硅铸锭是制备多晶硅太阳能电池的基础工作,在多晶硅铸锭过程中,为使硅锭顺利脱模,同时避免石英坩埚杂质的污染,需要在坩埚内部喷涂氮化硅涂层。现有喷涂工艺中由于喷涂浆料的分散均匀性较差,存在少量较大颗粒物,会一定程度影响氮化硅涂层的均匀性和致密性,进而影响隔绝性能。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种用于石英坩埚喷涂的喷罐,解决浆料中颗粒物影响涂层均匀性和致密性的问题。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:

一种用于石英坩埚喷涂的喷罐,其特征在于所述喷罐包括罐体、罐盖和与罐盖连接的喷涂装置,所述罐体内部设置有滤网,所述喷涂装置包括电动气压阀、输液管、连接杆及雾化喷头,所述输液管固定在罐盖上。

优选地,所述滤网设置在罐体内部靠近罐盖的位置。

优选地,所述输液管底部设置有滤网。

优选地,所述输液管伸到距罐体底部1cm的位置。

本实用新型的有益效果:本实用新型在罐体内部靠近罐盖的位置设置滤网,可以将转入罐体内部的氮化硅浆料中的颗粒物过滤出来,设置在输液管底部的滤网会在喷涂时再次将浆料中的颗粒物过滤出来,输液管伸到距罐体底部1cm的设计,避免了沉积在罐体底部的颗粒物流入输液管,实现稳定喷涂,制得的涂层均匀性和致密性更好,隔绝性能更优。

附图说明

附图1为本实用新型的示意图。

在附图1中,1为罐体,2为罐盖,3为喷涂装置,11为滤网,31为电动气压阀,32为输液管,33为连接杆,34为雾化喷头,35为滤网。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型的技术方案,下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明,但不以任何方式对本实用新型加以限制。

如图1所示,本实用新型包括罐体1、罐盖2和与罐盖连接的喷涂装置3,所述罐体1内部设置有滤网11,所述喷涂装置3包括电动气压阀31、输液管32、连接杆33及雾化喷头34,所述输液管32固定在罐盖2上;所述滤网11设置在罐体1内部靠近罐盖2的位置;所述输液管32底部设置有滤网35;所述输液管32伸到距罐体1底部1cm的位置;在喷涂坩埚时,先将混合均匀的氮化硅浆料倒入罐体1中,然后启动电动气压阀31,罐体1中的氮化硅浆料从输液管32底部流入输液管32中,再经过连接杆33流动到雾化喷头34处,在电动气压阀31的控制下,氮化硅浆料由雾化喷头34均匀稳定地喷涂到坩埚内表面,从而得到致密的氮化硅涂层。

以上对本实用新型所提供的一种用于石英坩埚喷涂的喷罐进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及核心思想。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以对本实用新型进行若干改进和修饰,这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1