一种等离子体清洗陶瓷膜装置的制作方法

文档序号:16804499发布日期:2019-02-01 20:35阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种等离子体清洗陶瓷膜装置,包括清洗壳体、等离子体发生器、清洗底座、清洗柜门和行走轮,所述清洗壳体内部设置有清洗室,所述清洗室两侧壁安装有等离子体发生器,所述等离子体发生器之间形成有等离子电场,所述清洗室底部安装有清洗底座,所述清洗底座下侧安装有转轴,所述转轴下侧传动连接有电动机,且电动机安装在清洗壳体下侧,所述清洗壳体下侧安装有支撑脚,所述清洗壳体顶部安装有抽真空泵,所述抽真空泵通过输气管与清洗室连通,实用新型一种等离子体清洗陶瓷膜装置,通过将待清洗陶瓷膜的放置在清洗底座上,通过固定架进行压紧,通过等离子体发生器对陶瓷膜进行等离子体清洗。

技术研发人员:谢宏林
受保护的技术使用者:谢宏林
技术研发日:2017.12.19
技术公布日:2019.02.01

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