技术特征：
技术总结
本发明提供一种气体筛选膜，所述气体筛选膜包括至少一个气体筛选元件，所述气体筛选元件形成为包括栅极、绝缘间隔层、第一电极、半导体纳米片分离层和第二电极的晶体管，所述栅极与所述半导体纳米片分离层之间设置有所述绝缘间隔层。本发明还提供一种气体筛选膜的制造方法和一种面罩。所述气体筛选膜可以根据需求对多种不同的气体进行筛分。
技术研发人员：李广耀;袁广才;王东方;汪军;王庆贺;李伟;程磊磊
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
技术研发日：2018.03.26
技术公布日：2019.10.22