一种高效气液混合器的制作方法

文档序号:15109603发布日期:2018-08-07 10:42阅读:1306来源:国知局

本发明涉及光伏制造的水处理技术领域,特别是涉及一种高效气液混合器。



背景技术:

随着超大规模集成电路的发展,对硅片表面的洁净度和表面态的要求越来越高。臭氧为不稳定的气体,具有强烈的腐蚀性和氧化性,利用臭氧超净水清洗硅片,可满足更加严格的硅片表面洁净度及大直径硅片工艺的要求,且大大减少对环境的污染。

目前光伏行业所使用的臭氧水主要由射流器制成,采用此种方法混合效率低,会有气泡产生,并且无法精确控制混合后的臭氧水浓度。



技术实现要素:

为了克服上述问题,本发明提供一种高效气液混合器。

本发明的技术方案是提供一种高效气液混合器,其包括混合桶和用以控制气体进入所述混合桶的气体控制模块。所述混合桶包括上连接筒和下连接筒,所述上连接筒和所述下连接筒可拆卸地连接。所述气体控制模块连接于所述混合桶,所述气体控制模块包括气体传输管、调压阀、u形支管、直形支管、两个第一气动阀、第二气动阀、外支管和单向阀,所述调压阀设置于气体传输管上,所述u形支管连接于气体传输管的一侧,所述直形支管并排设置于u形支管之间,所述两个第一气动阀设置于u形支管上,所述第二气动阀设置于直形支管的底部,所述外支管的一端连接于u形支管的其中一端,所述单向阀设置于所述外支管的另一端。所述混合桶的顶部设置有用于臭氧气体进出所述气体控制模块内的进气口和用于液体进入所述混合桶内的进液口,所述混合桶内设置有混合填充料,用以使进入到所述混合桶内部的臭氧气体充分与液体进行混合并融入到液体内部形成臭氧混合液,所述混合桶的底部设置有用于加工后的臭氧混合液输出的出液口。

进一步地,所述进气口连接所述气体传输管。

进一步地,所述混合桶还包括上连接盘和下连接盘,所述上连接盘设置于所述上连接筒的底部,所述下连接盘设置于所述下连接筒的顶部,所述上连接筒和所述下连接筒通过所述上连接盘和所述下连接盘可拆卸地连接。

更进一步地,所述上连接盘和所述下连接盘之间通过螺钉组螺接。

与现有技术相比,本发明的一种高效气液混合器包括有混合桶及气体控制模块,气体控制模块可根据工艺需求精确控制气体进入混合桶,并防止液体回流到气体管路中;混合桶内包括有混合填充料,能够使进入到混合桶内部的臭氧气体充分与液体进行混合,并融入到液体内部形成臭氧混合液。本发明混合效率高,可精确控制混合后的臭氧水浓度,不容易产生气泡,使制程工艺更加稳定,并可防止液体回流到气体管路,保证设备安全运行;同时,设计合理,且密封性、安全性好,工作稳定。

附图说明

图1是本发明一实施例的高效气液混合器中混合桶的结构示意图;

图2是本发明一实施例的高效气液混合器中的气体控制模块的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施例,进一步阐述本发明。

请结合参见图1和图2,本发明的一种高效气液混合器,其包括混合桶和气体控制模块2。本实施例中,混合桶包括有上连接筒1和下连接筒10。

优选地,上连接筒1的底部设置有上连接盘11,下连接筒10的顶部设置有下连接盘12,上连接盘11和下连接盘12之间通过螺钉组13旋接,上连接筒1和下连接筒10通过上连接盘11和下连接盘12的可拆卸连接,方便拆卸,方便对混合桶内部进行清洗。

混合桶内包括有混合填充料(未图示),能够使进入到混合桶内部的臭氧气体充分与液体进行混合,并融入到液体内部形成臭氧混合液。

继续参见图2,混合桶连接有气体控制模块2,气体控制模块2包括有气体传输管21,气体传输管21上设置有调压阀22,气体传输管21的一侧连接有u形支管23,u形支管23之间并排设置有直形支管25,u形支管23上设置有两个第一气动阀24,直形支管25的底部设置有第二气动阀26,u形支管23的其中一端连接于外支管27的一端,外支管27的另一端设置有单向阀28。

在实际应用中,混合桶的顶部设置有进气口14,用于臭氧气体进出到气体控制模块2内,进气口14连接气体传输管21,混合桶的顶部设置有进液口16用于溶液进入,混合桶的底部设置有出液口17用于加工后的臭氧水的输出。

本发明的一种高效气液混合器包括有混合桶及气体控制模块,气体控制模块可根据工艺需求精确控制气体进入混合桶,并防止液体回流到气体管路中;混合桶内包括有混合填充料,能够使进入到混合桶内部的臭氧气体充分与液体进行混合,并融入到液体内部形成臭氧混合液。本发明混合效率高,可精确控制混合后的臭氧水浓度,不容易产生气泡,使制程工艺更加稳定,并可防止液体回流到气体管路,保证设备安全运行;同时,设计合理,且密封性、安全性好,工作稳定。

以上实施例仅为本发明其中的一种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。



技术特征:

技术总结
本发明公开一种高效气液混合器,其包括混合桶和气体控制模块。混合桶内设有混合填充料,混合桶包括上连接筒和下连接筒,上连接筒和所述下连接筒可拆卸地连接。气体控制模块连接于混合桶,气体控制模块包括气体传输管、调压阀、U形支管、直形支管、两个第一气动阀、第二气动阀、外支管和单向阀,调压阀设置于气体传输管上,U形支管连接于气体传输管的一侧,直形支管并排设置于U形支管之间,两个第一气动阀设置于U形支管上,第二气动阀设置于直形支管的底部,外支管的一端连接于U形支管的其中一端,单向阀设置于外支管的另一端。本发明混合效率高,可精确控制混合后的臭氧水浓度,不容易产生气泡,使制程工艺更加稳定安全。

技术研发人员:王振交;艾凡凡;韩培育
受保护的技术使用者:苏州中世太新能源科技有限公司
技术研发日:2018.05.07
技术公布日:2018.08.07
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