一种晶片粘接及烤胶装置的制作方法

本实用新型属于晶片加工技术领域，具体涉及一种晶片粘接及烤胶装置。

背景技术：

在加工制造小尺寸石英晶片的过程中，为避免切割石英晶片产生的损失，工业上常先将石英晶片粘接成晶砣，然后再切割成小尺寸晶片。晶片粘接通常需要高温条件，传统加热方式为采用平板电炉直接加热晶砣和粘接蜡胶。现有技术中的平板电炉常通过设置多根电热管进行加热，然而电热管之间存在空隙，且电热管发热为区域发热，所以平板电炉存在传热不均等问题，这导致在直接加热过程中，晶砣和粘接蜡胶受热不均。

在晶片粘接的过程中，需要利用粘接蜡胶的粘性及其液体的流动性来充分粘接石英晶片，但是加工过程中常存在浸胶不彻底的问题，而浸胶不彻底易导致粘接后的晶砣中残留大量气泡，不利于晶砣的后续加工。为了解决上述问题，人们一直在寻找合适的方案，专利晶砣粘接装置和晶砣粘接方法(申请号为201710327765.X)提供了一种结构简单的粘接装置，该装置设有一定深度的渗蜡槽，渗蜡槽内设置有隔板和晶砣定位块，非常适合大尺寸石英晶片的渗蜡处理，但是该装置处理量有限，而且并不能解决晶砣和粘接蜡胶在直接加热过程中受热不均的问题。

因此，急需一种结构简单，能解决晶砣和粘接蜡胶受热不均匀，浸胶不彻底等问题的装置。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对现有平板电炉直接加热晶砣和粘接蜡胶的方法存在的不足，提供一种结构简单、能够解决浸胶不彻底、晶砣及粘接蜡胶受热不均等问题的一种晶片粘接及烤胶装置。

本实用新型提供了如下技术方案：

一种晶片粘接及烤胶装置，包括加热板、替换板和镶嵌盖板，所述加热板上层掏空形成加热槽，所述加热槽四周设有限位护栏，所述限位护栏外侧设有限位凹槽，所述替换板置于所述加热槽内，所述替换板上层掏空形成若干渗蜡槽，所述渗蜡槽之间设有隔板，所述镶嵌盖板放置在所述加热板上。

优选的，所述加热板为长方形，所述加热板底部设有平板电炉，所述加热板底部面积小于或等于平板电炉的面积，是为了利用电炉温度最均匀的区域。

优选的，所述加热板下端设有以所述加热板纵向中心线对称分布的一组加热板通孔，是为了避免夹层内产生负压，便于取下装置。

优选的，所述加热槽的横截面为长方形，所述加热槽的深度大于或等于所述替换板的厚度，是为了让所述替换板能稳固放置在所述加热板内，并保证装置的保温效果。

优选的，所述替换板为长方形，所述替换板的底部面积小于或等于所述加热槽的底面面积，是为了能够将所述替换板放置在所述加热槽内。

优选的，所述替换板上设有1-50个渗蜡槽，所述渗蜡槽的横截面为倒梯形，所述渗蜡槽的深度大于或等于晶片的长度，是为了提高浸胶的均匀性。

优选的，所述替换板上设有以所述替换板横向中心线对称分布的一组把手，所述把手上设有以所述把手纵向中心线对称分布的一组螺栓和一组把手通孔，是为了便于拆卸所述替换板。

优选的，所述镶嵌盖板包括相互连接的盖板槽和盖板边缘，所述盖板边缘设置于所述盖板槽的外侧，将所述镶嵌盖板置于所述加热板上时，所述盖板边缘与所述加热板上的所述限位凹槽相接触，是为了提高装置的保温效果。

优选的，所述加热板、所述替换板及所述镶嵌盖板的材料采用不锈钢，是因为不锈钢金属板导热均匀，且易加工成型。

本实用新型的有益效果是：

(1)替换板放置在加热板内，不直接接触电炉，避免了晶砣和粘接蜡胶受热不均的情况，且替换板可拆卸，方便清洗残胶。替换板上设有渗蜡槽，可以使浸胶的胶层有一定厚度，解决浸胶的不彻底性。

(2)镶嵌盖板可以起到保温效果，提高石英晶片上下部分的温度一致性，进而提升浸胶的均匀性。

(3)本实用新型的结构简单，装配及使用方便，适合于处理粘接蜡胶和对晶砣进行的加热粘接操作。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的加热板俯视结构示意图；

图2是本实用新型的加热板主视结构示意图；

图3是本实用新型的替换板俯视结构示意图；

图4是本实用新型的替换板主视结构示意图；

图5是本实用新型的加热板-替换板组合件结构示意图；

图6是本实用新型的镶嵌盖板俯视结构示意图。

图中标记为：1、加热板；2、加热槽；3、限位护栏；4、限位凹槽；5、加热板通孔；6、替换板；7、渗蜡槽；8、隔板；9、把手；10、螺栓；11、把手通孔；12、镶嵌盖板；13、盖板槽；14、盖板边缘；15、晶砣；16、保护玻璃；17、加热板-替换板组合件。

具体实施方式

如图1至图6所示，一种粘接晶片及栲胶装置，包括加热板1、替换板6和镶嵌盖板12，加热板1、替换板6及镶嵌盖板12的材料采用不锈钢，加热板1为长方形，加热板1的的底部设有平板电炉，加热板1的底面面积小于或等于所述平板电炉的面积，加热板1上层掏空形成加热槽2，加热槽2四周设有限位护栏3，限位护栏3外侧设有限位凹槽4，加热板1下端设有以加热板1纵向中心线分布的一组加热板通孔5，加热槽2用于放置替换板6，加热槽2的横截面为长方形，加热槽2的深度大于或等于替换板6的厚度。

替换板6为长方形，替换板6的底部面积小于或等于加热槽2的底部面积，替换板6上层挖空形成1-50个横截面为倒梯形的渗蜡槽7，渗蜡槽7的深度大于或等于石英晶片的长度，渗蜡槽7之间设有隔板8，为方便拆卸替换板6，替换板6上设有以替换板6横向中心线对称分布的一组把手9，把手9上设有以把手9纵向中心线对称分布的一组螺栓10和一组把手通孔11。

镶嵌盖板12起到保温作用，镶嵌盖板12包括相互连接的盖板槽13和盖板边缘14，盖板边缘14设置于盖板槽13的外侧，将镶嵌盖板12置于加热板1上时，盖板边缘14与限位凹槽4相接触。

本实用新型的使用方法为：将替换板6放置于加热槽2内，然后将加热板-替换板组合件17放在平板电炉上，打开平板电炉进行预热；当升温至规定的温度点后，在渗蜡槽7内倒入预先熔化的粘接蜡胶；同时将石英晶片按照一定的数量划分为晶砣15，当粘接蜡胶的温度达到规定温度后，放入晶砣15，晶砣15的上下两侧用保护玻璃16包裹，晶砣15之间保持一定的间距；加热过程中，晶砣15内的晶片之间逐渐充满胶体，待一定时间后，胶体完全注满晶片间的间隙，取下晶坨15；然后对晶砣15进行挤压整形操作，待晶砣15冷却，胶体硬化后，将晶砣15送入下道工序进行加工。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。