一种挥发性有机物的回收装置的制作方法

本实用新型涉及挥发性有机物的回收技术领域，具体为一种挥发性有机物的回收装置。

背景技术：

随着人们环境意识的增强，对环境保护问题的关注程度也在增强。在发展经济的同时如何保护好我们的生存环境已经成为一个紧迫的话题。如何减轻对地球环境的负担确保安全和健康，以节约能源、节省资源，废物再利用，减少废弃物，管理好化学物质的排放成为人们对环境保护的有效措施。结合推进iso14000认证，以建设21世纪绿色工厂为目标，人们在环境保护方面进行着积极的努力，但由于半导体制造工业的特殊性，导体制造过程中使用了多品种大量的化学物质，化学物质的运输、储存、使用和排放有严格的规定。政府主管部门都制定了相关的法律法规，但是由于半导体技术发展迅速，大量新型化学药品的开发和使用，这要求业者从保护环境的目标出发，自觉有效地管好用好各种物品，避免发生各种意外事件。

半导体工业制造过程中晶原表面的清洗是重要的一道工艺，几乎每道工序都必须要清洗，所制造的器件越高端工艺越复杂清洗工艺越多。清洗工艺涉及到大量的酸、碱及有机溶剂，有机溶剂的排放即vocs，它是臭氧和pm2.5的前身，挥发性有机物(vocs)在大气化学过程中扮演了极其重要的角色，对大气的氧化能力、二次有机污染形成、人体健康等方面都有重要影响。城市地区高浓度臭氧和二次细颗粒物(pm2.5)的形成都是围绕vocs的光化学反应过程。

有机溶剂等含vocs原辅材料的使用是vocs重要排放来源，vocs挥发性强，涉及行业广，产排污环节多，无组织排放特征明显。目前企业多采取活性炭吸附工艺，但要需要不断更换吸附材料，成本较高，治理还是从源头控制，减少排放和回收利用才是最有效的措施。

技术实现要素：

本实用新型就是针对现有技术存在的上述不足，提供一种挥发性有机物的回收装置，烧杯内的挥发性有机物向上挥发后在冷却端的底部遇冷冷凝回流到烧杯内，从而实现了对挥发性有机物的回收利用，减小了挥发性有机物向大气内的排放量，降低了大气污染；该装置能够重复利用，使用方便，其结构简单，制造成本低，大大减小了使用成本。

为实现上述目的，实用新型提供如下技术方案：

一种挥发性有机物的回收装置，包括连接端和冷却端，所述连接端为下端敞口的空腔结构，所述连接端的上端与冷却端连接，所述冷却端为双层密封结构，冷却端内部为冷却腔，冷却端的侧壁上设有与冷却腔连通的进水管与出水管，所述进水管靠近冷却端的下端设置，所述出水管靠近冷却端的上端设置。

优选的，所述冷却端包括外层和内层，所述外层与内层均为圆锥壳体结构，所述连接端为两端开口的圆筒结构，所述内层的下端与连接端的上端密封连接，所述外层套在内层的外侧，外层的下端与内层的下端密封连接，外层与内层之间为所述冷却腔，所述进水管与出水管均与外层连接。

优选的，所述内层的下端直径比连接端的上端直径大5mm-10mm。

优选的，所述外层的圆锥倾斜度为40°-45°，所述内层的圆锥斜度30°-35°。

优选的，所述连接端、外层和内层的壁厚均为2mm-3mm。

优选的，所述进水管与出水管的直径为10mm-15mm。

优选的，所述连接端的长度为50mm-70mm。

优选的，所述外层的侧壁上设有把手。

与现有技术相比，实用新型的有益效果是：

1、本实用新型用烧杯清洗晶圆时，将装置的连接端插入烧杯内，然后向冷却端通入冷却水，烧杯内的挥发性有机物向上挥发后在冷却端的底部遇冷冷凝回流到烧杯内，从而实现了对挥发性有机物的回收利用，减小了挥发性有机物向大气内的排放量，降低了大气污染；该装置能够重复利用，使用方便，其结构简单，制造成本低，大大减小了使用成本。

2、本实用新型将冷却端的结构设置为圆锥结构，大大增加了挥发性有机物与冷却端的接触面积，同时增大了冷却端与冷却水的接触面积，提高了冷却效果。

3、本实用新型在外层的侧壁上设置把手，便于对装置的取拿，使用更加方便，增加使用安全。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图一；

图2为本实用新型的剖视图；

图3为本实用新型的立体结构示意图二；

图4为本实用新型使用时的结构示意图。

图中：1-出水管；2-外层；3-连接端；4-进水管；5-内层；6-把手；7-烧杯；8-晶圆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实施例以晶圆清洗为例进行具体说明：如图4所示，晶圆8的清洗主要采用烧杯7清洗，晶圆9放在烧杯7内，加入化学试剂进行清洗，将烧杯7的上端安装上本发明的挥发性有机物的回收装置，如图1所示，该装置包括连接端3和冷却端，连接端3为下端敞口的空腔结构，连接端3插入到烧杯7内，连接端3的上端与冷却端连接，冷却端位于烧杯7的上端，如图2所示，冷却端内部为冷却腔，冷却端的侧壁上设有与冷却腔连通的进水管4与出水管1，进水管4与出水管1相对设置，进水管4靠近冷却端的下端设置，出水管1靠近冷却端的上端设置，从进水管4通入冷水，冷水进入冷却腔然后由出水管1流出，化学试剂内的挥发性有机物向上挥发与冷却端的底部接触，挥发性有机物遇冷冷凝成液体沿连接端3的内壁回流到烧杯7内，实现了对挥发性有机物回收利用，减少了排放量；由于挥发性有机物从冷却端的下端，因此冷水下进上出，进入冷却端的冷水直接用于对挥发性有机物的冷却，提高冷却效果。

如图2所示，冷却端包括外层2和内层5，为了提高冷却效果，增大接触面积，将外层2与内层5均为圆锥壳体结构，连接端3为两端开口的圆筒结构，内层5的下端与连接端3的上端密封连接，外层2套在内层5的外侧，外层2的下端与内层5的下端密封连接，外层2与内层5之间为冷却腔，进水管4与出水管1均与外层2连接。

将冷却端的结构设置为圆锥结构，大大增加了挥发性有机物与冷却端的接触面积，同时增大了冷却端与冷却水的接触面积，提高了冷却效果。

由于将冷却端设置为圆锥结构，因此不方便拿取，为了解决该问题，如图3所示，在外层2的侧壁上设有把手6，方便拿取装置，增加了使用安全。

装置的尺寸参数为：

内层5的下端直径比连接端3的上端直径大5mm-10mm。

外层2的圆锥倾斜度为40°-45°，内层5的圆锥斜度30°-35°。

连接端3、外层2和内层5的壁厚均为2mm-3mm。

进水管4与出水管1的直径为10mm-15mm。

连接端3的长度为50mm-70mm。

本实施例中用石英材料制作该装置，先制作一个底部直径为150mm，倾斜角度为45°的圆锥壳体结构，且壁厚为3mm，作为外层2；再制作一个底部直径140mm，倾斜角度30°的圆锥壳体结构，壁厚3mm，作为内层5，然后将外层2套在内层5的外部，并将底部焊接在一起，外层2与内层5之间形成冷却腔；

在外层2的侧壁上焊接与冷却腔连通进水管4与出水管1，进水管4靠近外层2的下端，出水管1靠近外层2的上端，进水管4与出水管1的直径均为10mm；

在外层2的侧壁上焊接两个把手6，把手6直径为10mm；

制作一个直径为140mm，壁厚为3mm，高度为50mm的圆筒结构作为连接端3，将连接端3的上端与内层5的底部焊接为一体，则该装置制作完毕。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。