一种用于多晶硅生产的尾气分级过滤装置的制作方法

本实用新型涉及尾气过滤设备技术领域，具体是一种用于多晶硅生产的尾气分级过滤装置。

背景技术：

多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅，多晶硅生产过程中的尾气需要妥善的进行处理，不然会对大气造成非常严重的损坏，多晶硅生产的尾气分级过滤设备可以更加彻底高效的分级过滤尾气，但是，现有的设备在对尾气进行分级过滤的过程中容易出现回流问题，导致尾气分级过滤不彻底，并且在本实用新型工作时外表的高温使工作人员工作环境更加恶劣，并且也容易造成工作人员受伤。因此，本领域技术人员提供了一种用于多晶硅生产的尾气分级过滤装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于多晶硅生产的尾气分级过滤装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于多晶硅生产的尾气分级过滤装置，包括吸收塔和炉体，所述吸收塔的一侧贯穿连接有第一连接管、第二连接管和过水管，所述第一连接管、第二连接管和过水管的一端贯穿连接有解析塔，所述解析塔的一侧贯穿连接有第一连通管和第二连通管，所述吸收塔和解析塔的下表面固定安装有底座，所述炉体的上表面贯穿连接有出气管，所述吸收塔和解析塔的内部固定安装有保护组件，所述出气管的顶端贯穿连接有止回组件。

作为本实用新型再进一步的方案：所述保护组件包括凹槽、出水管、进水管、水箱、水泵、支撑腿、第一箱体、炉体、冷却腔和第二箱体，所述第二箱体的内部固定设置有第一箱体，所述第一箱体与第二箱体之间固定设置有冷却腔，所述第二箱体的一侧贯穿连接有出水管和进水管，所述出水管的一端贯穿连接有水箱，所述进水管的一端贯穿水箱的上表面连接于水泵，所述水箱的下表面固定连接有支撑腿，且水箱的上表面开设有凹槽。

作为本实用新型再进一步的方案：所述止回组件包括法兰、螺纹孔、缓速板、定板、转轴、壳体、限位块和止回板，所述壳体的内表面靠近顶端位置处固定安装有缓速板，且壳体内表面靠近中间位置处固定安装有定板，所述壳体的顶端固定连接有法兰，且壳体的内表面固定安装有限位块，所述法兰的上表面开设有螺纹孔，所述定板的一侧固定安装有转轴，所述转轴的外表面转动连接有止回板。

作为本实用新型再进一步的方案：所述过水管、出水管和进水管的材质相同，且过水管、出水管和进水管的直径相同。

作为本实用新型再进一步的方案：所述支撑腿的材质为不锈钢，且支撑腿的数量为4个。

作为本实用新型再进一步的方案：所述缓速板的数量为2个，且2个缓速板呈交错设置。

作为本实用新型再进一步的方案：所述限位块的上表面设置有密封垫，所述止回板的一侧设置有密封垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过增加了保护组件可以在本实用新型正常工作的过程中防止外壁的高温对工作人员的身体造成伤害，并且在保证炉内正常工作温度的情况下，使炉体外部的温度不会对工作人员造成伤害，通过增加了止回组件可以在本实用新型进行尾气处理的过程中防止发生逆流情况，造成尾气处理不彻底，对大气造成污染。

附图说明

图1为一种用于多晶硅生产的尾气分级过滤装置的结构示意图；

图2为一种用于多晶硅生产的尾气分级过滤装置中水泵的安装结构示意图；

图3为一种用于多晶硅生产的尾气分级过滤装置中保护组件的结构示意图；

图4为一种用于多晶硅生产的尾气分级过滤装置中止回组件的结构示意图。

图中：1、止回组件；2、法兰；3、出气管；4、螺纹孔；5、吸收塔；6、第一连接管；7、解析塔；8、第一连通管；9、第二连通管；10、第二连接管；11、过水管；12、底座；13、保护组件；14、凹槽；15、出水管；16、进水管；17、水箱；18、水泵；19、支撑腿；20、第一箱体；21、炉体；22、冷却腔；23、缓速板；24、定板；25、转轴；26、壳体；27、限位块；28、止回板；29、第二箱体。

具体实施方式

请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种用于多晶硅生产的尾气分级过滤装置，包括吸收塔5和炉体21，吸收塔5的一侧贯穿连接有第一连接管6、第二连接管10和过水管11，第一连接管6、第二连接管10和过水管11的一端贯穿连接有解析塔7，解析塔7的一侧贯穿连接有第一连通管8和第二连通管9，吸收塔5和解析塔7的下表面固定安装有底座12，炉体21的上表面贯穿连接有出气管3。

在图1、2和3中：吸收塔5和解析塔7的内部固定安装有保护组件13，保护组件13包括凹槽14、出水管15、进水管16、水箱17、水泵18、支撑腿19、第一箱体20、炉体21、冷却腔22和第二箱体29，第二箱体29的内部固定设置有第一箱体20，第一箱体20与第二箱体29之间固定设置有冷却腔22，第二箱体29的一侧贯穿连接有出水管15和进水管16，出水管15的一端贯穿连接有水箱17，进水管16的一端贯穿水箱17的上表面连接于水泵18，水箱17的下表面固定连接有支撑腿19，且水箱17的上表面开设有凹槽14，过水管11、出水管15和进水管16的材质相同，且过水管11、出水管15和进水管16的直径相同，支撑腿19的材质为不锈钢，且支撑腿19的数量为4个，本实用新型通过增加了保护组件13可以在本实用新型正常工作的过程中防止外壁的高温对工作人员的身体造成伤害，并且在保证炉内正常工作温度的情况下，使炉体21外部的温度不会对工作人员造成伤害。

在图1和4中：出气管3的顶端贯穿连接有止回组件1，止回组件1包括法兰2、螺纹孔4、缓速板23、定板24、转轴25、壳体26、限位块27和止回板28，壳体26的内表面靠近顶端位置处固定安装有缓速板23，且壳体26内表面靠近中间位置处固定安装有定板24，壳体26的顶端固定连接有法兰2，且壳体26的内表面固定安装有限位块27，法兰2的上表面开设有螺纹孔4，定板24的一侧固定安装有转轴25，转轴25的外表面转动连接有止回板28，缓速板23的数量为2个，且2个缓速板23呈交错设置，限位块27的上表面设置有密封垫，止回板28的一侧设置有密封垫，通过增加了止回组件1可以在本实用新型进行尾气处理的过程中防止发生逆流情况，造成尾气处理不彻底，对大气造成污染。

本实用新型的工作原理是：本实用新型在进行尾气分级过滤时，利用氯化氢吸收塔5塔顶输出的不凝气对还原尾气进行冷却，冷却后的还原尾气进入吸收塔5，通过塔顶喷淋而下氯硅烷贫液(含少量氯化氢的氯硅烷液相)与之做相对运动，吸收其中所含氯化氢；塔釜氯化氢富液(富含氯化氢的氯硅烷液相)经解析塔7塔釜液相加热后，进入氯化氢解析塔7进行高温解析，将氯化氢从氯硅烷中分离出来，从塔顶进入下一工序，高温的氯硅烷贫液经吸收塔5塔釜出来的富液降温，再经氟利昂深冷后进入氯化氢吸收塔5，在两塔循环间新增一条三氯氢硅管线，提升吸收塔5，解析塔7内组分的三氯氢硅含量，即可提升吸收塔5对还原尾气中氯化氢的吸收效果，从而更好的保证回收氢的纯度，降低后续吸附工序的装置负荷，循环上述吸收流程，在本实用新型正常工作时通过水泵18将水箱17内的水经过进水管16和出水管15在冷却腔22内循环流动，使第二箱体29表面的温度始终保持在正常的温度，在本实用新型尾气分级过滤过程中止回组件1通过止回板28的设置，在限位块27的限制下止回板28只能在转轴25上往一个方向转动，保证不会出现逆流情况，提高尾气分级过滤的精度。

以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。