一种ITO薄膜均匀镀膜装置的制作方法

文档序号:23671722发布日期:2021-01-23 05:40阅读:102来源:国知局
一种ITO薄膜均匀镀膜装置的制作方法
一种ito薄膜均匀镀膜装置
技术领域
[0001]
本实用新型涉及镀膜机技术领域,具体是一种ito薄膜均匀镀膜装置。


背景技术:

[0002]
ito薄膜在生产的过程中需要对薄膜外侧镀上一层膜,现有ito薄膜真空镀膜机具有自动化程度高,效率高,真空度高,能耗低等优点,在进行镀膜前需要对设备内部进行抽真空处理,但是实际操作中一般为了加快生产,一般内部融化装置的加热装置会同时开启,所以会出现内部温度升高而同时进行抽真空的过程,抽真空时加热的空气被真空泵抽出去的时候,热量必然会被带到真空泵上去,从而导致真空泵温升过高,有可能使真空泵效率下降,影响机器的性能。
[0003]
因此,本领域技术人员提供了一种ito薄膜均匀镀膜装置,以解决上述背景技术中提出的问题。


技术实现要素:

[0004]
本实用新型的目的在于提供一种ito薄膜均匀镀膜装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
[0005]
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
[0006]
一种ito薄膜均匀镀膜装置,包括镀膜箱、过滤箱、镀膜装置、注液装置和过滤装置;所述镀膜箱的上端设有过滤箱,且镀膜箱的内部上端设有注液装置,镀膜箱的内部下端设有镀膜装置,且过滤箱的内部设有过滤装置;所述镀膜装置包括镀膜池、支撑板、注液板和排液口;所述镀膜箱内部下端的左侧设有支撑板,且镀膜箱内部下端的右侧设有镀膜池,镀膜池的内部下侧设有倾斜状的注液板,且镀膜池的右端下侧与注液板的对应处设有排液口,且排液口的一侧端部贯穿延伸至镀膜箱的外端下侧。
[0007]
作为本实用新型进一步的方案:所述注液装置包括支撑架、注液口、镀膜液喷淋管和转动杆;所述支撑板的上侧端部设有支撑架,且支撑架的上侧端部设有安装套,安装套的内部贯穿连接转动杆,且支撑架上贯穿设有注液口,且注液口的左侧端部贯穿延伸至镀膜箱的外端外侧,且注液口的右侧端部设有倾斜状的与镀膜池对应设置的镀膜液喷淋管。
[0008]
作为本实用新型再进一步的方案:所述过滤装置包括下过滤网、网板、导热板和冷却管;所述过滤箱的内部下端的设有下过滤网,且下过滤网的上侧端部设有若干个倾斜设置的网板,且网板的上侧端部均设有倾斜状的导热板,导热板的相邻之间均设有冷却管,且网板的内部均设有无纺布,且网板的相邻之间均设有下导流通道,导热板的相邻之间均设有上导流通道,过滤箱的内部上端是上过滤网。
[0009]
作为本实用新型再进一步的方案:所述过滤箱的下侧端部与镀膜箱的连接之间设有贯通管。
[0010]
作为本实用新型再进一步的方案:所述过滤箱的上侧端部设有排出管,且排出管上设有抽真空泵。
[0011]
作为本实用新型再进一步的方案:所述导热板和冷却管均可为铝制或铜制。
[0012]
作为本实用新型再进一步的方案:所述抽真空泵与外部电源和外部单片机电性连接,且外部单片机的型号为stm32。
[0013]
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本装置适用于多种镀膜场合,使用时,将ito薄膜经过镀膜箱内部的镀膜池内,通过注液口和镀膜液喷淋管注入镀膜液对ito薄膜进行喷淋镀膜,喷淋多余的镀膜液经过镀膜池内部的注液板流入到排液口处,在经过排液口向外侧排出,此时,过滤箱主要用于对镀膜箱内的粉尘进行吸附过滤,空气会依次沿着下导流通道和上导流通道之间的v型流道流动,从而被吸附和冷却,吸附效果高且冷却效果也好;无纺布表面可植入绒毛,增加能力,网板上具有网孔,部分空气也能依次透过无纺布和网孔进行流动,增加吸附能力与空气流动性;导热板和冷却管均可为铝制或铜制,增加导热性,冷却管可以外接接冷却水,下过滤网可以避免其他大尺寸物体进入过滤箱内,上过滤网避免其他物体进入抽真空泵内,起到保护作用。
附图说明
[0014]
图1为一种ito薄膜均匀镀膜装置的结构示意图。
[0015]
图2为一种ito薄膜均匀镀膜装置过滤箱截面的结构示意图。
[0016]
图中:1-镀膜箱、2-支撑板、3-镀膜池、4-注液板、5-排液口、6-注液口、7-支撑架、 8-镀膜液喷淋管、9-转动杆、10-安装套、11-过滤箱、12-贯通管、13-抽真空泵、14-排出管、15-下过滤网、16-网板、17-无纺布、18-下导流通道、19-导热板、20-冷却管、21
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上导流通道、22-上过滤网。
具体实施方式
[0017]
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0018]
请参阅图1~2,本实用新型实施例中,一种ito薄膜均匀镀膜装置,包括镀膜箱、过滤箱、镀膜装置、注液装置和过滤装置;所述镀膜箱1的上端设有过滤箱11,且镀膜箱1 的内部上端设有注液装置,镀膜箱1的内部下端设有镀膜装置,且过滤箱11的内部设有过滤装置;所述镀膜装置包括镀膜池3、支撑板2、注液板4和排液口5;所述镀膜箱1内部下端的左侧设有支撑板2,且镀膜箱1内部下端的右侧设有镀膜池3,镀膜池3的内部下侧设有倾斜状的注液板4,且镀膜池3的右端下侧与注液板4的对应处设有排液口5,且排液口5的一侧端部贯穿延伸至镀膜箱1的外端下侧。
[0019]
所述注液装置包括支撑架7、注液口6、镀膜液喷淋管8和转动杆9;所述支撑板2的上侧端部设有支撑架7,且支撑架7的上侧端部设有安装套10,安装套10的内部贯穿连接转动杆9,且支撑架7上贯穿设有注液口6,且注液口6的左侧端部贯穿延伸至镀膜箱1 的外端外侧,且注液口6的右侧端部设有倾斜状的与镀膜池3对应设置的镀膜液喷淋管8。
[0020]
所述过滤装置包括下过滤网15、网板16、导热板19和冷却管20;所述过滤箱11的内部下端的设有下过滤网15,且下过滤网15的上侧端部设有若干个倾斜设置的网板16,且网
板16的上侧端部均设有倾斜状的导热板19,导热板19的相邻之间均设有冷却管20,且网板16的内部均设有无纺布17,且网板16的相邻之间均设有下导流通道18,导热板 19的相邻之间均设有上导流通道21,过滤箱11的内部上端是上过滤网22。
[0021]
所述过滤箱11的下侧端部与镀膜箱1的连接之间设有贯通管12。
[0022]
所述过滤箱11的上侧端部设有排出管14,且排出管14上设有抽真空泵13。
[0023]
所述导热板19和冷却管20均可为铝制或铜制。
[0024]
所述抽真空泵13与外部电源和外部单片机电性连接,且外部单片机的型号为stm32。
[0025]
本实用新型的工作原理是:
[0026]
本实用新型涉及一种ito薄膜均匀镀膜装置,本装置适用于多种镀膜场合,使用时,将ito薄膜经过镀膜箱1内部的镀膜池3内,通过注液口6和镀膜液喷淋管8注入镀膜液对ito薄膜进行喷淋镀膜,喷淋多余的镀膜液经过镀膜池3内部的注液板4流入到排液口 5处,在经过排液口5向外侧排出,此时,过滤箱11主要用于对镀膜箱1内的粉尘进行吸附过滤,空气会依次沿着下导流通道18和上导流通道21之间的v型流道流动,从而被吸附和冷却,吸附效果高且冷却效果也好;无纺布17表面可植入绒毛,增加能力,网板16 上具有网孔,部分空气也能依次透过无纺布17和网孔进行流动,增加吸附能力与空气流动性;导热板19和冷却管20均可为铝制或铜制,增加导热性,冷却管9可以外接接冷却水,下过滤网15可以避免其他大尺寸物体进入过滤箱11内,上过滤网22避免其他物体进入抽真空泵13内,起到保护作用。
[0027]
对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0028]
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
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