涂料固化装置以及涂料固化方法与流程

本发明涉及涂料固化装置以及涂料固化方法。

背景技术：

以往，已知通过电子束使涂布于工件的涂料固化的涂料固化装置(例如，参照日本特开平10－123300)。

日本特开平10－123300的涂料固化装置具备射出用于使涂料固化的电子束的电子束射出部和在顶端设有电子束射出部的机械臂。机械臂被配置为使电子束射出部对涂布于工件的涂料进行扫描。由此，即使在工件具有曲面的情况下等，也能将电子束适当地照射至涂料。

在此，在从电子束射出部向涂料照射电子束时，若电子束与氧碰撞，则恐怕会产生臭氧。

技术实现要素：

本发明是为了解决上述的问题而完成的，本发明的目的在于提供一种能抑制臭氧的产生的涂料固化装置以及涂料固化方法。

本发明的涂料固化装置是使涂布于工件的涂料固化的装置，该涂料固化装置具备：电子束射出部，射出用于使涂料固化的电子束；以及容纳室，容纳电子束射出部。涂料固化装置被配置为：在已将容纳室内至少从电子束射出部向涂料照射的电子束的通过区域设为惰性气体气氛的状态下，一边从电子束射出部向涂料照射电子束，一边使工件和电子束射出部相对地移动。

通过这样配置，将电子束的通过区域设为惰性气体气氛，由此能抑制电子束与氧碰撞，因此能抑制臭氧的产生。

在上述涂料固化装置中，可以是，具备向容纳室内供给惰性气体的气体供给部。

若这样配置，则能通过从气体供给部向容纳室内供给惰性气体，将电子束的通过区域设为惰性气体气氛。

在上述涂料固化装置中，可以是，具备机械臂，所述机械臂在顶端设有电子束射出部，用于使该电子束射出部移动。

若这样配置，则能通过机械臂使电子束射出部相对于工件移动。

在上述涂料固化装置中，可以是，具备工件输送部，所述工件输送部具有保持工件的保持部和运送保持部的运送部，保持部被配置为能使所保持的工件相对于运送部移动。

若这样配置，则能通过保持部使工件相对于电子束射出部移动。

在上述涂料固化装置中，可以是，具备工件输送部，所述工件输送部具有保持工件的保持部和运送保持部的运送部，保持部被配置为能使所保持的工件相对于运送部移动，电子束射出部设于容纳室的内表面，被配置为能在水平方向移动。

若这样配置，则电子束射出部被沿内表面移动，因此能使电子束射出部以稳定的状态移动。

在上述涂料固化装置中，可以是，具备工件输送部，所述工件输送部具有保持工件的保持部和运送保持部的运送部，保持部被配置为能使所保持的工件相对于运送部移动，电子束射出部固定于容纳室的内表面。

若这样配置，则能一边使电子束射出部稳定，一边使工件和电子束射出部相对地移动。

在上述涂料固化装置中，可以是，具备向电子束的通过区域吹送惰性气体的气体吹送部。

若这样配置，则能通过从气体吹送部吹送惰性气体，将电子束的通过区域设为惰性气体气氛。

在上述涂料固化装置中，可以是，电子束射出部被配置为所射出的电子束的宽度比工件中的被电子束照射的被照射区域窄。

若这样配置，则能一边根据工件的形状来调整电子束射出部与工件的涂料的距离等，一边向工件的涂料照射电子束。

在上述涂料固化装置中，可以是，工件被形成为三维形状。

若这样配置，则能使涂布于三维形状的工件的涂料固化。

本发明的涂料固化方法是通过电子束使涂布于工件的涂料固化的方法，该涂料固化方法包含：将容纳有电子束射出部的容纳室内、至少从电子束射出部向涂料照射的电子束的通过区域设为惰性气体气氛的步骤；在已将通过区域设为惰性气体气氛的状态下，从电子束射出部向涂料照射电子束的步骤；以及一边从电子束射出部向涂料照射电子束，一边使工件和电子束射出部相对地移动的步骤。

通过这样配置，将电子束的通过区域设为惰性气体气氛，由此能抑制电子束与氧碰撞，因此能抑制臭氧的产生。

根据本发明的涂料固化装置以及涂料固化方法，能抑制臭氧的产生。

附图说明

以下，参照附图，对本发明的示例性实施例的特征、优点以及技术和工业意义进行说明，其中，相同的附图标记表示相同的元件，其中：

图1是表示第一实施方式的涂料固化装置的概略构成的立体图。

图2是用于说明第一实施方式的涂料固化装置的动作的示意图。

图3是表示在图2的涂料固化装置中电子束射出部被移动后的状态的图。

图4是用于说明第二实施方式的涂料固化装置的示意图。

图5是用于说明第三实施方式的涂料固化装置的示意图。

图6是用于说明第四实施方式的涂料固化装置的示意图。

图7是用于说明第五实施方式的涂料固化装置的示意图。

图8a是为了说明第六实施方式的涂料固化装置而将电子束射出部和工件放大表示的示意图(其一)，是从横侧观察的图。

图8b是从上侧观察图8a的图。

图9a是为了说明第六实施方式的涂料固化装置而将电子束射出部和工件放大表示的示意图(其二)，是从横侧观察的图。

图9b是从上侧观察图9a的图。

图10a是为了说明第六实施方式的涂料固化装置而将电子束射出部和工件放大表示的示意图(其三)，是从横侧观察的图。

图10b是从上侧观察图10a的图。

图11是用于说明在第六实施方式的涂料固化装置中工件具有凹部的情况下的动作的示意图(其一)。

图12是用于说明在第六实施方式的涂料固化装置中工件具有凹部的情况下的动作的示意图(其二)。

图13是用于说明在第六实施方式的涂料固化装置中工件具有凹部的情况下的动作的示意图(其三)。

图14是用于说明第六实施方式的涂料固化装置的电子束的扫描模式的第一变形例的图。

图15是用于说明第六实施方式的涂料固化装置的电子束的扫描模式的第二变形例的图。

具体实施方式

以下，对本发明的实施方式进行说明。

(第一实施方式)

首先，参照图1，对本发明的第一实施方式的涂料固化装置100进行说明。

涂料固化装置100例如设置于工厂的生产线，被配置为通过电子束使涂布于工件150的涂料151固化。在工厂的生产线中，在涂料固化装置100的上游侧配置有将作为电子束固化涂料的涂料151涂布于工件150的涂布装置(省略图示)，在涂料固化装置100的下游侧配置有对涂料151已固化的工件150进行检查的检查装置(省略图示)。工件150例如是树脂制的车辆用保险杠，被形成为具有弯曲部或凹凸部等的三维形状。

如图1所示，涂料固化装置100具备：电子束射出部1，射出用于使涂料151固化的电子束；机械臂2，在顶端21设有电子束射出部1；容纳室3，容纳有机械臂2；工件输送部4，对容纳室3输送工件150；以及气体供给部5(参照图2)，连接于容纳室3。

电子束射出部1例如是帘式(curtaintype)，被配置为射出宽幅的电子束。该电子束射出部1包括：中空圆柱状的真空腔11；配置于真空腔11内的灯丝(filament)(省略图示)；以及对从灯丝放出的电子进行加速的加速器(省略图示)，该电子束射出部1从形成为在真空腔11的周面沿长尺寸方向延伸的窗(省略图示)射出被加速的电子。

机械臂2是为了使设于顶端21的电子束射出部1移动而设置的。具体而言，机械臂2被配置为使电子束射出部1沿三维形状的工件150的表面进行扫描。该机械臂2例如使电子束射出部1以六个自由度移动。即，机械臂2被配置为能使电子束射出部1在x轴方向、y轴方向、z轴方向、绕x轴方向、绕y轴方向以及绕z轴方向移动。

容纳室3是对工件150的涂料151实施固化处理的处理室。在容纳室3设有：搬入门31，打开/关闭工件150的搬入口31a；以及搬出门32，打开/关闭工件150的搬出口32a。该容纳室3被形成为：在搬入门31和搬出门32被关闭的情况下，内部成为密闭空间。此外，容纳室3被配置为屏蔽在内部产生的x射线而不泄露至外部。

工件输送部4是为了将涂布有涂料151的工件150搬入容纳室3，并且将涂料151已固化的工件150从容纳室3搬出而设置的。该工件输送部4具有保持工件150的保持部41和运送保持部41的运送部42。保持部41所保持的工件150不相对于运送部42移动。

气体供给部5(参照图2)是为了向容纳室3供给惰性气体，将容纳室3内设为惰性气体气氛而设置的。惰性气体是氧浓度比空气低的气体，例如是氮气。

－涂料固化装置的动作－

接着，参照图1～图3，对第一实施方式的涂料固化装置100的动作(涂料固化方法)进行说明。

首先，涂布有涂料151的工件150被搬入容纳室3(参照图1)。具体而言，使工件输送部4的保持部41保持通过涂料固化装置100的上游侧的涂布装置(省略图示)涂布有涂料151的工件150。然后，容纳室3的搬入门31被打开，工件输送部4的运送部42被移动。因此，保持工件150的工件输送部4经由搬入口31a进入容纳室3的内部。之后，搬入门31被关闭，容纳室3的内部被密闭。

接着，从气体供给部5(参照图2)向容纳室3供给惰性气体，由此容纳室3内被设为惰性气体气氛。因此，从电子束射出部1向涂料151照射的电子束的通过区域也被设为惰性气体气氛。即，电子束的通过区域的氧浓度降低。

然后，如图2所示，电子束射出部1通过机械臂2被配置于照射开始位置。照射开始位置是预先设定的位置，与工件150的涂料151的表面分离规定距离。接着，从电子束射出部1向涂料151照射电子束，由此该涂料151被固化。此时，通过电子束的照射而产生的x射线被容纳室3屏蔽。

此外，一边从电子束射出部1向涂料151照射电子束，一边如图3所示电子束射出部1通过机械臂2沿工件150的涂料151的表面进行扫描。此时，通过机械臂2将电子束射出部1与涂料151的距离保持恒定为规定距离。需要说明的是，由工件输送部4保持的工件150被固定而不会被移动。之后，对工件150的涂料151的整体照射电子束，当电子束射出部1被移动至照射结束位置时，从电子束射出部1向涂料151的电子束的照射结束。由此，工件150的涂料151的整体被固化。

接着，涂料151已固化的工件150被从容纳室3(参照图1)搬出。具体而言，容纳室3的搬出门32被打开，工件输送部4的运送部42被移动。因此，保持工件150的工件输送部4经由搬出口32a从容纳室3出去。然后，涂料151已固化的工件150被交给检查装置(省略图示)。

－效果－

在第一实施方式中，如上所述，通过使工件150和电子束射出部1相对地移动，能对三维形状的工件150照射电子束来使涂料151固化。此外，通过将电子束的通过区域设为惰性气体气氛，能抑制电子束与氧碰撞，因此能抑制臭氧的产生。而且，通过设为惰性气体气氛，能抑制通过电子束的照射实现的涂料151的固化被氧阻碍。

此外，在第一实施方式中，设有气体供给部5，由此能将电子束的通过区域设为惰性气体气氛。

此外，在第一实施方式中，设有机械臂2，由此能使电子束射出部1对工件150进行扫描。

(第二实施方式)

接着，参照图4，对本发明的第二实施方式的涂料固化装置100a进行说明。在第二实施方式的涂料固化装置100a中，设有向电子束射出部1与涂料151之间的空间(电子束的通过区域)吹送惰性气体的气体吹送部6。

如图4所示，涂料固化装置100a具备电子束射出部1、机械臂2、容纳室3、工件输送部4、气体供给部5以及气体吹送部6。

气体吹送部6设于机械臂2的顶端21，被配置为朝向被照射电子束的涂料151的表面吹送惰性气体。该气体吹送部6被配置为：在从电子束射出部1向涂料151照射电子束时，向电子束的通过区域吹送惰性气体。即，气体吹送部6被配置为在电子束射出部1从照射开始位置向照射结束位置进行扫描时吹送惰性气体。

需要说明的是，第二实施方式的其他构成和动作与第一实施方式大致相同。

－效果－

在第二实施方式中，如上所述，设有气体吹送部6，由此能使电子束的通过区域的氧浓度进一步降低。此外，例如，在工件150形成有凹部(省略图示)，氧进入凹部的情况下，能将该氧从凹部吹出。

此外，在第二实施方式中，在机械臂2的顶端21装配有气体吹送部6，由此电子束射出部1和气体吹送部6通过机械臂2被一体地移动，因此能容易地一边向电子束的通过区域吹送惰性气体一边使电子束的通过区域移动。此外，与独立于使电子束射出部1移动的机械臂2地设置使气体吹送部移动的机械臂(省略图示)的情况相比，能谋求零件个数的削减，并且谋求小型化。

需要说明的是，第二实施方式的其他效果与第一实施方式相同。

(第三实施方式)

接着，参照图5，对本发明的第三实施方式的涂料固化装置100b进行说明。在第三实施方式的涂料固化装置100b中，工件输送部4b的保持部41b以工件150可移动的方式保持工件150。

如图5所示，涂料固化装置100b具备电子束射出部1、机械臂2、容纳室3、工件输送部4b、气体供给部5以及气体吹送部6。

工件输送部4b具有保持工件150的保持部41b和运送保持部41b的运送部42。保持部41b能使工件150相对于运送部42移动，例如使工件150以六个自由度移动。因此，在从电子束射出部1向涂料151照射电子束时，机械臂2与保持部41b协作，电子束射出部1与工件150的位置关系被调整。因此，电子束射出部1和工件150被移动，由此电子束射出部1对工件150进行扫描。

需要说明的是，第三实施方式的其他构成和动作与第二实施方式大致相同。

－效果－

在第三实施方式中，如上所述，保持部41b能使工件150移动，由此，通过使机械臂2与保持部41b协作，能减小机械臂2的移动量，因此能谋求容纳室3的小型化。

需要说明的是，第三实施方式的其他效果与第二实施方式相同。

(第四实施方式)

接着，参照图6，对本发明的第四实施方式的涂料固化装置100c进行说明。在第四实施方式的涂料固化装置100c中，未设有机械臂2(参照图5)，电子束射出部1和气体吹送部6可滑动移动地设于容纳室3的上表面的内侧3a。需要说明的是，上表面的内侧3a是本发明的“内表面”的一个例子。

如图6所示，涂料固化装置100c具备电子束射出部1、容纳室3、工件输送部4b、气体供给部5、气体吹送部6以及滑动构件7。

在滑动构件7装配有电子束射出部1和气体吹送部6。该滑动构件7设于容纳室3的上表面的内侧3a，被配置为能在水平方向移动。即，电子束射出部1和气体吹送部6通过滑动构件7被以两个自由度移动。因此，在从电子束射出部1向涂料151照射电子束时，滑动构件7与保持部41b协作，电子束射出部1与工件150的位置关系被调整。因此，电子束射出部1和工件150被移动，由此电子束射出部1对工件150进行扫描。

需要说明的是，第四实施方式的其他构成和动作与第三实施方式大致相同。

－效果－

在第四实施方式中，如上所述，电子束射出部1和气体吹送部6可滑动移动地设于容纳室3的上表面的内侧3a，由此电子束射出部1和气体吹送部6被沿上表面移动，因此能使电子束射出部1和气体吹送部6以稳定的状态移动。

需要说明的是，第四实施方式的其他效果与第三实施方式相同。

(第五实施方式)

接着，参照图7，对本发明的第五实施方式的涂料固化装置100d进行说明。在第五实施方式的涂料固化装置100d中，未设有滑动构件7(参照图6)，电子束射出部1和气体吹送部6固定于容纳室3的上表面的内侧3a。

如图7所示，涂料固化装置100d具备电子束射出部1、容纳室3、工件输送部4b、气体供给部5以及气体吹送部6。

电子束射出部1和气体吹送部6以不移动的方式被装配于容纳室3的上表面的内侧3a。工件输送部4b被配置为使所保持的工件150相对于被固定的电子束射出部1移动。具体而言，工件输送部4b的保持部41b和运送部42移动，由此，工件150以工件150的涂料151的表面依次通过与电子束射出部1对置的规定位置的方式移动。因此，在从电子束射出部1向涂料151照射电子束时，工件150通过保持部41b和运送部42相对于电子束射出部1移动，由此电子束射出部1对工件150进行扫描。需要说明的是，也可以在从电子束射出部1向涂料151照射电子束时，工件150仅通过保持部41b相对于电子束射出部1移动。

需要说明的是，第五实施方式的其他构成和动作与第四实施方式大致相同。

－效果－

在第五实施方式中，如上所述，电子束射出部1和气体吹送部6固定于容纳室3的上表面的内侧3a，由此，能一边使电子束射出部1和气体吹送部6稳定，一边使工件150和电子束射出部1相对地移动。此外，能谋求使电子束射出部1对工件150进行扫描时的驱动控制的简化。

需要说明的是，第五实施方式的其他效果与第四实施方式相同。

(第六实施方式)

接着，参照图8a、图8b～图10a、图10b，对本发明的第六实施方式的涂料固化装置100e进行说明。在第六实施方式的涂料固化装置100e中，代替第一实施方式的电子束射出部1(参照图1)而设有例如真空管型的电子束射出部1a。需要说明的是，在图8a、图8b～图10a、图10b的各图中，图8a、图9a、图10a是从横侧观察电子束射出部1a和工件160的图，图8b、图9b、图10b是分别从上侧观察图8a、图9a、图10a的图。

电子束射出部1a具有将电子束发生源(省略图示)封入内部的真空管11a，被配置为从设于真空管11a的窗(省略图示)射出电子束。该电子束射出部1a与上述的电子束射出部1相比为小型，能射出与电子束射出部1相比宽度窄的电子束。因此，如图8a所示，电子束射出部1a被配置为所射出的电子束与工件160中的被电子束照射的被照射区域r相比宽度w窄。即，通过电子束射出部1a获得的对工件160的涂料161的电子束的照射范围i(参照图8b)比被照射区域r小，因此，通过使电子束对涂料161进行扫描，电子束被照射至工件160的整个被照射区域r。

需要说明的是，工件160例如是树脂制的车辆用保险杠，但为了便于说明，将其一部分放大表示。工件160被形成为具有弯曲部160a的三维形状，在表面涂布有作为电子束固化涂料的涂料161。工件160的涂布有涂料161的区域是被照射区域r。

因此，在涂料固化装置100e中，在向工件160的涂料161照射电子束时，能根据工件160的形状来调整电子束射出部1a与工件160的涂料161的距离和电子束相对于工件160的涂料161的照射角度。并且，涂料固化装置100e被配置为：一边适当地调整从电子束射出部1a起到涂料161为止的距离和电子束的照射角度，一边向工件160的整个被照射区域r照射电子束。

例如，涂料固化装置100e被配置为：在使工件160的弯曲部160a的涂料161固化的情况下，一边反复进行电子束射出部1a在主方向(d1和d2方向)的移动和电子束射出部1a在副方向(c方向)的移动，一边向工件160的涂料161照射电子束。副方向是与主方向正交的方向，是沿着工件160的弯曲形状的方向。

具体而言，在涂料固化装置100e中，一边从电子束射出部1a射出电子束，一边如图8b所示使电子束射出部1a向主方向上的一方(d1方向)移动。此时，如图8a所示，电子束射出部1a被配置为射出电子束的窗与工件160的表面对置(电子束的射出方向朝向与弯曲部160a的切线方向正交的方向)，并且被配置为电子束的宽度方向(照射范围i的长尺寸方向)沿着副方向。工件160的涂料161的被照射电子束的部分(照射范围i)与电子束射出部1a的距离被设定为规定距离。规定距离是预先设定的距离(例如10mm～30mm)。由此，工件160的第一被照射区域r1的涂料161被固化。

接着，在涂料固化装置100e中，如图9a、图9b所示，在使电子束射出部1a在副方向(c方向)移动后，一边从电子束射出部1a射出电子束，一边使电子束射出部1a向主方向上的另一方(d2方向)移动。此时，电子束射出部1a被配置为射出电子束的窗与工件160的表面对置，并且被配置为电子束的宽度方向沿着副方向。工件160的涂料161的被照射电子束的部分与电子束射出部1a的距离被设定为规定距离。由此，工件160的与第一被照射区域r1邻接的第二被照射区域r2的涂料161被固化。第二被照射区域r2被设定为在副方向上与第一被照射区域r1稍微重叠(overlap)。

接着，在涂料固化装置100e中，如图10a、图10b所示，在使电子束射出部1a在副方向(c方向)移动后，一边从电子束射出部1a射出电子束，一边使电子束射出部1a向主方向上的一方(d1方向)移动。此时，电子束射出部1a被配置为射出电子束的窗与工件160的表面对置，并且被配置为电子束的宽度方向沿着副方向。工件160的涂料161的被照射电子束的部分与电子束射出部1a的距离被设定为规定距离。由此，工件160的与第二被照射区域r2邻接的第三被照射区域r3的涂料161被固化。第三被照射区域r3被设定为在副方向上与第二被照射区域r2稍微重叠。如此，工件160的整个被照射区域r的涂料161被固化。

因此，涂料固化装置100e被配置为：在电子束的照射范围i的长尺寸方向沿着副方向的状态下，一边使电子束的照射范围i在副方向上错开，一边使电子束的照射范围i以在工件160的一端部160b与另一端部160c之间沿主方向往来的方式移动。

需要说明的是，第六实施方式的其他构成和动作与第一实施方式大致相同。

－效果－

在第六实施方式中，如上所述，从电子束射出部1a射出宽度为w的窄的电子束，由此能一边根据工件160的形状来调整从电子束射出部1a起至涂料161为止的距离和电子束的照射角度，一边向工件160的涂料161照射电子束。即，即使工件160为三维形状，也能在向工件160的各部分的涂料161照射电子束时，适当地调整从电子束射出部1a起至涂料161为止的距离和电子束的照射角度。由此，能高精度地使工件160的涂料161的整体固化。

需要说明的是，第六实施方式的其他效果与第一实施方式相同。

(其他实施方式)

需要说明的是，本次公开的实施方式在所有方面均为例示，并不成为限定性解释的依据。因此，本发明的技术范围并不仅由上述的实施方式解释，而是基于权利要求书的记载来划定的。此外，本发明的技术范围包括与权利要求书等同的意思和范围内的所有变更。

例如，在第一～第五实施方式中，示出了工件150是树脂制的车辆用保险杠的例子，但不限于此，工件也可以是金属制，工件也可以是车辆用保险杠以外的被涂装物。需要说明的是，关于第六实施方式也是同样的。

此外，在第一～第五实施方式中，涂料151可以是单层，也可以是多层。需要说明的是，关于第六实施方式也是同样的。

此外，在第一～第六实施方式中，作为惰性气体的一个例子示出了氮气，但不限于此，惰性气体也可以是氦气等。

此外，在第二～第四实施方式中，示出了电子束射出部1和气体吹送部6被一体地移动的例子，但不限于此，也可以是电子束射出部和气体吹送部被单独地移动。

此外，在第二实施方式中，示出了设有气体供给部5的例子，但不限于此，也可以不设置气体供给部。即，至少电子束的通过区域被设为惰性气体气氛即可。

此外，在第三～第五实施方式中，示出了设有气体供给部5和气体吹送部6的例子，但不限于此，也可以仅设有气体供给部和气体吹送部中的一方。

此外，在第四和第五实施方式中，示出了电子束射出部1和气体吹送部6设于容纳室3的上表面的内侧3a的例子，但不限于此，电子束射出部和气体吹送部也可以设于容纳室的底面。

此外，在第六实施方式中，示出了代替第一实施方式的电子束射出部1而设有真空管型的电子束射出部1a的例子，但不限于此，也可以代替第二～第五实施方式的电子束射出部而设有真空管型的电子束射出部。即，第六实施方式的电子束射出部1a也可以应用于第二～第五实施方式。

此外，在第六实施方式中，示出了邻接的第一被照射区域r1与第二被照射区域r2稍微重叠的例子，但不限于此，邻接的第一被照射区域与第二被照射区域也可以不重叠。即，也可以是，邻接的第一被照射区域和第二被照射区域的彼此接近的一侧的端部一致，由此使得在邻接的第一被照射区域与第二被照射区域之间不产生间隙。需要说明的是，关于邻接的第二被照射区域r2和第三被照射区域r3也是同样的。

此外，在第六实施方式中，示出了电子束射出部1a在工件160的一端部160b与另一端部160c之间往来三次的例子，但不限于此，也可以是，电子束射出部在工件的一端部与另一端部之间往来两次或四次以上。

此外，在第六实施方式中，示出了工件160被形成为具有弯曲部160a的三维形状的例子，但不限于此，如图11～图13所示，工件170也可以被形成为具有凹部170a的三维形状。在该情况下，首先，如图11所示，电子束射出部1a被配置为射出电子束的窗与工件170的表面对置，并被配置为电子束的宽度方向沿着与图11的纸面垂直的方向。此外，电子束射出部1a配置于工件170的一端部(图11的左侧的端部)，从电子束射出部1a起至工件170的涂料171的被照射电子束的部分为止的距离被设定为规定距离。然后，电子束射出部1a一边将电子束照射至工件170的涂料171，一边保持规定距离并且沿工件170的表面水平地移动。接着，当电子束射出部1a到达工件170的倾斜面(凹部170a的侧面)时，如图12所示，为了将从电子束射出部1a起至涂料171为止的距离保持为规定距离，并且保持电子束相对于涂料171的照射角度，电子束射出部1a的角度和行进方向被调整。然后，当电子束射出部1a到达工件170的凹部170a的底面时，如图13所示，为了将从电子束射出部1a起至涂料171为止的距离保持为规定距离，并且保持电子束相对于涂料171的照射角度，电子束射出部1a的角度和行进方向被调整。之后，当在根据工件170的表面形状来调整电子束射出部1a的角度和行进方向的同时，电子束射出部1a被移动至工件170的另一端部时，电子束射出部1a在与图13的纸面垂直的方向移动电子束的照射范围的量。接着，一边使电子束射出部1a从工件170的另一端部朝向一端部移动，一边同样地进行电子束对工件170的涂料171的照射。之后，通过反复进行上述动作，电子束被照射至工件170的涂料171的整体。由此，依照工件170的表面形状，适当地调整从电子束射出部1a起至涂料171为止的距离和电子束的照射角度，因此能高精度地使工件170的涂料171的整体固化。

此外，在第六实施方式中，示出了一边使电子束的照射范围i在副方向上错开，一边使电子束的照射范围i以在工件160的一端部160b与另一端部160c之间沿主方向往来的方式移动的例子，但不限于此，电子束的扫描模式可以是任何模式。

例如，如图14所示的第一变形例那样，也可以是，使电子束的照射范围ia以在工件180的一端部180a与另一端部180b之间呈锯齿状往来的方式移动。即，可以是，电子束的照射范围ia以电子束的照射范围ia按照假想线所示的照射范围ia1、ia2、ia3以及ia4的顺序通过的方式沿箭头移动。工件180的涂料181的整体可以像这样地被固化。

此外，如图15所示的第二变形例那样，也可以是，使电子束的照射范围ib以从工件190的外缘部侧朝向中心形成旋涡的方式移动。即，可以是，电子束的照射范围ib以电子束的照射范围ib按照假想线所示的照射范围ib1、ib2、ib3以及ib4的顺序通过的方式沿箭头移动。工件190的涂料191的整体可以像这样地被固化。

本发明能利用于通过电子束使涂布于工件的涂料固化的涂料固化装置以及涂料固化方法。