1.一种负载型大比表面积氮化镓催化剂的制备方法,其特征在于,该方法以含镓有机化合物和含氮气体作为原料,以大比表面积载体作为载体,采用原子层沉积法,控制载体温度处于250℃~550℃,反应制得负载型大比表面积氮化镓催化剂。
2.如权利要求1所述的负载型大比表面积氮化镓催化剂的制备方法,其特征在于,所述的负载型大比表面积氮化镓催化剂的比表面积为10.0000~2000.0000m2/g。。
3.如权利要求1所述的负载型大比表面积氮化镓催化剂的制备方法,其特征在于,所述的含镓有机化合物为ga(ch3)3、ga(c2h5)3、gacl3或gacl。
4.如权利要求1所述的负载型大比表面积氮化镓催化剂的制备方法,其特征在于,所述的含氮气体为氨气或氮气。
5.如权利要求1所述的负载型大比表面积氮化镓催化剂的制备方法,其特征在于,所述的大比表面积载体为活性炭、纯硅分子筛、al2o3或硅铝混合分子筛。
6.如权利要求1至5任一权利要求所述的负载型大比表面积氮化镓催化剂的制备方法,其特征在于,该方法按照以下步骤进行:
步骤一,将载体置于原子层沉积设备的沉积反应室内,向沉积反应室通入惰性气体并抽真空,调节沉积反应室内的压力为10~105pa,加热载体;
步骤二,向沉积反应室内通入含镓有机化合物蒸汽,保持载体温度进行气-固界面反应,使镓元素固定在载体表面,随后向沉积反应室通入惰性气体进行清洗,清除过量的未反应的含镓有机化合物前驱体,然后向沉积反应室通入含氮气体,与在载体表面化学吸附的含镓有机化合物发生置换反应;最后向沉积反应室通入惰性气体吹扫反应腔内剩余未反应氨气;
步骤三,重复步骤二的过程,直至生成所需担载量的氮化镓催化剂。
7.如权利要求6所述的负载型大比表面积氮化镓催化剂的制备方法,其特征在于,步骤一中,所述的反应设备为原子层沉积固定床、原子层沉积转动床或原子层沉积流化床。
8.如权利要求6所述的负载型大比表面积氮化镓催化剂的制备方法,其特征在于,步骤二中,气-固界面反应的反应时间为10~1000s,惰性气体的清洗时间为10~1000s,置换反应的反应时间为10~4000s,惰性气体的吹扫时间为10~1000s。
9.如权利要求8所述的负载型大比表面积氮化镓催化剂的制备方法,其特征在于,步骤二中,气-固界面反应的反应时间为200~300s,惰性气体的清洗时间为200~300s,置换反应的反应时间为800~1200s,惰性气体的吹扫时间为200~300s。
10.如权利要求6所述的负载型大比表面积氮化镓催化剂的制备方法,其特征在于,步骤二中,所述的惰性气体为氦气、氮气或氩气。