一种气相反应粉体表面包覆机的高频振动装置的制作方法

本实用新型涉及粉体表面包覆领域，具体而言，涉及一种气相反应粉体表面包覆机的高频振动装置。

背景技术：

粉体表面包覆是通过表面化学反应来实现的，一般有机械搅拌融合法、化学溶液反应法，以及气相反应法三种方法。其中气相反应法主要包括原子层沉积法(ald)、化学气相沉积(cvd)，以及分子层沉积法(mld)。粉体表面包覆机是实现气相反应法粉体表面包覆的常用设备。表面包覆机包括具有容腔的箱体机构、位于容腔的内桶、连接于内桶的驱动装置，以及连通于容腔的供气装置和抽气装置。内桶设置有用来盛放粉体的反应腔，和用来使反应腔和容腔相连通的开口。供气装置用来向容腔内输入用以反应的气体/前驱体，抽气装置用来将容腔抽至真空。驱动装置用来驱动内桶转动,使反应腔内的粉体翻滚，以保证粉体和前驱体的充分接触。但是上述现有技术中的旋转法只适用于流动性较好的粉体，而对于粘性较强的粉体则会出现粉体和反应气体之间接触不充分的问题，直接导致了粉体表面的包覆层厚度不均匀或者包覆不完整，影响粉体表面包覆的质量。可以理解地，表面包覆机除了应用于粉体外，还可应用于其他‘待包覆件’，例如零部件、轴承、螺丝等工件，或药剂颗粒，或其他3d物体。有鉴于此，发明人在研究了现有的技术后特提出本申请。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种气相反应粉体表面包覆机的高频振动装置，旨在改善粉体和反应气体在反应腔内不能充分接触的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种气相反应粉体表面包覆机的高频振动装置，用以配置在粉体表面包覆机的箱体，所述箱体设有容腔，所述容腔内可旋转的配置有一内桶，其特征在于，所述高频振动装置包含：

传动杆，其可滑动的配置于所述箱体，且自所述容腔穿过所述箱体的箱壁向所述箱体外延伸；

振动件，其配置于所述传动杆，用以产生振动；

升降机构，其连接于所述传动杆或所述振动件，用以驱动所述传动杆滑动；

滚动组件，其配置于所述传动杆，能够可转动的抵接于所述内桶。

所述升降机构能够驱动所述传动杆自所述箱体外向所述容腔内滑动，以使滚动组件抵接于所述内桶，所述振动件能够产生振动，并通过所述传动杆和滚动组件传递至所述内桶，以使所述内桶振动。

作为进一步优化，所述滚动组件包括配置于所述传动杆端部的底座，以及可旋转的配置于所述底座用以接触所述内桶的连接件。

作为进一步优化，所述底座用以安装所述连接件的平面平行于所述内桶的轴线，以使所述连接件的轴线与内桶的轴线相互平行。

作为进一步优化，所述连接件呈圆柱状，且沿所述内桶的轴线方向配置于所述底座。

作为进一步优化，所述滚动组件具有一对所述连接件，且分别位于所述内桶底部两侧。

作为进一步优化，所述高频振动装置还包括用以连接所述传动杆和所述箱体的真空连接件，所述真空连接件为波纹管或真空穿通密封件。

作为进一步优化，所述振动件为高频气动振动器、高频电动振动器或高频电磁振动器之一。

作为进一步优化，所述振动件的振动频率为100-50000赫兹。

作为进一步优化，所述连接件的材料为金属或陶瓷。

作为进一步优化，所述连接件的材料为不锈钢或陶瓷氧化镐。

通过采用上述技术方案，本实用新型可以取得以下技术效果：

本实用新型的高频振动装置，使用时，先控制升降机构运行驱动传动杆升起，使滚动组件接触到内桶后，启动振动件，振动会从振动件传递到传动杆及滚动组件。滚动组件能够与内桶同步转动，在不影响内桶转动的同时和样品桶之间实现稳定均匀的接触,并使内桶在旋转的同时处于高频振动状态，大大加强了粉体之间分散的效果，使粉体能够和反应气体充分接触生成完整均匀的包覆层，并且能够通过调节振动件的功率，来改变振动的强度和振动的频率，以适应不同特性的粉体，具有很好的实际意义。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型一实施例，高频振动装置的剖视状态下的简图。

图中标记：1-升降机构；2-振动件；3-真空连接件；4-传动杆；5-底座；6-连接件；7-内桶；8-箱体。

具体实施方式

为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：

发明人经过大量的研究发现，粘性较强的粉体在使用现有的粉体表面包覆机时，会发生粉体粘壁或粉体之间粘结在一起的状况,通过驱动装置驱动内桶转动的方式，粉体表面的包覆层会出现厚度不均匀、包裹不完整等不理想的效果。为了解决这一问题，发明人发明了一种高频振动装置。

由图1所示，在本实施例中，一种气相反应粉体表面包覆机的高频振动装置，用以配置在粉体表面包覆机的箱体8，箱体8设有容腔，容腔内可旋转的配置有内桶7。

高频振动装置包含：可滑动的配置于箱体8且自容腔穿过箱体8的箱壁向箱体8外延伸的传动杆4、配置于传动杆4用以产生振动的振动件2、连接于传动杆4或振动件2用以驱动传动杆4滑动的升降机构1、配置于传动杆4用以转动的抵接于内桶7的滚动组件、用以连接传动杆4和箱体8的真空连接件3。

传动杆4竖直配置于箱体8，且从箱体8升降机构1驱动传动杆4自箱体8外向容腔内滑动，使连接杆在腔体内部进行升降，从而使滚动组件抵接于内桶7并与内桶7同步转动。振动件2会产生振动，并通过传动杆4和滚动组件传递至内桶7，以使内桶7振动。

具体地，滚动组件包括配置于传动杆4端部且呈平板状或方块状的底座5，以及一对可旋转的配置于底座5且呈圆柱状的连接件6。所述底座5用以安装所述连接件的平面平行于所述内桶7的轴线，以使所述连接件6的轴线与内桶7的轴线相互平行。底座5所在平面垂直于传动杆4的轴线。一对连接件6分别位于内桶7底部两侧且沿内桶7的长度方向配置于底座5。在其他实施例中，连接件6也可以是滚轮。上述真空连接件3为波纹管或真空穿通密封件，振动件2为振动频率100-50000赫兹的高频气动振动器、高频电动振动器或高频电磁振动器，优选使用1000-20000赫兹。连接件6的材料为金属或陶瓷等可以经受800度高温的材料,优选为不锈钢或陶瓷氧化镐。

使用时，先控制升降机构1运行驱动传动杆4升起，使连接件6接触到内桶7后，启动振动件2，振动会从振动件2传递到传动杆4及连接件6。使用结束时，停止振动件2，并控制升降机构驱动传动杆4下降，使连接件6远离内桶7。连接件6能够与内桶7同步转动，在不影响内桶7转动的同时和样品桶之间实现稳定均匀的接触,并使内桶7在旋转的同时处于高频振动状态，大大加强了粉体之间分散的效果，使粉体能够和反应气体充分接触生成完整均匀的包覆层，并且能够通过调节振动件2的功率，来改变振动的强度和振动的频率，以适应不同特性的粉体，具有很好的实际意义。

以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。