涂敷清洗一体机的制作方法

1.本发明涉及芯片加工相关技术领域，尤其涉及一种涂敷清洗一体机。


背景技术：

2.目前芯片加工越来越精密，在制造过程中，如果遭到尘粒，金属的污染，很容易造成芯片的损坏，因此在芯片加工过程中需要先对整体的晶圆均匀喷涂保护液，接着进行晶圆的激光切割等流程，加工结束后对晶圆进行清洗，从而保护芯片在加工过程中收到污染。
3.晶圆涂覆保护液和清洗的过程中需要平整地吸附在加工平台上，整个加工平台需要高速旋转来配合加工，然后按照不同的加工工艺参数，均与的涂敷和清洗。
4.产品的涂敷与清洗过程需要产品被吸附住，并且需要通过旋转产生离心力来达到涂敷均匀的效果，在涂敷与清洗过程中，因为产品的圆形的，越往外所需的保护液等也越多，所以在这个过程中还需要对喷涂保护液的量和速度等进行调整，而且在产品加工后还要满足与原有设备的兼容搬运问题。
5.有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种涂敷清洗一体机，使其更具有产业上的利用价值。


技术实现要素：

6.为解决上述技术问题，本发明的目的是提供一种涂敷清洗一体机。
7.为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：
8.涂敷清洗一体机，从上往下依次包括不锈钢外壳、底盘和底板，不锈钢外壳安装在底盘上，底盘通过若干个支撑架安装在底板上，底盘上的中间位置沿着z轴方向设置有主轴旋转机构，主轴旋转机构从下往上依次包括主轴旋转电机、载台转接基板和高速吸附旋转载台，载台转接基板的内侧安装有高速吸附旋转载台，主轴旋转电机顶部的驱动端与上方的高速吸附旋转载台驱动连接设置，底盘的底部一侧设置有载台升降气缸，载台升降气缸顶部的驱动端与上方的载台转接基板驱动连接设置，主轴旋转机构沿着y轴方向两侧的不锈钢外壳内分别设置有第一摆臂和第二摆臂，第一摆臂正下方底盘的底部设置有第一摆臂驱动机构，第二摆臂正下方底盘的底部设置有第二摆臂驱动机构，第一摆臂驱动机构与上方的第一摆臂相连接，第二摆臂驱动机构与上方的第二摆臂相连接。
9.作为本发明的进一步改进，不锈钢外壳的顶部还设置有防护罩，防护罩下方的不锈钢外壳上沿着x轴方向设置有防护罩推拉机构，防护罩推拉机构与上方的防护罩相连接。
10.作为本发明的进一步改进，靠近第二摆臂一侧的不锈钢外壳内还设置有水槽组件，水槽组件正下方底盘的底部设置有水槽升降气缸，水槽升降气缸顶部的驱动端与上方的水槽组件相连接。
11.作为本发明的进一步改进，载台转接基板的外侧从上往下依次设置有防水挡圈和防水护罩，防水护罩的下方沿着圆周方向均匀的设置有若干个滑动导杆，滑动导杆安装在下方的底盘上，且滑动导杆的底部还设置有限位固定环。
12.作为本发明的进一步改进，高速吸附旋转载台的顶部沿着圆周方向均匀的设置有若干个夹爪。
13.作为本发明的进一步改进，主轴旋转电机顶部的驱动端依次通过主轴联轴器和径向吸附高速旋转轴与上方的高速吸附旋转载台驱动连接设置。
14.作为本发明的进一步改进，不锈钢外壳沿着x轴负方向的一侧连接设置有通风排水管。
15.借由上述方案，本发明至少具有以下优点：
16.本发明将涂敷和清洗集成在一个设备上，减少搬运，涂敷与清洗的速度可调整，满足均匀性；本发明通过载台升降气缸，可将加工好的产品送至设备外面等待搬运，可以做到一台设备兼顾不同功能与不同产品。
17.上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
18.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
19.图1是本发明一种涂敷清洗一体机的结构示意图；
20.图2是图1去除防护罩后的结构示意图；
21.图3是图2的俯视图；
22.图4是图1或图2中主轴旋转机构的结构示意图。
23.其中，图中各附图标记的含义如下。
24.1不锈钢外壳
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2高速吸附旋转载台
25.3防护罩
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4底盘
26.5通风排水管
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6第一摆臂驱动机构
27.7支撑架
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8底板
28.9水槽升降气缸
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10载台升降气缸
29.11第二摆臂驱动机构
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12防护罩推拉机构
30.13第一摆臂
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14第二摆臂
31.15主轴旋转电机
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16滑动导杆
32.17限位固定环
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18主轴联轴器
33.19径向吸附高速旋转轴 20防水护罩
34.21防水挡圈
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22卡爪
具体实施方式
35.下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
36.为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中附
图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
37.实施例
38.如图1～图4所示，
39.一种涂敷清洗一体机，从上往下依次包括不锈钢外壳1、底盘4和底板8，不锈钢外壳1安装在底盘4上，底盘4通过若干个支撑架7安装在底板8上，底盘4上的中间位置沿着z轴方向设置有主轴旋转机构，主轴旋转机构从下往上依次包括主轴旋转电机15、载台转接基板和高速吸附旋转载台2，载台转接基板的内侧安装有高速吸附旋转载台2，主轴旋转电机15顶部的驱动端与上方的高速吸附旋转载台2驱动连接设置，底盘4的底部一侧设置有载台升降气缸10，载台升降气缸10顶部的驱动端与上方的载台转接基板驱动连接设置，主轴旋转机构沿着y轴方向两侧的不锈钢外壳1内分别设置有第一摆臂13和第二摆臂14，第一摆臂13正下方底盘4的底部设置有第一摆臂驱动机构6，第二摆臂14正下方底盘4的底部设置有第二摆臂驱动机构11，第一摆臂驱动机构6与上方的第一摆臂13相连接，第二摆臂驱动机构11与上方的第二摆臂14相连接。
40.其中，第一摆臂13为清洗摆臂，第二摆臂14为涂胶摆臂。
41.其中，摆臂驱动机构和摆臂之间的结构设置以及工作原理均为本领域内常规技术手段，在此不做多余的赘述。
42.优选的，不锈钢外壳1的顶部还设置有防护罩3，防护罩3下方的不锈钢外壳1上沿着x轴方向设置有防护罩推拉机构12，防护罩推拉机构12与上方的防护罩3相连接。其中，防护罩推拉机构12可以是类似导轨式的推拉杆结构设置。
43.优选的，靠近第二摆臂14一侧的不锈钢外壳1内还设置有水槽组件，水槽组件正下方底盘4的底部设置有水槽升降气缸9，水槽升降气缸9顶部的驱动端与上方的水槽组件相连接。
44.优选的，载台转接基板的外侧从上往下依次设置有防水挡圈21和防水护罩20，防水护罩20的下方沿着圆周方向均匀的设置有若干个滑动导杆16，滑动导杆16安装在下方的底盘4上，且滑动导杆16的底部还设置有限位固定环17。
45.优选的，高速吸附旋转载台2的顶部沿着圆周方向均匀的设置有若干个夹爪22。
46.优选的，主轴旋转电机15顶部的驱动端依次通过主轴联轴器18和径向吸附高速旋转轴19与上方的高速吸附旋转载台2驱动连接设置。
47.优选的，不锈钢外壳1沿着x轴负方向的一侧连接设置有通风排水管5。
48.本发明的工作原理及工作过程：首先在载台升降气缸10和滑动导杆16的作用下，将高速吸附旋转载台2升起，用于接收产品，高速吸附旋转载台2是利用径向吸附高速旋转轴19吸附产品，通过四边的夹爪22来限制高速旋转下的产品位移，产品吸附好后再下降，涂敷过程中主轴旋转电机15旋转，通过主轴联轴器18的传动使产品旋转，接着涂敷的第二摆臂驱动机构11的摆臂电机旋转带动涂胶的第二摆臂14，在相应的工艺参数完成保护液的喷
涂，涂敷结束后即可进入下一步加工，等加工结束后，再进入设备进行相应参数下的清洗，清洗过程中卷帘结构的防护罩3可以关上，再加上外部排风通过通风排水管5将水雾排走，避免水雾飞溅造成其他设备的损伤。
49.本发明采用径向吸附的高速旋转轴，将产品吸附住，旋转的速度可以调整，最高可达2000rpm，在吸附旋转轴的两次还有两个有步进电机控制的旋转轴以此来控制涂敷与清洗的摆臂速度，喷涂保护液的胶泵采用电机控制，对每次喷涂的胶量做到可调，最小可调0.1ml，通过软件对设备进行控制，做到流程可自由编写，涂敷与清洗参数可调，满足不同产品的需求，设备内部还装有升降气缸，可将加工好的产品送至设备外面等待搬运，此设备可以做到一台设备兼顾不同功能与不同产品。
50.本发明采用电动的胶泵和电动控制下的摆臂，可以达到满足不同工艺要求的效果，增强设备的兼容性，并且本本发明采用径向吸附高速旋转轴，与电机直连的方式可以达到高速旋转产生更大的离心力，更好的完成涂敷与清洗流程。
51.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指咧所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
52.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接：可以是机械连接，也可以是电连接：可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通.对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
53.以上所述仅是本发明的优选实施方式，并不用于限制本发明，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。