脱气装置以及涂布装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种去除液体中的溶解气体的脱气装置、具备该脱气装置的涂布
目.0
【背景技术】
[0002]以往，在液晶显不装置用玻璃基板、半导体晶片(wafer)、等尚子体显不板(PlasmaDisplay Panel，PDP)用玻璃基板、光掩模(photo mask)用玻璃基板、彩色滤光器(colorfilter)用基板、记录盘(disk)用基板、太阳能电池用基板、电子纸(paper)用基板等精密电子装置用基板的制造工序中，使用在基板表面涂布光致抗蚀剂(photo resist)等液体的涂布装置。关于以往的涂布装置，例如在专利文献I中有所记载。专利文献I的涂布装置对于由沿水平方向移动自如的载台(stage)吸附保持的基板，从具有狭缝(slit)状喷出口的缝模(slit die)喷出涂布液。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献I:日本专利特开2009-241056号公报【实用新型内容】
[0006][实用新型所要解决的问题]
[0007]此种涂布装置中，若在液体中存在溶解气体，则在缝模中容易发生所谓的“起泡”。若发生“起泡”，将无法从喷出口均匀地涂布液体，涂布膜的均匀性有时会下降。因此，以往会进行从涂布前的液体中去除溶解气体的脱气处理。以往的涂布装置中，通过将贮存有涂布前的液体的容器内设为负压，从而预先使液体中的溶解气体气泡化。在液体的粘度低的情况下，能够容易地使液体中产生的气泡上浮至液面，以排出到容器外。
[0008]然而，在使用高粘度液体的情况下，气泡上浮至液面需要非常长的时间。尤其存在气泡越细小越难上浮的倾向。因此，以往的方法存在无法效率良好地对高粘度液体进行脱气的问题。近年来，在柔性元件(flexible device)或电池的制造工序中，对作为处理对象的面涂布高粘度液体的装置的需求正在提高。伴随于此，正寻求一种能够效率良好地从高粘度液体中去除溶解气体的技术。
[0009]本实用新型是有鉴于此种状况而完成，其目的在于提供一种能够效率良好地去除粘度高的液体中的溶解气体的脱气装置以及具备该脱气装置的涂布装置。
[0010][解决问题的技术手段]
[0011]为了解决所述问题，本申请的第I实用新型是一种脱气装置，去除液体中的溶解气体，所述脱气装置包括:主配管，连接作为供给源的第I槽罐与作为供给目标的第2槽罐，且具有大致水平地延伸的水平部;脱气配管，从所述水平部朝向上方延伸；多个阀，设置在所述主配管及所述脱气配管中；减压部，使所述主配管内产生朝向所述第2槽罐侧的抽吸力，并且使所述脱气配管内产生朝向上方的抽吸力；以及控制部，控制所述多个阀及所述减压部。
[0012]本申请的第2实用新型根据第I实用新型的脱气装置，其中，所述多个阀包括:第I阀，设置在所述主配管的路径上的与所述脱气配管的连接部更上游侧;第2阀，设置在所述主配管的路径上的与所述脱气配管的连接部更下游侧；以及第3阀，设置在所述脱气配管的路径上。
[0013]本申请的第3实用新型根据第2实用新型的脱气装置，其中，所述脱气配管包括:第I纵管，从所述水平部朝向上方延伸;横管，从所述第I纵管的上端以比所述第I纵管更接近水平的角度朝向侧方延伸；以及第2纵管，从所述横管的另一端朝向上方延伸，在所述第2纵管中设置有所述第3阀。
[0014]本申请的第4实用新型根据第3实用新型的脱气装置，其中，所述横管的第2纵管侧的端部是与所述横管的第I纵管侧的端部同等的高度或比之更高，所述横管相对于水平面的角度为0°以上且45°以下。
[0015]本申请的第5实用新型根据第3实用新型或第4实用新型的脱气装置，其中，所述第2纵管具有所述横管以上的容积。
[0016]本申请的第6实用新型根据第2实用新型至第5实用新型中任一实用新型的脱气装置，其中，所述脱气配管至少包括:第I脱气配管，从所述水平部朝向上方延伸；以及第2脱气配管，从所述水平部的所述第I脱气配管更下游侧的位置朝向上方延伸，所述第I阀设置在所述主配管的路径上的与所述第I脱气配管的连接部更上游侧，所述第2阀设置在所述主配管的路径上的与所述第2脱气配管的连接部更下游侧，所述第3阀设置在所述第I脱气配管及所述第2脱气配管各自的路径上。
[0017]本申请的第7实用新型根据第6实用新型的脱气装置，其中，所述第I脱气配管的上端部与所述第2脱气配管的上端部通过朝向斜上方延伸的倾斜配管而连接于I根排出配管。
[0018]本申请的第8实用新型根据第2实用新型至第7实用新型中任一实用新型的脱气装置，其还包括:第4阀，设置在所述脱气配管与所述减压部之间。
[0019]本申请的第9实用新型根据第I实用新型至第8实用新型中任一实用新型的脱气装置，其还包括:加热器(heater)，对所述主配管内的液体进行加热。
[0020]本申请的第10实用新型根据第I实用新型至第9实用新型中任一实用新型的脱气装置，其中，所述主配管包括在所述第I槽罐与所述第2槽罐之间并联连接的多个所述水平部，所述脱气配管从多个所述水平部分别朝向上方延伸。
[0021]本申请的第11实用新型是一种涂布装置，对作为处理对象的面涂布液体，所述涂布装置包括:根据第I实用新型至第10实用新型中任一实用新型的脱气装置；喷嘴(nozzle)，具有喷出流体的喷出口 ；以及供给机构，从所述第2槽罐对所述喷嘴供给液体。
[0022]本申请的第12实用新型根据第11实用新型的涂布装置，其还包括:搅拌脱气机构，在所述第2槽罐内搅拌液体并对其进行脱气。
[0023]本申请的第13实用新型根据第11实用新型或第12实用新型的涂布装置，其还包括:异物去除过滤器，设置在所述主配管的路径上。
[0024](实用新型效果)
[0025]根据本申请的第I实用新型?第13实用新型，通过减压而在液体中产生的气泡借助主配管内的液体的流动而聚集到主配管的上缘部。因此，该气泡从主配管的水平部进入脱气配管。并且接续排出滞留在脱气配管内的气泡。由此，即使在液体的粘度高的情况下，也能够去除液体中的溶解气体。
[0026]尤其，根据本申请的第2实用新型，滞留在脱气配管的第3阀更下侧的气泡与脱气配管内的气泡更上侧的液体进行置换，从而被排出至上侧。由此，能够效率良好地从脱气配管中排出气泡。
[0027]尤其，根据本申请的第3实用新型，从主配管的水平部进入第I纵管内的气泡聚集在横管内，而成长为大的气泡。并且，该大的气泡经由第2纵管而排出到外部。由此，能够降低随气体一起排出的液体的量。即，能够效率良好地从液体中仅去除溶解气体。
[0028]尤其，根据本申请的第4实用新型，能够使气泡在横管内更有效地成长。
[0029]尤其，根据本申请的第5实用新型，能够以贮存在第2配管中的液体来更确实地置换横管内的气泡。
[0030]尤其，根据本申请的第6实用新型，能够使未进入第I脱气配管的气体进入下游侧的第2脱气配管而排出至外部。由此，能够进一步提高气泡的排出效率。
[0031]尤其，根据本申请的第7实用新型，能够效率更好地使气泡从第I脱气配管及第2脱气配管排出至排出配管。
[0032]尤其，根据本申请的第8实用新型，能够进一步提高溶解气体的去除效率。
[0033]尤其，根据本申请的第9实用新型，能够降低液体的粘度。而且，能够使气泡膨胀而提高气泡的排出效率。
[0034]尤其，根据本申请的第10实用新型，能够增加向第2槽罐供给的液体的每单位时间供给量。
[0035]尤其，根据本申请的第12实用新型，能够通过搅拌脱气机构，将在脱气配管中未完全去除的气泡予以去除。
[0036]尤其，根据本申请的第13实用新型，无须在第2槽罐与喷嘴之间的供给机构中设置异物去除过滤器。因此，能够在供给机构中降低因过滤器造成的压力损失。
【附图说明】
[0037]图1是涂布装置的立体图。
[0038]图2是狭缝喷嘴的立体图。
[0039]图3是表示狭缝喷嘴的内部流路的图。
[0040]图4是表示连接于狭缝喷嘴的供给配管系统的结构的图。
[0041]图5是表示控制部与供给配管系统的各部的连接结构的框图。
[0042]图6是表示被涂布材料的脱气及供给动作的流程的流程图。
[0043]图7是概念性地表示脱气配管内的气泡的动向的图。
[0044]图8是表示变形例的供给配管系统的结构的图。
[0045]图9是表示变形例的供给配管系统的结构的图。
[0046]图10是表示变形例的供给配管系统的结构的图。
[0047]附图标记说明:
[0048]1:涂布装置
[004