粒子荷电装置的制作方法

技术特征：

1.一种粒子荷电装置，其特征在于，具有：

a)框体；

b)过滤器，其由在将所述框体内分隔成第1空间和第2空间的假想的面内延伸的多个电极构成；

c)粒子导入单元，其将作为荷电对象的粒子导入到所述第1空间；

d)气体离子供给单元，其对所述第1空间供给气体离子；

e)电位梯度形成单元，其为了使所述气体离子以及由于所述粒子接触到该气体离子而生成的带电粒子从所述第1空间向所述第2空间移动，在所述框体内形成电位梯度；

f)交流电压施加单元，其对构成所述过滤器的所述多个电极中的各电极施加交流电压，对所述多个电极中的相互相邻的电极施加相位不同的电压；

g)控制单元，为了使从所述第1空间向所述第2空间移动的所述带电粒子以及所述气体离子中的所述带电粒子通过所述多个电极之间并且所述气体离子由该多个电极中的某一个捕捉，所述控制单元控制所述交流电压施加单元以将预先确定的电压施加到所述多个电极；以及

h)带电粒子取出单元，其将移动到所述第2空间的所述带电粒子取出到所述框体的外部。

2.根据权利要求1所述的粒子荷电装置，其特征在于，

所述带电粒子取出单元在所述第2空间内形成载气流，通过该载气流将所述带电粒子冲到所述框体的外部。

3.根据权利要求1所述的粒子荷电装置，其特征在于，

所述带电粒子取出单元在所述第2空间内在与所述电位梯度交叉的方向上形成电位梯度，通过沿着该梯度的所述带电粒子的移动而将该带电粒子引出到所述框体的外部。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的粒子荷电装置，其特征在于，

所述过滤器是平行地排列多个棒状的电极而成的。

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的粒子荷电装置，其特征在于，

所述过滤器是格子状地配置多个棒状的电极而成的。

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的粒子荷电装置，其特征在于，

所述过滤器是同心圆状地配置多个圆形的电极而成的。