技术总结
在粒子荷电装置中设置：将框体(20)内分隔成第1空间(29)和第2空间(30)的过滤器(28)；将粒子导入到第1空间的粒子导入单元(22)；对第1空间供给气体离子的气体离子供给单元(10)；为了使气体离子以及通过该气体离子与上述粒子的接触而生成的带电粒子向第2空间移动，在框体内形成电位梯度的电位梯度形成单元(26、27、31)；对过滤器中包括的相互相邻的电极(28a、b)施加相位不同的交流电压的交流电压施加单元(32，33)；为了使带电粒子通过电极之间并且由电极捕捉气体离子，进行控制以将规定的电压施加到各电极的控制单元(35)；以及将移动到第2空间的带电粒子取出到框体外的带电粒子取出单元(23、25、34)。由此，能够抑制多价荷电的发生频度。
技术研发人员：上野良弘;关洋;奥田浩史
受保护的技术使用者：株式会社岛津制作所
文档号码：201480081074
技术研发日：2014.08.08
技术公布日：2018.05.15