技术特征：
技术总结
一种利用MEMS技术的促动系统。一种促动器(402)，其包括泵(705)，该泵(705)包括第一腔(708)以及与第一腔流动连通联接的隔膜(704)。隔膜构造成使容纳在第一腔中的流体加压。泵还包括与第一腔流动连通联接的第一阀(706)。第一阀构造成在第一腔加压时将流体从第一腔释放。促动器还包括操作性地联接于泵的活塞组件(712,713)。
技术研发人员：T.O.莫尼斯;J.G.罗斯;R.J.奥尔兰多;C.J.仇
受保护的技术使用者：通用电气公司
技术研发日：2016.12.28
技术公布日：2017.08.11