即，拉簧20在没有外力作用的状态下赋予使杠杆部件14向图1中的逆时针方向转动的拉力。
[0052](调整阀驱动机构)
[0053]调整阀驱动机构15驱动上述调整阀13。调整阀驱动机构15具备两组电动致动器(转换机构)23A、23B (参考图8)。以下说明中，在无需区别电动致动器23A和电动致动器23B的情况下，将电动致动器23A、23B简称为电动致动器23。
[0054]各电动致动器23具备一对托架21和保持部件22。保持部件22通过一对托架21而被支承为能够转动。该保持部件22上保持有电动致动器23。
[0055]图2是表示调整阀驱动机构15的周边的立体图。图2中，为了便于图示而仅示出电动致动器23A、23B中的一个，另外，省略了关于涡轮主体11等的图示。
[0056]—对托架21形成为剖面呈L字状。一对托架21固定于底座25上。底座25接近于轴承罩24而设置。上述轴承罩24容纳有将图1所示的转子113的旋转轴115支承为能够旋转的轴承112。
[0057]如图1及图2所示，保持部件22形成为在侧视时呈U字状。保持部件22被支承为其U字状的两端部通过上述一对托架21而能够转动。
[0058]图3A及图3B是表示电动致动器23的内部结构的剖视图。
[0059]如图3A及图3B所示，电动致动器23具备滚珠丝杠机构27和制动器28。
[0060]滚珠丝杠机构27将电动马达(旋转驱动源)26的旋转运动转换为杠杆侧杆19的直线运动。该滚珠丝杠机构27具有电动马达26、滚珠丝杠(转换部)30及活塞单元31。
[0061]电动马达26接收到电力的供给而旋转。该电动马达26容纳于马达容纳部29中。马达容纳部29设置于电动致动器23的基端部且内部被封闭。由此，成为电动马达26从存在于周围的油被隔离的防爆结构。
[0062]滚珠丝杠30为长形的螺纹部件，其外周面切割有外螺纹槽。滚珠丝杠30的基端部连接于电动马达26的驱动轴。滚珠丝杠30伴随着电动马达26的旋转而被旋转驱动。
[0063]活塞单元31通过滚珠丝杠30的旋转而进退移动。该活塞单元31沿滚珠丝杠30而往复移动。活塞单元31具备螺母311、活塞杆312、杆端连接件313、致动器侧杆314。
[0064]螺母311形成为通过螺纹作用而嵌合于滚珠丝杠30的圆环状。在螺母311的内周面形成有内螺纹槽。
[0065]活塞杆312形成为包覆滚珠丝杠30的外侧的筒状。活塞杆312固定于螺母311的第一端面。
[0066]杆端连接件313通过嵌合而被安装于活塞杆312的前端部。该杆端连接件313在前端侧的内周面形成有内螺纹。
[0067]致动器侧杆314在延长活塞杆312的方向上延伸。该致动器侧杆314在其长边方向的第一端部形成有外螺纹。致动器侧杆314的外螺纹拧入到杆端连接件313的内螺纹中而被固定。
[0068]S卩，若滚珠丝杠30围绕轴线旋转，则在活塞单元31中，如图3B所示，通过螺纹作用而嵌合于滚珠丝杠30的螺母311沿轴线向与滚珠丝杠30的旋转方向对应的方向移动。伴随着该螺母311的移动，固定于螺母311的活塞杆312、杆端连接件313及致动器侧杆314，也与螺母311 —同沿滚珠丝杠30的轴线移动。
[0069]图4是滚珠丝杠机构27的滚珠丝杠30和螺母311的剖视图。
[0070]如图4所示，在滚珠丝杠30的螺纹槽与螺母311的螺纹槽之间配置有滚珠330。这些滚珠330在周方向上配置有多个。滚珠丝杠30与螺母311经由这些滚珠330并通过螺纹作用而嵌合。
[0071]滚珠丝杠机构27在周方向上彼此邻接的滚珠330、330之间具备保持件331。这些保持件331减小在周方向上彼此邻接的滚珠330、330之间的摩擦，并且抑制工作时的发热。
[0072]如图3A、图3B所不，电动致动器23隔着电动马达26在与滚珠丝杠30相反的一侧的位置具备制动器28。制动器28由电磁盘式制动器构成。制动器28在电力的供给被切断时工作，从而对电动马达26的旋转进行制动。
[0073]φ恸器28的动作通过电子调速器17(参考图1)而被控制。在滚珠丝杠30的圆周速度超过阈值而变得较大的情况下，电子调速器17使制动器28工作。S卩，通过使制动器28工作而对电动马达26的旋转施加制动。
[0074]活塞杆31通过活塞外壳36而被包覆。活塞外壳36在其上端(图3A、图3B的左端)具备封闭活塞外壳36并引导活塞杆312的活塞盖37。
[0075]图5是表示电动致动器23的周边的立体图。
[0076]如图5所示，电动致动器23固定于保持部件22。
[0077]致动器侧杆314插通于在保持部件22的上端部设置的导向板39的插通孔39a。该致动器侧杆314经由后述的联轴器机构32而连接于杠杆侧杆19。
[0078]如图5中用双点划线所示，如此设置的电动致动器23被容许以保持部件22支承于托架21的部位作为支点而转动。
[0079](锁定机构)
[0080]图6是表示锁定机构16的结构的概略俯视图。
[0081]锁定机构16将调整阀13锁定成不能移动。
[0082]如图5及图6所示，锁定机构16具有支承棒161、保持板162及推压部件164。
[0083]支承棒161的下端部固定于形成有上述底座25的支承构造物等，并向上方延伸。
[0084]保持板162固定于支承棒161的上端部并向水平方向延伸。在保持板162的前端部形成有在俯视时大致呈半圆形状的槽162a。
[0085]推压部件164与保持板162 —同夹持杠杆侧杆19。推压部件164经由一对固定螺栓163而能够装卸地安装于保持板162的前端部。推压部件164在对置于保持板162的一侧形成有在俯视时呈三角形状的切口 164a。
[0086]根据上述锁定机构16，在将杠杆侧杆19嵌合于保持板162的槽162a之后，利用固定螺栓163将推压部件164固定于保持板162的前端部。由此，杠杆侧杆19通过保持板162和推压部件164而被夹持。其结果，杠杆侧杆19以不能移动的状态而被锁定。
[0087](极限开关单元)
[0088]如图7所示，在保持部件22的导向板39上安装有极限开关单元50。极限开关单元50作为检测调整阀13超过规定的范围而驱动的限制传感器而发挥功能。该极限开关单元50具备撑杆51和极限开关52。撑杆51正交于导向板39，并且向电动致动器23的长边方向延伸。极限开关52安装于撑杆51的规定的位置上。致动器侧杆314上安装有接触配件53。接触配件53安装于致动器侧杆314与联轴器机构32之间的连接部附近。该接触配件53安装于能够接触到极限开关52的位置上。
[0089]在调整阀13由电动致动器23驱动时，当调整阀13超过100%的升程量，且成为计划值以上的升程量时，极限开关单元50设定为接通开关。作为上述计划值以上的升程量，例如能够设为105%的升程量。S卩，在调整阀13达到电动致动器23的计划值以上的升程量的情况下，极限开关单元50设为接通。极限开关单元50与电子调速器17 (参考图1)连接。电子调速器17与极限开关50进行通信，并监视调整阀13的升程量是否为计划值以上的升程量(例如105% )以上。
[0090](升程量检测装置)
[0091]在调整阀驱动机构15中设置有升程量检测装置55。该升程量检测装置55作为限制传感器而发挥功能。升程量检测装置55具有支承部件56、伸缩棒57及升程传感器58。
[0092]支承部件56为支承伸缩棒57的部件。该支承部件56安装于电动致动器23的马达容纳部29中。
[0093]伸缩棒57为连接支承部件56和杠杆部件14的部件。该伸缩棒57平行于电动致动器23的致动器侧杆314而延伸。在伸缩棒57中，构成其上部的第一杆59以能够转动的方式连接在杠杆部件14的长边方向前端部附近。并且，在伸缩棒57中，构成其下部的第二杆60以能够转动的方式连接在支承部件上。在第一杆59的下端固定有圆筒部件61。该圆筒部件61形成为在其内周侧容纳第二杆60的圆筒状。S卩，通过第二杆60在固定于第一杆59上的圆筒部件61的内部滑动，伸缩棒57能够进行伸缩。
[0094]升程传感器58测定在伸缩棒57中伴随杠杆部件14的转动而向上方移动的部位在上下方向的变位。升程传感器58是使用了对伸缩棒57的圆筒部件61的变位进行测定的差动变压器(LVDT，Linear Variable Differential Transformer)的传感器。该升程传感器58经由固定于伸缩棒57的圆筒部件61的上端的升程传感器撑杆62而测定圆筒部件61的变位。
[0095]升程传感器58具有升程传感器主体部64、芯部(未图示)及轴部65。升程传感器主体部64形成为固定于支承部件56的圆筒状。芯部容纳于升程传感器主体部64中。轴部65形成为与芯部连接的棒状。该轴部65配置成与伸缩