技术特征：
技术总结
本发明提供一种具有增强结构强度的微机电元件，包含多个金属层，多个金属层包含一最上金属层，此最上金属层包含多个独立金属段；其中，该多个独立金属段分别通过至少一支持柱以连接至相邻的金属层，且在该最上层独立金属段与该相邻的金属层之间除了支持柱外，无介电层设置于其中；除该最上金属层外，其余金属层分别通过至少一支持柱及一介电层而与相邻的金属层彼此连接。
技术研发人员：孙志铭;蔡明翰;徐新惠;王维中
受保护的技术使用者：原相科技股份有限公司
技术研发日：2013.10.14
技术公布日：2017.08.25