技术特征：
技术总结
本发明涉及一种微机电系统的运动部件及其加工方法，属于微机电系统的加工工艺技术领域，降低运动部件侧壁的摩擦力，提高其耐磨损性。运动部件的侧壁形成有包括凸起结构以及与凸起结构交叉的波纹状结构的微纳米图案。加工方法采用反应离子深刻蚀工艺将光刻胶层形成的凸起结构转移到运动部件的侧壁上，并通过刻蚀工艺交替进行的刻蚀和钝化在运动部件的侧壁形成波纹状结构，从而在运动部件的侧壁面形成凸起结构和波纹状结构构成的网状微纳米图案。本发明提供的微机电系统的运动部件及其加工方法可用于微机电系统。
技术研发人员：韩静
受保护的技术使用者：中国矿业大学
技术研发日：2017.11.24
技术公布日：2018.04.20