一种阳极键合装置的制作方法

技术特征：

1.一种阳极键合装置，其特征在于，所述阳极键合装置设置有加热板；所述加热板的下端通过螺栓固定安装有加热温控系统；加热板通过导线与加热电源电连接；加热温控系统通过导线分别与高压直流电源和高压脉冲电源电连接；

加热板的上端通过支架安装有数据采集装置；数据采集装置的信号输出端与显示装置相连接；所述数据采集装置的信号输入端与加热板通过信号线连接。

2.如权利要求1所述的阳极键合装置，其特征在于，所述加热温控系统包括平板式阳极和阴极螺旋式加压装置，平板式阳极通过导线连接有阳极探针电极，阴极螺旋式加压装置通过导线连接有阴极线电极。

3.如权利要求2所述的阳极键合装置，其特征在于，所述阳极探针电极与阴极线电极之间安装有键合平台。