一种大面积金属氧化物纳米阵列的剥离转移方法与流程

文档序号:20504406发布日期:2020-04-24 17:46阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属氧化物纳米阵列的剥离转移方法,所述方法包括以下步骤:

(1)选取与金属氧化物晶格常数失配率大于5%且热膨胀系数差异大于5×10-6k的基底材料;

(2)在所述基底材料的表面预先制备金属氧化物种子层薄膜,在该过程中将退火温度控制在200~500℃;

(3)将所述表面预制有金属氧化物种子层薄膜的基底材料浸入水热前驱体溶液中进行水热反应,从而在所述基底材料的表面生长一层金属氧化物纳米阵列;

(4)将所述水热制备的金属氧化物纳米阵列在200~500℃下热处理,实现所述金属氧化物纳米阵列与所述基底材料的分离;和

(5)将所述金属氧化物纳米阵列剥离至有机粘结剂或溶胶中,选取目标基底捞取所述分离的金属氧化物纳米阵列,使其贴附在所述目标基底的表面,然后在200~500℃温度下、空气气氛中进行热处理,除去残余的有机物,从而实现所述金属氧化物纳米阵列的转移。

2.根据权利要求1所述的方法,其中所述金属氧化物选自zno,cuo,nio和co3o4。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述基底材料包括但不限于玻璃基底和si基底。

4.根据权利要求3所述的方法,其中所述基底材料是fto玻璃基底。

5.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述水热前驱体溶液是由所述金属氧化物对应金属的硝酸盐溶液与胺溶液混合制得的。

6.根据权利要求5所述的方法,其中所述胺溶液包括但不限于环六亚甲基四胺溶液和尿素溶液。

7.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述目标基底是曲面基底。

8.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述有机粘结剂包括但不限于曲拉通和松油醇。

9.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述溶胶为所述金属氧化物对应金属的醋酸盐溶胶。

10.根据权利要求1或2所述的方法,其中所述金属氧化物纳米阵列的转移面积高达1cm2


技术总结
本发明提供一种金属氧化物纳米阵列的剥离转移方法,包括:(1)选取与金属氧化物晶格常数失配率大于5%且热膨胀系数差异大于5×10‑6K的基底材料;(2)在基底材料的表面预先制备金属氧化物种子层薄膜,其中将退火温度控制在200~500℃;(3)将表面预制有金属氧化物种子层薄膜的基底材料浸入水热前驱体溶液中进行水热反应以在其表面生长一层金属氧化物纳米阵列;(4)将制备的金属氧化物纳米阵列在200~500℃下热处理,实现与基底材料的分离;和(5)将金属氧化物纳米阵列剥离至有机粘结剂或溶胶中,选取目标基底捞取分离的金属氧化物纳米阵列,使其贴附在所述目标基底的表面,然后在200~500℃温度下、空气气氛中进行热处理,除去残余的有机物,从而实现金属氧化物纳米阵列的转移。

技术研发人员:杨庭强;梁维源;范涛健;张家宜;康建龙;曾永宏;孟思;张斌
受保护的技术使用者:深圳瀚光科技有限公司
技术研发日:2019.12.12
技术公布日:2020.04.24
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