金属电镀的设备和方法

专利名称：金属电镀的设备和方法
技术领域：
本发明涉及用金属层涂覆导电材料的设备和方法。这样的设备和这样 的方法，例如，在金属部件上涂覆金属是有用的。
背景技术：
众所周知，浸入含有金属盐溶液浴的导体，当该导体在提供电流的电 路中构成阴极时，可获得金属涂层。在暴露于金属盐溶液的整个表面中得 到涂层。如果期望涂层位于一个较小的区域，经常使用所谓的电刷镀，由 此在液体吸收材料的帮助下使电解质位于特定区域。然后，仅仅与液体吸 收材料相接触的区域被涂覆。这样的液体吸收材料的实例有橡胶海绵和所
谓的Scotch-Brite 布。由于^f吏用高电流密度，电刷镀在阳才及和阴才及间的 相对运动下进行。过'隄的相对运动会造成在层上的烧伤(burn-in)效应， 而过快的相对运动会造成不必要的涂覆的低速率。得到的层厚度取决于盐 溶液中金属离子的浓度和供应的电能。供应的电能可以，例如，表示为电 流乘以时间，例如，表示为Ah 。
电界J後4苗述在，侈'J^口， "Laerobok i Elektrolytisk och Kemisk Ytbehandling，， ( "Textbook in Electrolytic and Chemical Surface Treatment")，巻1, Ytfo濯/G Ekstroem， s出版社出版，Linkoeping 1994 年，第410-416页中。如果导体的不同部分用不同厚度的层涂覆，则涂覆 必须在每个区域分开涂覆的步骤中进行。当旋转对称的物体像，例如，管 在不同位置用不同厚度的层涂覆时，利用掩饰以便掩饰那些没有涂覆至层 厚度A的部分，而暴露那些涂覆至层厚度A的部分，因此掩饰那些具有层 厚度A的部分，而暴露那些会得到层厚度B的部分。对于每个期望的层厚 度，加入至少一个工艺步骤。当几个不同部分用不同厚度的层涂覆时，工 艺复杂且浪费时间。错误的概率随着工艺步骤数的增加而增加，废弃的花 费会是可观的。
发明目的
本发明的目的是，使得在单一步骤中，用不同厚度的金属层涂覆部件 成为可能。
发明概述
根据本发明的第一方面，上述目的是由权利要求1定义的设备实现的。
本发明的设备包括有一个主体(body)的阳极，设计设备以这样一种方式 接收物体，物体构成阳极，并且当接收物体时，形成接收液体吸收材料和 涂覆物体的电解质的空间，阳极的主体包括至少两个具有不同导电性材料 的表面部分，该表面部分在用不同厚度层涂覆的表面部分的对面放置。层 的厚度可以从零至以上变化。电导率是指可以从零或者近零至以上变化的 电导率。可以期望的是，物体上特定的表面部分应该保持未涂覆而其他应 该用一层涂覆。在期望物体表面部分应该保持未涂覆的情况下，z使用具有 无或者非常低导电性的相反表面部分的阳极。
实验表明，物体上层生长的速率取决于在物体对面的阳极表面的电导 率。由于不同的表面部分有不同的电导率，所以允许物体的相反表面部分 经历不同的涂覆速率，并且在给定的涂覆时间后，还有不同的层厚度。因 此，物体可以有利地在一个且同一个工艺步骤中在不同位置涂覆不同层厚 度。对于旋转对称的物体，纵向方向上的层厚度可以通过赋予阳极上相反 表面部分不同的电导率来变化。还有，电解质的供应，例如以每单位时间 的供应体积表示，对于层上的生长速率是重要的。由于物体不同部分上的 层厚度可容易地根据技术要求而调整，所以金属的消耗可以最小化，这从 成本的观点上看是有利的。
根据本发明一个优选的实施方案，阳极的表面是旋转对称的。这样， 旋转对称的物体可以在纵向上有不同厚度的旋转对称层。
根据本发明一个优选的实施方案，电解质通过阳极中的至少一个沟道 分布进入阳才及和物体间的空间。
在本发明进一步的实施方案中，电解质通过几个沟道分布进入阳极和 物体间的空间。阳才及包括至少两个沟道，用于供应电解质到阳极的表面， 这些沟道中一个打开并进入所述表面部分中的一个，其它的沟道打开并进 入其它所述表面部分。沟道中的一个具有比其它沟道截面面积小的截面面 积。该实施方案允许每单位时间向不同表面部分供应不同量电解质。当考 虑到在阳极对面的物体表面上要得到的层厚度时，设计沟道使得进行向阳
极表面不同部分供应电解质。在给定的电流供应和电解质中的金属离子浓 度下，更快的层生长的速率需要更大的电解质供应，因此沟道的截面面积 将大于对于较低生长速率的截面面积。
根据本发明另 一个优选的实施方案，阳极和物体适合于相对」波此旋转。
在涂覆期间的相对运动提供了层的好质量，避免了层的烧伤(burning-in )。
根据又一个优选的实施方案，所述设备包括用于进行要表面涂覆的物 体脱脂的装置。优选地，利用阳极的沟道分布脱脂液体进入阳极和物体之 间的空间且进一步通过液体吸收材料分布到物体的表面。 一个可用的脱脂 液体的例子是氲氧化钠溶液。该实施方案的一个优点是可以利用同一i殳备 既脱脂又金属电镀。要涂覆的物体从不需要在不同的阶段间移动。
根据本发明进一步的实施方案，该设备包括用于进行酸浸或所谓的活 化在其上要施加金属涂层的表面的装置。它的进行是为了随后的涂覆得到 好的粘附。优选地，利用阳极的沟道分布酸浸液体进入阳极和物体间的空 间且进一步通过液体吸收材料到达物体的表面。酸浸液体可以，例如，由 硫酸溶液组成。酸浸液处于与设备连接的罐中，并且为了驱动酸浸液的流 动，在罐和设备之间连接泵。当酸浸液通过设备时，返回罐中。酸浸期间， 电流的供应为零或者非常小。该实施方案的一个优点是同一设备可以用于 既酸浸又金属电镀。该实施方案与以前的设备包括用于进行脱脂的装置的 实施方案组合起来也是有利的。这样，同一设备可以用于脱脂、酸浸以及 金属电镀。要涂覆的物体从不需要在不同的阶段间移动。
根据本发明的又一进一步实施方案，阳极的一个表面部分的电导率为 零或者近似零，阳^ L的另一个表面部分的电导率显著大于零。
根据本发明另外的实施方案，阳极的一个表面部分具有显著大于零的 第一电导率，阳4 l的另一个表面部分具有显著大于零的第二电导率，由此 第一电导率不同于第二电导率。
根据本发明的第二方面，根据权利要求13的方法实现这个目的。这样 的方法包括设备接收的物体，由此在所述阳极和接收的物体间形成空间， 所述表面部分置于阳极上具有不同电导率的表面部分的对面，液体吸收材 料加入到所述空间，电解质供应给空间，至少一个所述表面部分通电，由 此进行物体所述表面部分不同层厚度的涂覆。
该方法的一个优选实施方案包括通过至少两个沟道供应电解质，由此 在一个所述沟道内每单位时间的流动体积比在其它所述沟道内小。这样，
向不同的表面部分供应不同量的电解质，由此对于不同的表面部分，涂覆 速率变得不同。
根据本发明的一个实施方案，加入包括金属盐溶液的电解质。溶液可 以是纯无机的，例如金属氰化物溶液。金属氰化物溶液的一个例子是氰化 银的水溶液。电解质也可以是有机金属的。无机和有机金属溶液混合物也 可以使用。
本发明特别有用的应用是旋转对称部件的内部和外部涂覆。这样的部 件的例子是有不同用途的薄壁和厚壁的管，钻孔进入材料段的圓柱体，轴 以及用于，例如，操作臂的棒杆。其他应用可以是较小的罐、水分布系统 的仪器和化学工艺工厂的部件的涂覆。本发明使得在物体的不同表面部分 上施加不同层厚度简单，这是物体以前由于成本原因被认为不适合涂覆， 现在能用便利的方法涂覆。
附图简述
现在通过不同的实施方案并参照附图更详细地说明本发明。


图1 a表示想要用本发明设备涂覆的物体的实例。
图lb表示在本发明设备中的阳极的实例。
图2是根据本发明一个实施方案的设备的轴截面。
图3是图2设备的横截面A-A。
图4是根据本发明另一个实施方案的设备的轴截面。
图5是图4设备的横截面B-B。
优选实施方案的详述
图la表示要在物体内侧上电解涂覆的管状物体l,其中期望物体的不 同表面部分2a-b涂覆不同厚度的层。在该实施例中，物体的两个部分2a-b 要涂覆不同厚度的层，而物体表面的其余部分不涂覆。
图lb表示要用于在管状物体l内侧上电解涂覆的阳极IO。阳极10在 物体电解涂覆期间构成电正极。阳极10包括一个具有不同电导率的许多表 面部分12a-e的圆柱状主体11。表面部分12a、 12c、 12e缺乏导电性且相 应于不被涂覆的那些物体部分。表面部分12b和12d是导电的且相应于物 体上要涂覆层的那些部分2a和2b。在该实施例中，表面部分12b和12d 具有相同的电导率。在另一个实施方案中，表面部分12b和1M还可以具
有不同的电导率，由此得到不同层厚度的层。在表面部分12b和12d之间 电导率的不同反映了在物体的相应部分间所需的层厚度的不同。表面部分 的高电导率提供比低电导率更厚的层。表面部分12a-e的形状和大小由期 望涂覆的物体的那些表面部分的形状和大小决定。物体的每一新涂层几何 形状需要阳极表面部分的新构型。
表面部分12a、 12c、 12e由具有良好耐化学性和可加工性的电绝缘材 料制成。这样材料的例子是Teflon⑧(PTFE)和聚偏氟乙烯(PVDF)。表面部 分12b、 12d由具有良好耐化学性、足够好的强度和硬度以及适合的电导率 的导电材料制成。这样材料的例子是不锈钢、钛合金和铂。
一种制造阳极的方法是将具有第一电导率的层施加到具有第二电导率 的主体上，其中层相应于物体上的所需表面层。在一个实施方案中，主体 可由具有良好电导率的材料如不锈钢构成，由此层由具有另一个电导率的 材料如电绝缘材料构成。在另一个实施方案中，主体可以由电绝乡彖材料如 Tef 1 on⑧构成，由此层由具有较高电导率的材料如不锈钢构成。
在该实施方案中，通过使坯件变成适合要被表面涂覆的物体的直径来 制造阳极。该直径为2-大约20mm，小于要表面涂覆的旋转对称物体的直径。 阳极主体上的表面部分的位置向下翻折大约lmm。将厚度为lmm且外径与 坯件的直径相等的轴切管，例如塑料管，在向下翻折接收管之前，与高度 等于坯件上向下翻折区域高度的轴高度配合，并且例如通过粘合将切口连 接在一起。保持原始坯件直径的表面部分12b、 12d具有与坯件相同的电导率。
在另一个实施方案中，阳极包括许多具有不同电导率的同心环状元件。 这些元件配合在伸长的旋转对称支撑元件如杆上。这些元件具有 一起形成 阳极外表面的表面。因此，元件的表面形成具有不同电导率的表面部分。 该实施方案的优点是，改变元件并因此适应阳极表面部分的大小和改变阳 极上表面部分的位置以使阳极适应涂覆具有不同表面构型的物体，这是简 单的。
而且，阳极包括用于供应电解质的许多沟道13a-d。沟道具有在阳极 表面上打开的出口，更特别是在导电的表面部分12b、 12d中。阳极还具有 构建用于沟道13a-d的结构支撑元件和它们在阳极表面上的出口的功能。
主体11可以是固体旋转对称圆柱体，其中的沟道13a-d已经设计出， 沟道的出口在阳极外侧打开。主体11还可以成形为一个带有构建在管内侧
的沟道13a-d的旋转对称管。
导电的表面部分通电地连4妄到电流元(current unit)的正才及。当给 电压时，所有电流将通到导电的表面部分12b、 12d,而没有电流会通到电 绝纟彖的表面部分12a、 12c、 12e。
图2表示根据本发明一个实施方案的设备的轴截面。图3表示通过图 2的设备的横截面A-A。该设备包括具有圆柱形主体11的阳极，从图lb 中其类型清楚，且要接收图la所示的要被涂覆的旋转对称物体l。涂覆物 体的内侧。在阳极中，四个沟道13a-d已经设计出，电解质通过其被供应 到阳极表面。这些沟道在不绝缘的阳极的那些表面部分打开。由于沟道 13a-d在导电的那些表面部分打开，所以确保了新鲜的电解质供应到要被 涂覆的那些表面部分。在该实施方案中，沟道13a、 13c的截面面积小于沟 道13b、 13d的截面面积。
相对于阳极，物体以这样一种方式放置，即要涂覆的表面部分在导电 的阳极的那些表面部分的对面。i殳计设备以这样一种方式接收物体，即物 体构成阴极，并且当接收物体时，形成一个用于接收液体吸收材料和涂覆 物体的电解质的空间20。液体吸收材料可以，例如，包4舌所谓的 Scotch-Brite⑥的布料。布料的厚度由空间的宽度决定。布料要填充在阳 极和将表面涂覆的物体间形成的空间20。而且，布料要接收新鲜电解质和 使得新鲜电解质在将表面涂覆的那些表面部分上可利用。电解质可以有利 地包括金属盐溶液。溶液可以是纯无机的，例如金属氰化物溶液。金属氰 化物溶液的例子是氰化银的水溶液。电解质还可以是有机金属的。无机和 有机金属溶液的混合物也可以使用。电解质的剩余通过在设备较低部分中 提供的排水孔25a-b排出。
物体被盖21和底板22封住。盖21提供有放液口 23且通过螺栓24 与将表面涂覆的物体连接。通过放液口 23引入旋转运动而使物体相对于阳
阳极与底板电接触。因此底板22和阳极10与直流单元(dc unit)的正极 连接且物体1与同 一单元的负极连接。
图2所示的设备还包括用于进行脱脂将涂覆的物体的装置。这些装置 包括要包含脱脂液体的罐27a。罐通过管线与阳极的沟道13a-d连接。通 过设置在通往阳极的管线上的阀28a来控制脱脂液体向阳极的供应。
图2所示的设备还包括用于进行酸浸将涂覆的物体的装置。这些装置
包括要包含酸浸液体的罐27b。罐通过管线与阳极的沟道13a-d连接。通 过设置在通往阳才及的管线上的阀28b来控制酸浸液体向阳才及的供应。
图2所示的设备还包括用于进行冲洗将涂覆的物体的装置。这些装置 包括要包含水的罐27d。罐通过管线与阳极的沟道13a-d连接。通过设置 在通往阳极的管线上的阀28d来控制水向阳极的供应。
图2所示的设备还包括用于供应涂覆物体的电解质的装置。这些装置 包括要包含电解质的罐27 c。罐通过管线与阳极的沟道13a-d连接。通过 设置在通往阳极的管线上的阀28c来控制电解质向阳极的供应。
设备进一步包括连接在阀28a-d和阳极的沟道13a-d之间的泵29a来 驱动液体流动。
设备进一步包4舌连接在排水孔25a-b和罐27a-d之间的为回流液体的 排水管线29b。排水管线连接到罐27a-d并提供有数个为控制液体回流到 各个罐27a-d的阀28e-h。
图4表示根据本发明的一个实施方案的设备，包括阳极30a，该阳极 的主体是旋转对称且管状的，要接收将涂覆的物体30b。物体30b外侧被 涂覆。图5表示通过图4设备的横截面B-B。阳极由不锈钢的厚壁管制成。 在阳极中，沟道32a-d已经设计出，通过其向阳极表面供应电解质。在管 的内侧上，大约lmm要绝缘的表面部分向下翻折。l咖厚的塑料管，其内 径相当于阳极的内径，被锯开以便轴高度对应于表面部分33a的轴高度。 这段管在轴方向上被切开，并且被已经向下翻折的、其轴高度对应于这段 塑料轴高度的阳极上的表面部分33a接收。在塑料段上切开的轴然后粘合 在一起。以同样的方式，塑料段为其它的表面部分33c、 33e而制备，其也 应该是电绝缘的。设计设备以这样一种方式接收物体，即物体构成阴极， 并且在接收物体时，形成用于接收液体吸收材料和涂覆物体的电解质的空 间40。
物体由两个盖34、 35封住。设备包括设置在物体各端且与物体连接 的两个圆柱形板36、 37。每一个圆柱形板提供有放液口 38、 39。通过放液 口 38、 39引入旋转运动而使物体相对于阳极旋转。阳极电连接到直流单元 的正极，管状物体31通过放液口 38、 39中的任何一个接连到相同单元的 负极。
本发明还包括用金属涂层涂覆导电物体的方法。以下将参照图2描述 该方法的实施方案。该方法的第一步为脱脂物体以清洁表面。打开装有脱
脂液体的罐27a的阀28a、 28e，将脱脂液体从罐中泵抽入阳极10。通过阳 极10中提供的沟道13a-d,将液体运输到阳极的表面且进一步运输入阳极 和物体之间的空间20,该空间包括液体吸收材料。通过向放液口 23传递 力矩而使物体旋转。在方法接下来所有的步骤中继续旋转。适当的旋转速 度是每分钟25-100转。穿过液体吸收材料的液体通过排水孔25a-b排出， 流回罐27a中。当脱脂液体已经被泵抽大约3分钟时，关闭带有脱脂液体 的罐的阀28a、 28e。现在物体已经被脱脂。供选择地，脱脂可以在另一个 脱脂设备中分开进行。
方法的第二步是冲洗物体。打开7jc罐27d的阀28d、 28h。泵抽水大约 3分钟以冲去任何残留的脱脂液体，水罐的阀28d、 28h随之关闭。
方法的第三步是酸浸物体。打开带有酸浸液的罐27b的阀28b、 28f， 现在泵抽酸浸液体大约3分钟，阀28b、 28f随之关闭。物体现已被酸浸。 供选择地，酸浸可以在另一个酸浸设备中分开进行。
方法的第四步是另一个冲洗操作。现在再一次打开水罐的阀28d、 28h, 泵抽水大约3分钟以冲去任何残留的酸浸液体。其后，关闭水罐的阀28d、 28h。现在，物体准备好接收金属层。
方法的第五步是物体的金属电镀。打开装有电解质的罐27c的阀28c、 28g。现在，电解质被泵抽出来通过阳极的沟道13a-d并进入那些要涂覆的 表面部分12a-e,进一步通过排水孔25a-b再次回到罐27c。通过电连接到 电流提供单元(未示出)的正极给阳极10加电压。物体通电地连接到电流 提供单元的负极。安培数和时间适应要涂覆的表面部分的大小和期望的层 厚度。随后，关上电流且关闭装有电解质的罐的阀28c、 28g。电压可以在 2-25V的间隔内。在阳极10的导电表面12b、 12d对面的表面用金属层涂 覆。在阳极10的电绝缘表面12a、 12c、 12e对面的表面保持未涂覆。从而， 完成金属电镀。
方法的第六步是冲洗物体l。打开水罐27d的阀28d、 28h且将水泵抽 通过阳极并i^液体吸收材料。供选择地，所有的冲洗步骤可以在另一个 设备中分开进行。
仪器还包括用于控制泵和阀的控制设备(未示出)。控制设备可以是， 例如，计算机。
阳极的功能部分地是构建沟道的结构支撑元件和它们到阳极表面上的 导电表面部分的出口，通过该出口供应电解质，部分地是在电解涂覆期间
构建电正极。确定阳极直径以便在要表面涂覆的物体和阳极之间同心地形 成要接收液体吸收材料的空间。液体吸收材料的功能是吸收并使得新鲜电 解质在要表面涂^隻的表面部分上可利用。这样，确保新鲜电解质供应到在 电解涂覆过程中作为正极包括的表面部分。
涂覆在阳极和要涂覆物体间的相对运动下进行。相对运动有确保在层
上无烧伤(burn-in)效应获得的功能。然而，相对运动不必太快，因为这 可能导致不必要的低涂覆速率。
当涂覆多于一个表面部分时，可以在同时进行对不同表面部分的施加 电压。施加电压还可以根据特定的顺序进行以便第一表面部分首先被施加 电压，随之第二表面部分被施加电压，由此第一表面部分的施加电压中断。 随后，第三表面部分被施加电压，由此第二表面部分的施加电压中断。及 时地向不同表面部分施加电压的不同组合是可能的。利用不同形式的直流 电如脉冲直流电流也是可能的。那么脉冲宽度和幅度可以基于要表面涂覆 的物体以及不同的工艺参数来确定。
阳才及可以包括大量的》走转对称表面部分，该表面部分在轴向上的高度 可以是不同的。
权利要求
1.用于金属电解涂覆导电材料物体(1；31)的设备，其中物体具有至少两个期望涂覆不同厚度层的表面部分(2a-b)，其中设备包括具有主体的阳极(10；30)，其中设计设备以这样的方式接收物体，即物体构成阴极，并且在接收物体时，形成用于接收液体吸收材料和涂覆物体的电解质的空间(20；40)，其特征在于，阳极的主体包括至少两个具有不同电导率的表面部分(12a-e；33a-e)，和该表面部分布置在被接收物体的所述表面部分的对面。
2. 根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述阳极(10; 30)的表面 是旋转对称的。
3. 根据前述权利要求中任意一项所述的设备，其特征在于，阳极所述 表面部分(12a， 12c， 12e; 33a, 33c， 33e )之一的电导率为零或者接近零，而 阳极另一个所述表面部分(12b, 12d; 33b， 33d)的电导率显著大于零。
4. 根据前述权利要求中任意一项所述的设备，其特征在于，阳极所述 表面部分(12b, 12d; 33b， 33d)之一具有显著大于零的第一电导率，而阳极另 一个所述表面部分(12b， 12d; 33b， 33d)具有显著大于零的第二电导率，第 一电导率不同于第二电导率。
5. 根据前述权利要求中任意一项所述的设备，其特征在于，所述阳极 包括至少一个用于供应电解质到阳极表面上的沟道(13a-e; 32a-e )。
6. 根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述阳极包括至少两个 供应电解质到阳极表面上的沟道U3a-e;32a-e)，其中一个沟道在所述表 面部分的一个处打开，而其它沟道在所述表面部分的其它处打开。
7. 根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述沟道(13a, 13c )中 的一个的截面面积小于其它沟道(13b, 13d)的截面面积。
8. 根据前述权利要求中任意一项所述的设备，其特征在于，所述阳极 和物体适合于相对彼此旋转。
9. 根据前述权利要求中任意一项所述的设备，其特征在于，所述设备 包括用于进行要涂覆物体脱脂的装置(27a， 28a， 28e, 29a, 29b )。
10. 根据权利要求9所述的设备，其特征在于，所述沟道适合于分布脱 脂液体进入所述空间。
11. 根据前述权利要求中任意一项所述的设备，其特征在于，所述设备包括用于进行物体酸浸的装置(27b， 28b， 28f ， 29a， 29b )。
12. 根据前述权利要求中任意一项所述的设备，其特征在于，所述沟道 适合于分布出酸浸液体进入所述空间。
13. 金属涂覆导电材料物体的方法，其中物体具有至少两个期望涂覆 不同厚度层的表面部分，所述涂覆是通过至少一个包括具有主体的阳极的 设备，其中设计设备以接收物体，物体构成阴极，由此所述方法包括--由设备接收物体，由此形成在所述阳极和^皮接收物体之间的空间， —将所述表面部分放置在有不同电导率的阳极表面部分的对面， --将液体吸收材料加入到所述空间， --向空间供应电解质， --给所述表面部分的至少一个通电， 由此，进行向物体上所述表面部分不同层厚度的涂覆。
14. 根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述表面部分包括电 导率为零或接近零的第一表面部分，和电导率显著大于零的第二表面部分， 然后第二表面部分被通电。
15. 根据权利要求13-14中任何一项所述的方法，其中所述表面部分包 括电导率显著大于零的第一和第二表面部分，由此两个表面部分都被通电。
16. 根据权利要求15所述的方法，其中所述的第一表面部分具有第一 电导率，所述第二表面部分具有第二电导率，由此第一电导率不同于第二 电导率。
17. 才艮据权利要求16所述的方法，其中该方法包^^同时向所述表面部 分通电，由此进行向物体上所述表面部分同时涂覆不同层厚度。
18. 根据权利要求13-17中任何一项所述的方法，其中该方法进一步包 括通过阳极中的至少 一个沟道向所述阳极表面供应电解质。
19. 根据权利要求15所述的方法，其中该方法进一步包括通过阳极中 的至少两个沟道向所述阳极表面供应电解质，其中一个沟道在所述表面部 分的一个处打开，而其它沟道在所述表面部分的其它处打开。
20. 根据权利要求19所述的方法，其中该方法进一步包括通过至少两 个不同的沟道供应电解质，由此在所述沟道之一 中的每单位时间的流动体 积比其它所述沟道的小。
21. 根据权利要求13-20中任何一项所述的方法，其中该方法进一步包 括供应包含金属盐溶液的电解质。
22. 根据权利要求13-21中任何一项所述的方法，其中该方法进一步包 括供应包含银盐溶液的电解质。
23. 根据权利要求13-22中任何一项所述的方法，其中该方法进一步包 括相对彼此旋转所述阳极和所述物体。
24. 根据权利要求1-12中任何一项所述的设备或者根据权利要求 13-23中任何一项所述的方法用于涂覆旋转对称部件的用途。
全文摘要
本发明涉及导电材料物体(1)的金属电解涂覆的设备和方法，其中所述物体具有至少两个期望涂覆不同厚度的层的表面部分。所述设备包括阳极(10)。设计设备以这样一种方式接收物体，物体构成阴极，并且在接收物体时，形成用于接收液体吸收材料和涂覆物体的电解质的空间(20)。阳极的主体包括至少两个有不同电导率的表面部分(12a-e)，所述表面部分布置在接收的物体的所述表面部分的对面。
文档编号C25D7/04GK101341277SQ200680048278
公开日2009年1月7日 申请日期2006年12月19日 优先权日2005年12月22日
发明者J·哈格伦德 申请人:Abb技术有限公司