一种电沉积装置的制作方法

文档序号:5279864阅读:193来源:国知局
专利名称:一种电沉积装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种电沉积装置,属于电共相沉积法生产微晶金属技术领域。
背景技术
现有的一种用于电共相沉积的装置,包括阴极和阳极,用电共相沉积法生产微晶金属过程中阴极电流密度是个关键参数,过低影响生产效率,过高影响工件质量。而目前的
方法是依照经验公式,根据产品质量要求,在一个相对稳定的盐溶液环境下,和电场环境取一个电流密度的经验值,但因为是定性判断,往往不够准确;且此种情况下对盐溶液环境要求高,上下阀值距离小。
发明内容为克服现有技术的缺陷,本实用新型的目的在于提供一种可以准确适时控制电流密度的电沉积装置。所采用的技术方案为一种电沉积装置,包括阴极、阳极、视觉传感器、工控机和高频电源,所述视觉传感器与工控机连接,所述工控机与高频电源连接,所述高频电源分别与阴极和阳极连接。在电解槽内不影响电场环境又可见到工件的位置放置视觉传感器,适时测量工件灰度,灰度可反映工件质量,将灰度信号反馈回工控机,工控机适时调整高频电源输出参数以控制电流密度,从而准确地控制电流密度,也可根据产品质量要求将电流密度用到近于极限提高生产效率,并保证质量。

图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图,对本实用新型做进一步的阐述。参见图1,一种电沉积装置,包括阴极、阳极、盐溶液槽(图未示)、视觉传感器、工控机和高频电源,视觉传感器与工控机连接,工控机与高频电源连接。阴极、阳极置于在盐溶液槽内,工控机、高频电源置于盐溶液槽外,高频电源分别与阴极和阳极电连接。在盐溶液槽内不影响电场环境又可见到工件的位置放置视觉传感器,适时测量工件灰度,灰度可反映工件质量,将灰度信号反馈回工控机,工控机适时调整高频电源输出参数以控制电流密度,从而准确地控制电流密度,也可根据产品质量要求将电流密度用到近于极限提高生产效率,并保证质量。
权利要求1.一种电沉积装置,包括阴极与阳极,其特征在于还包括视觉传感器、工控机和高频电源,所述视觉传感器与工控机连接,所述工控机与高频电源连接,所述高频电源分别与阴极和阳极连接。
专利摘要本实用新型公开了一种电沉积装置,包括阴极、阳极、非接触式视觉传感器、工控机和高频电源,所述视觉传感器与工控机连接,所述工控机与高频电源连接,所述高频电源分别与阴极和阳极连接。准确地控制电流密度,也可根据产品质量要求将电流密度用到近于极限提高生产效率,并保证质量。
文档编号C25D17/00GK202465908SQ20112051992
公开日2012年10月3日 申请日期2011年12月14日 优先权日2011年12月14日
发明者黄林崎 申请人:福建通途金属结构有限公司
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