一种夹持机构及电镀装置的制作方法

文档序号:21135828发布日期:2020-06-17 00:40阅读:133来源:国知局
一种夹持机构及电镀装置的制作方法

本实用新型涉及夹具的技术领域,具体涉及一种夹持机构及电镀装置。



背景技术:

在电镀行业中,需要对板材上电镀所需厚度的金属层,需要通过夹持机构将板材夹持住,并将板材悬空在相应的电镀槽内,使电镀槽内溶液中的金属离子电镀在板材的表面上。比如,对表面上附有导电层的硅片进行电镀金属铜,或者对线路板表面上进行电镀铜等。

现有的夹持机构大多数如图1所示的结构,其包括第一夹框1a和第二夹框2a,第一夹框和第二夹框的一端通过合页3a铰接连接,第一夹框和第二夹框均能够朝向二者相互靠近方向转动,以使得第一夹框与第二夹框重叠并且相互面对的表面之间形成夹持区域,以将板材的边缘夹持在第一夹框和第二夹框正对的表面之间,再采用锁紧件将第一夹框和第二夹框锁紧;相反,松开锁紧件,第一夹框和第二夹框均能够朝向二者相互远离方向转动,以使第一夹框与第二夹框分离,实现将板材从夹持区域取出。

但是,该夹持机构在夹持板材时,第一夹框与第二夹框之间形成的夹紧力不易过大,否则容易在板材上形成应力集中,会损伤板材表面,甚至引起板材易碎的现象发生;该夹紧力也不易过小,否则板材容易从第一夹框和第二夹框之间脱落,发生掉板现象,不能实现板材的夹持作用。因此,现有的夹持机构在夹持板材时,夹紧力不好控制,很容易出现损伤板材的现象或出现掉板现象,难以满足在不损伤板材的同时防止掉板的现象发生。



技术实现要素:

因此,本实用新型所要解决的技术问题在于现有的夹持机构在夹持板材时,难以满足在不损伤板材的同时防止掉板的现象发生的缺陷。

为此,本实用新型提供一种夹持机构,包括相对可活动且可拆卸地固定的两个夹框,两个所述夹框可在二者的空心内腔重叠且固定时,两个所述夹框的相邻于所述空心内腔的一周内侧壁上在相互抵接位置处围成槽口连通于所述空心内腔的限位凹槽的限位状态与两个所述空心内腔分离的打开状态之间切换;

所述限位凹槽用于供板材的四周边缘嵌入,所述限位凹槽的两槽壁之间的距离l1大于所述板材的厚度l0,以在两个槽壁之间形成供板材活动的活动间隙。

可选地,上述的夹持机构,两个所述夹框相互面对的第一表面中,至少有一个所述第一表面的一周上设有凹陷的台阶,所述台阶的台阶面与各自所在夹框的空心内腔相邻且连通;在所述限位状态下,所述台阶与其正对的另一个所述夹框的第一表面之间围成所述限位凹槽。

可选地,上述的夹持机构,两个所述第一表面的一周上均设置所述台阶,两个所述台阶之间形成所述限位凹槽。

可选地,上述的夹持机构,所述活动间隙l2为0.1~1倍的所述板材厚度l0。

可选地,上述的夹持机构,至少一个所述夹框采用导电材料制成。

可选地,上述的夹持机构,采用导电材料制成的所述夹框的相邻于空心内腔的内侧壁上设有朝向空心内腔向内凸出的至少一个导电凸起,沿所述夹框的厚度方向,所述导电凸起上靠近所述限位凹槽的第二表面平齐或伸出与所述限位凹槽位于同侧的槽壁的内壁面,并在伸出时以缩小所述限位凹槽的槽口,所述槽口的槽宽大于所述板材的厚度l0。

可选地,上述的夹持机构,所述夹框上设有至少两个导电凸起,同一所述夹框上的相邻两个所述导电凸起间隔布置。

可选地,上述的夹持机构,两个所述夹框均采用导电材料制成;两个所述夹框的所述内侧壁上分别设有所述导电凸起;两个所述夹框上的导电凸起相对布置在所述槽口的两侧。

可选地,上述的夹持机构,在所述夹框的厚度方向上,任一所述夹框的至少一个表面上设有绝缘层。

可选地,上述的夹持机构,至少两个所述夹框相互背对的第三表面上部分覆盖有所述绝缘层,以在所述第三表面上外露出至少一个导电区域。

本实用新型提供一种电镀装置,包括

上述中任一项所述的夹持机构,用于夹持待电镀板材。

可选地,上述的电镀装置,还包括

至少一个电镀槽;

至少一个电镀夹具,受输送机构的驱动在所述电镀槽内移动;

所述电镀夹具用于夹持所述夹持机构的一端,以沿竖向悬空所述夹持机构。

本实用新型的技术方案,具有如下优点:

1.本实用新型提供的夹持机构,包括相对可活动且可拆卸地固定的两个夹框,两个所述夹框可在二者的空心内腔重叠且固定时,两个所述夹框的相邻于所述空心内腔的一周内侧壁上在相互抵接位置处围成槽口连通于所述空心内腔的限位凹槽的限位状态与两个所述空心内腔分离的打开状态之间切换;所述限位凹槽用于供板材的四周边缘嵌入,所述限位凹槽的两槽壁之间的距离l1大于所述板材的厚度l0,以在两个所述槽壁之间形成供板材活动的活动间隙l2。

此结构的夹持机构,两个夹框可在限位状态与打开状态之间切换,两个夹框在初始处于打开状态,当需要夹持板材时,先将板材放入一个夹框上用于形成限位凹槽的位置处,之后将另一个夹框叠放在板材上,使得两个夹框上相邻于空心内腔的一周内侧壁在相互抵接位置处围成限位凹槽,此时板材的四周边缘刚好嵌入限位凹槽内,板材的四周边缘的端面抵接在限位凹槽的槽底上;两个夹框的空心内腔重叠,板材在空心内腔处的部分与外界连通,再将两个夹框上避开限位凹槽的位置处固定连接,使得夹持机构由原来的打开状态切换到限位状态。同时,由于限位凹槽的两个槽壁之间的距离大于板材的厚度,使得板块在限位凹槽内在其厚度方向上存在活动间隙。

也即,限位凹槽的槽底对板材的长度和宽度方向进行限位,当两个夹框在限位状态下,板材不会从限位凹槽内脱离出来,避免掉板的现象发生;以及板材能够在限位凹槽内活动,板材在其厚度方向上不会受到夹紧力,避免板材因为夹紧力过大,损伤板材表面的现象发生。相反,需要将板材从夹持机构取出时,先解除两个夹框的固定连接,使两个夹框分离,就可以将板材从夹框内取出,实现夹持机构由限位状态切换到打开状态的过程。

2.本实用新型提供的夹持机构,两个所述夹框相互面对的第一表面中,至少有一个所述第一表面的一周上设有凹陷的台阶,所述台阶的台阶面与各自所在夹框的空心内腔相邻且连通;在所述限位状态下,所述台阶与其正对的另一个所述夹框的第一表面之间围成所述限位凹槽,从而只需在一个夹框的第一表面上设置台阶,即可形成限位凹槽,便于限位凹槽的加工和制备,此时在夹持板材时,先将板材放置在设有该台阶的夹框上,从而便于板材在夹框上的安装定位。

3.本实用新型提供的夹持机构,两个夹框的第一表面上均设置台阶,两个台阶相对形成限位凹槽,每个夹框上设置台阶,便于板材在任一个夹框上的安装和定位。

4.本实用新型提供的夹持机构,所述活动间隙l2为0.1~1倍的所述板材厚度l0,鉴于有些板材在进行所需工序时,板材必须沿竖向布置,防止活动间隙过大,板材在竖向的倾斜幅度增大,影响板材被所需工序处理的精确度,将活动间隙设置为上述的范围内时,就能够保证板材在其厚度方向不受夹紧力的同时板材倾斜的幅度在所需工序允许的误差范围内,确保板材被所需工序处理的精确度。

5.本实用新型提供的夹持机构,两个所述夹框均采用导电材料制成,限位凹槽内均可以起到导电作用,当板材装入限位凹槽内时,限位凹槽的槽底与板材直接接触,在板材的重力作用下,板材的一侧表面必然会与限位凹槽的槽壁接触,从而使该夹持机构能够将电传递给板材,实现板材在电镀工序中所需的电流。

6.本实用新型提供的夹持机构,采用导电材料制成的所述夹框的相邻于空心内腔的内侧壁上设有朝向空心内腔向内凸出的至少一个导电凸起,沿所述夹框的厚度方向,所述导电凸起上靠近所述限位凹槽的第二表面平齐或伸出与所述限位凹槽位于同侧的槽壁的内壁面,并在伸出时以缩小所述限位凹槽的槽口,所述槽口的槽宽大于所述板材的厚度l0。

此结构的夹持机构,进一步地设置导电凸起,来增强夹框对板材的导电性能,当然有些板材的表面上设置导电触点,这些导电触点又位于限位凹槽外,根据导电触点的位置在夹框内设置对应的导电凸起,通过导电凸起将夹框上的电传递给板材,使板材带上电。

7.本实用新型提供的电镀装置,包括上述中任一项所述的夹持机构,用于夹持待电镀板材,使板材在电镀过程中,板材不会被损伤或出现掉板的现象发生,进一步确保板材电镀工序的正常进行,提高板材电镀后产品的良率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为背景技术中的夹持机构的结构示意图;

图2为本实用新型实施例1中夹持机构的结构示意图(夹持机构处于竖向);

图3为图2中夹持机构的爆炸结构示意图;

图4为夹持机构处于水平状态的纵向剖面示意图;

图5为图4中限位凹槽与板材的局部放大示意图;

图6为图4中一个夹框的局部放大示意图;

图7为图4中夹持机构的限位凹槽与板材之间的局部示意图;

图8a为图2中夹持机构的夹框的第四表面上设有绝缘层的结构示意图;

图8b为图2中夹持机构的夹框的第三表面上设有绝缘层的结构示意图;

图9为本实用新型实施例1中提供的硅片的结构示意图;

图10为图9中硅片的局部放大示意图;

图11为图10中硅片的纵向剖面示意图;

图12为本实用新型实施例1中提供的夹持机构夹持硅片时的纵向剖面示意图;

图13为图12中夹持机构夹持硅片的立体结构示意图;

附图标记说明:

1-夹框;11-第一表面;12-第三表面;121-第一导电区域;122-第二导电区域;13-导电凸起;131-第二表面;14-限位凹槽;141-台阶;1411-台阶面;1412-阻挡面;

2-板材;21-基板;22-导电层;221-导电主格栅;222-导电副格栅;23-干膜层;

3-绝缘层;31-第一部分;32-第二部分;

4-紧固组件;41-螺栓;42-螺母。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外,下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供一种夹持机构,如图2至图6所示,包括相对可活动且可拆卸地固定的两个夹框1,为便于表述,两个夹框1分别表述为第一夹框(如图2中的左侧夹框)和第二夹框(如图2中的右侧夹框)。

两个夹框1可在限位状态与打开状态之间切换,其中,在限位状态下,第一夹框和第二夹框叠放设置并固定连接,两个夹框1的空心内腔重叠;如图4、图5及图6所示,第一夹框和第二夹框的相邻于空心内腔的一周内侧壁上在相互抵接位置处围成槽口连通于空心内腔的限位凹槽14,限位凹槽14适于供板材2的四周边缘嵌入,板材2的四周边缘的端面可抵接在限位凹槽14的槽底,从而使限位凹槽14的槽底对板材2的长度和宽度方向进行限位,避免板材2从限位凹槽14内脱离的现象发生;同时,如图7所示,限位凹槽14的两槽壁之间的距离l1大于板材2的厚度l0,以在两个槽壁之间形成供板材2活动的活动间隙l2,l2=l1-l0;则在板材2的厚度方向上,限位凹槽14的两个槽壁不会对板材2形成夹紧力,使板材2在限位凹槽14内沿其厚度方向不受到夹紧力,避免板材2因夹紧力过大而发生板材2损伤的现象发生。

第一夹框和第二夹框在限位状态下,采用多组的紧固组件4可拆卸地连接。比如,如图3所示,紧固组件包括螺栓41及与螺栓41配合的螺母42,或者紧固组件为螺丝或螺钉,或者其他固定结构,只需将第一夹框和第二夹框可拆卸地固定连接即可。比如,固定结构包括分别固定在第一夹框和第二夹框相互面对的第一表面11上的第一永磁体和第二永磁体,两个永磁体相互靠近的端部的极性相反,从而通过两个永磁体之间的磁吸附力,将第一夹框和第二夹框可拆卸地固定连接。

在打开状态下,第一夹框的空心内腔与第二夹框的空心内腔分离,比如,在打开状态下,第一夹框与第二夹框相互独立,直接将第一夹框从第二夹框上取走,即可使第一夹框和第二夹框分离开,从而打开限位凹槽14,将板材2从限位凹槽14内取出。

如图4、图5及图6所示,第一夹框和第二夹框相互面对的第一表面11中,每个第一表面11的一周上设有凹陷的台阶141,台阶141的台阶面1411与各自所在夹框1的空心内腔相邻且连通;在限位状态下,两个夹框1叠放布置,两个台阶141之间围成限位凹槽14。

当需要将板材2安装在限位凹槽14时,可以先将板材2四周的边缘搭接在第一夹框的台阶141的台阶面1411上,板材2四周边缘的端面抵靠在与台阶面1411垂直的阻挡面1412上,之后再将第二夹框叠放在第一夹框上,使第二夹框上的台阶141刚好与第一夹框上的台阶141对齐并围成限位凹槽14,从而便于板材2在限位凹槽14内的安装定位。由于第一夹框和第二夹框的结构相同,当然可以将板材2先装入第二夹框的台阶141上,再将第一夹框叠放在第二夹框上。

对于两个夹框而言,第一夹框和第二夹框可以均呈方形框,对应地限位凹槽14也呈方形凹槽,板材2也呈方形板块。或者,第一夹框和第二夹框均呈多边形,对应地限位凹槽14也呈多边形,板材2也呈多边形,只需板材2的四周边缘围成的外形结构与限位凹槽的槽底围成的外形结构相同即可。

对于活动间隙而言,若夹持机构在夹持板材2后,夹持机构和板材2均在水平方向上移动,由于在板材2的重力作用下,此时板材2的底部表面一直抵接在限位凹槽14的下方槽壁上,能够使板材2处于水平状态,此时无需对活动间隙的尺寸进行限制,可以根据实际需求来选择。若夹持机构在夹持板材2后,夹持机构和板材2均需沿竖向延伸,为防止板材2在限位凹槽14内,在竖向的倾斜幅度过大,影响板材2后续处理工序的精确度,此时,活动间隙l2最佳地为0.1~1倍的板材2厚度l0,由于板材2本身的长度远大于其厚度,当板材2沿竖向放置时,上述活动间隙范围的设置,使板材2沿竖向的倾斜角度很小,该倾斜角度均在后续处理工序的误差范围允许内,不会影响板材2沿竖向延伸时的后续处理工序的精确度。

比如,当板材2是硅片时,由于硅片一般很薄,最佳地上述的活动间隙l2=(0.1~1)l0,可以将二者的系数选取大点,比如l2=l0、l2=0.9l0、l2=0.85l0、l2=0.75l0等,当然活动间隙越小,板材2沿竖向的倾斜角度越小,对后续工序处理影响越小。当板材2为线路板时,由于线路板相对硅片较厚,将二者的系数选取小点,最佳地,上述的活动间隙l2=(0.1~0.5)l0,比如,l2=0.1l0、l2=0.15l0、l2=0.25l0、l2=0.35l0、l2=0.4l0、l2=0.5l0,l2与l0之间的系数选取较小时,使线路板沿竖向的倾斜角度越小。

为了让夹持机构在电镀领域中应用时,能够将外界传递到夹持机构上的电直接传递给板材2,两个夹框1均采用导电材料制成。优选地,导电材料为金属导电材质,比如金属导电材料为铝、铜等。不管板材2处于水平、竖直或倾斜,由于板材2的四周边缘的端面抵接在限位凹槽14的槽底上,板材2在其重力下,必然有部分表面抵接在限位凹槽14的槽壁上,从而当外界将电传递给第一夹框和第二夹框时,由于夹框1均采用导电材料制成,则限位凹槽14就可以将电直接传递给板材2,确保板材2在电镀过程中所需要的电流。

如图4和图6所示,每个夹框1的相邻于空心内腔的内侧壁上设有朝向空心内腔向内凸出的多个导电凸起13,同一个夹框1上的多个导电凸起13间隔布置;两个夹框1上的导电凸起13可以一一对应且相对布置在槽口的两侧。

沿夹框1的厚度方向上,每个导电凸起13上靠近限位凹槽14的第二表面131与限位凹槽14位于同侧的槽壁的内壁面平齐,使得板材2嵌入限位凹槽14内后,在板材2自身重力下,板材2的一侧表面能够与导电凸起13接触,从而使夹框1上的导电位置不仅有限位凹槽14的槽壁、限位凹槽14的槽底,还有导电凸起13,增加夹框1的导电性能。

由于在板材2电镀过程中,有些板材2的导电触点在板材2的边缘端面上,则此时导电触点通过与限位凹槽14的槽底接触实现导通;有些板材2的导电触点在板材2的任一侧表面或两侧表面上,此时导电触点若与限位凹槽14的任一槽壁接触时,通过限位凹槽14的槽壁实现导通;而有些板材2的导电触点虽然在板材2的任一侧或两侧表面上,但均位于限位凹槽14外,此时就通过单独设置的导电凸起13与板材2表面上的导电触点对应接触,以实现导通作用。也就是说,根据板材2上导电触点的设置位置不同来调整导电凸起13在夹框1上的布置位置。

比如,如图3所示,每个夹框1设有十二个导电凸起13,同一个夹框1内的所有导电凸起13均匀分布在夹框1的相对的两个内侧壁上,上方内侧壁设置六个导电凸起,下方内侧壁设置六个导电凸起。当板材沿竖向被夹持时,板材在其重力作用下,在夹持机构内沿竖向呈倾斜延伸,由于导电凸起分布在夹框的上部和下部,板材的两侧表面中,必然有一个表面与上部或下部的导电凸起接触,另一个表面与下部或上部的导电凸起接触,实现对板材两侧的导电触点进行传递电,进而对板材的两侧表面进行电镀处理。

比如,如图9、图10及图11所示,板材为硅片时,硅片包括基板21、两层导电层22及多个干膜层23。其中,两层导电层分别覆盖在基板21的两侧表面上,在任一导电层上间隔设置多个干膜层23,干膜层23类似掩膜版的作用,将导电层上无需导电的位置遮挡住,将需要导电的位置外露出来。如图9和图10所示,多个干膜层23在每层导电层上外露出的位置形成沿硅片长度方向(图9中的前后方向)延伸的导电主格栅221(相当于上述的导电触点),以及沿硅片宽度方向(图9中的左右方向)位于导电主格栅两侧的导电副格栅222;同时,导电层的外边缘未延伸至基板21的外边缘处,从而在基板的外边缘与导电层的外边缘之间的基板的位置处形成非导电区域,当采用本实施例的夹持机构夹持该硅片时,非导电区域嵌入限位凹槽内,限位凹槽不能将电传递给基板上的导电主格栅和导电副格栅,从而就需要单独设置的导电凸起13来对导电层上的导电主格栅和导电副格栅进行导电。如图12和图13所示,此时夹持机构上的导电凸起的位置刚好与导电主格栅接触,两个夹框的导电凸起刚好分别与两侧的导电主格栅接触,从而实现对硅片两侧的导电主格栅传递电,由于导电主格栅和导电副格栅处于导通状态,则只需导电凸起对导电主格栅传递电,即可对整个导电主格栅和导电副格栅进行导电,从而实现对板材两侧表面同时电镀的作用,另外,只需部分导电凸起13与硅片上的导电主格栅接触传递电,即可使整个硅片上的导电主格栅和导电副格栅均导通并带上电。

当然,同一个夹框1内的所有导电凸起13可以分布在夹框1的不同内侧壁上,以便于对板材2表面上不同位置的导电触点实现导通传递电,以形成板材2上的导电触点与导电凸起13的多点接触的非夹紧式导电方式,既能保证导电性,也能大幅度地降低板材2被损坏的概率。

另外,如图3、图4、图8a及图8b所示,两个夹框1相互背对的第三表面12和相互面对的第四表面上均覆盖有绝缘层3,其中图8a是夹框的第四表面上全部覆盖绝缘层,图8b是夹框的第三表面上部分覆盖绝缘层。

比如,绝缘层3采用涂在第三表面12、第四表面上的绝缘密封胶形成,由于夹持机构需要伸入电镀溶液中,一般需要绝缘密封胶具有耐酸碱性及耐高温性能。比如,绝缘密封胶最佳地为铁氟龙绝缘密封胶或者pvdf绝缘密封胶,或者其他的绝缘密封胶,由于绝缘密封胶本身具有粘性,可以直接粘接在第三表面12、第四表面上,使得第三表面12、第四表面均与外界密封且隔断开,起到绝缘作用,减少夹框1的第三表面12和第四表面的导电面积,当外界电传递至夹框1上时,电不能经过第三表面12和第四表面上的绝缘密封胶导通,降低夹框1在电镀过程中的参与面积,不会在夹框1的第三表面12和第四表面上电镀上金属离子,以减少电镀过程中所需的药水,进而节约成本。

绝缘层3除了采用上述的绝缘密封胶以外,还可以采用其他绝缘材料形成,比如绝缘材料为塑料、玻璃及陶瓷等材料。

当外界电传递至夹框1上的电流较小时,上述的绝缘层3可以全部覆盖夹框1的第三表面12。但当外界电传递至夹框1上的电流较大时,最佳地,绝缘层3部分覆盖在各自所在的第三表面12上。

如图3、图4及图8b所示,绝缘层3包括第一部分31和第二部分32,其中第一部分31围绕在空心内腔的外周,第一部分31与第二部分32之间的第三表面12外露出来,形成第一导电区域121。比如第一导电区域121围绕在第一部分31的外周;同时,在夹框1的长度方向上,第二部分32的外边缘(图4中右端边缘)也未延伸覆盖到第三表面12的外边缘(图4中右端边缘)处,第三表面12上处于其外边缘与第二部分32外边缘之间的部分形成第二导电区域122。

其中,在该夹持机构夹持待电镀的板材2时,通常外界电先传递给第二导电区域122,再通过第二导电区域122传递给整个夹框1;而第一导电区域121所起到的作用是分散夹框1上的部分电流,向外界释放一部分电流,防止夹框1上,尤其是导电凸起13处的电流过大,避免因电流过大而引起烧焦现象的发生,从而确保导电凸起13能够将电正常地传递给板材2表面上的导电触点。

本实施例中的夹持机构的制备过程为:

采用切割工艺在导电金属板上,切割出具有导电凸起的夹框,并在夹框内侧壁上切割出台阶,以得到一个夹框;采用相同工序得到另外一个夹框;

之后,采用喷涂方式在每个夹框的第三表面的整个表面上喷涂一层绝缘密封胶层,之后将需要外露的第一导电区域和第二导电区域位置处的绝缘密封胶层剥离掉;

再之后,将两个夹框的叠合,两个台阶正对以形成限位凹槽,及限位凹槽与空心内腔形成供板材放置的腔体;

最后,采用紧固组件将两个夹框固定连接即可。

在使用该夹持机构夹持板材时,可以先将一个板材放入一个夹框的台阶内,再将另一个夹框正对叠放于板材所在的夹框上,使两个台阶正对,并采用紧固组件锁紧两个夹框,之后晃动夹持机构,使得板材能够在腔体内活动,保证板材在其厚度方向上未处于夹紧状态即可。

作为上述实施例的可替换实施方式,第一夹框和第二夹框的一端可转动连接,通过转动第一夹框或第二夹框,使第一夹框与第二夹框重叠或分开,实现两个夹框1在限位状态与打开状态之间切换。

作为上述任一实施方式的可替换实施方式,夹框的第四表面也可以局部覆盖绝缘层,或者第四表面上不设绝缘层;作为变形,第三表面上部分覆盖绝缘层时,可以只形成第一导电区域或第二导电区域,或者第三表面上还可以不设置绝缘层。

作为上述任一实施方式的可替换实施方式,沿夹框1厚度方向,导电凸起13上靠近限位凹槽14的第二表面131可以伸出与限位凹槽14位于同侧的槽壁的内壁面,以缩小限位凹槽14的槽口,此时槽口在夹框的厚度方向的槽宽大于板材的厚度尺寸,以形成上述的活动间隙,确保板材嵌入限位凹槽内,在厚度方向上能够有活动间隙,板材在其厚度方向上不受夹紧力。

作为上述任一实施方式的可替换实施方式,每个夹框1上的导电凸起13可以只设置一个,或者其他数量,具体设置数量根据板材2表面上需要导电的导电触点的数量来确定。或者,作为变形,两个夹框1中,可以只在一个夹框1上设置导电凸起13,另一个夹框1上不设置导电凸起13,这样仅通过一侧的导电凸起13对板材2上与该侧导电凸起13接触的表面上的导电触点进行导电,也能够实现电镀过程。作为变形,两个夹框1中,可以只有一个夹框采用导电材料制成,采用导电材料制成的夹框上设置导电凸起;或者夹框还可以不设置上述的导电凸起。或者,两个夹框1均不采用导电采用制成,该夹持机构不起到导电作用。

作为上述任一实施例的可替换实施方式,对于限位凹槽14而言,两个夹框1上分别设置的台阶141,两个台阶141的阻挡面1412的厚度可以相等,也可以不相等,只需两个台阶141配合下形成限位凹槽14即可。作为变形,可以仅在一个夹框1上形成台阶141,另一个夹框1上不设置台阶141,一个台阶141与其正对的另一个夹框1(不设置台阶141对应的夹框1)的第一表面11之间也可以围成上述的限位凹槽14。另外,限位凹槽14的槽底可以是部分贯穿,部分未贯穿,未贯穿的槽底部分起到对板材2的边缘起到限位的作用。

实施例2

本实施例提供一种电镀装置,包括实施例1中提供的任一项夹持机构、多个电镀槽、多个电镀夹具。其中,多个电镀槽依次布置,并且相邻两个电镀槽的槽壁连通,电镀槽内用于放置电镀药水。

多个电镀夹具固定在输送机构,多个电镀夹具将夹持在实施例1中提供的夹持机构的一端上(比如,最佳地,夹持在实施例1中夹框1的第二导电区域122上),以使夹持机构沿竖向延伸悬空;板材2的四周边缘则嵌入夹持机构的限位凹槽14内,板材2的其余部分露在夹框1的空心内腔中。此时,最佳地夹框1采用导电金属材料制成,在电镀板材2时,输送机构驱动多个电镀夹具及夹持机构依次从前一个电镀槽转移到后一个电镀槽内,外界的电输送至电镀夹具,电镀夹具再将电输送给夹框1,夹框1再通过限位凹槽14或导电凸起13传递给板材2,从而使板材2带上电,带电的板材2与电镀槽内的电镀液接触,进而在板材2上电镀所需金属离子。

对于输送机构而言,可以是链条输送或者钢带输送,或者其他皮带输送机构都可以,只需输送机构能将多个电镀夹具从前一个电镀槽输送到后一个电镀槽内即可。

此实施方式的电镀装置,由于采用实施例1中的夹持机构,使得电镀夹具与板材2之间形成间接的固定方式,电镀夹具不直接夹持板材2,而是通过夹持机构的非夹紧式限位方式,避免板材2出现掉板现象及由于夹紧力过大而造成板材2损伤的现象发生,从而能够提高板材2电镀的良品率。

作为变形,电镀槽可以为一个,输送机构驱动多个电镀夹具在一个电镀槽内移动,或者电镀夹具为一个,来固定夹持机构。或者,夹持机构还可以不采用导电材料制成,对应地无需设置导电凸起,此时电镀夹具与板材2之间还需要设置间接的导电体,最好地,导电体与板材2是直接接触,比如采用导线或者导电片。

另外,当夹持机构采用导电材料制成时,电镀装置中还可以不设置电镀夹具,外界电可以直接传递给夹持机构的夹框1上,也能将外界电传递给板材2。

显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

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