哈氏合金电解抛光工艺的制作方法
【专利说明】
[0001]技术领域:
本发明属于抛光工艺技术领域，特别是涉及一种哈氏合金电解抛光工艺。
[0002]【背景技术】:
哈氏合金电解抛光工艺，有其特别的重要性。IC装备用哈氏合金电解抛光要求:工件表面发暗无明显金属光泽。工件表面容易形成腐蚀点或花斑，影响工件功能。哈氏合金电解抛光制程与其他不锈钢工件电解抛光不同，一般电解抛光工艺处理哈氏合金工件，会导致工件表面发暗无明显光亮度且容易形成腐蚀点及花斑，无法满足客户要求。
【发明内容】
[0003]针对上述存在的技术问题，解决哈氏合金工件电解抛光过程中，工件表面发暗无明显光亮度且容易形成腐蚀点及花斑等问题，本发明的目的是提供一种哈氏合金电解抛光工艺。它通过调整前处理方式及控制过程得到良好的电解抛光效果。
[0004]本发明的目的是通过如下技术方案实现的:
本发明一种哈氏合金电解抛光工艺，包括如下步骤:
(I)对哈氏合金电解抛光工件进行干燥洁净预处理，保证工件表面无多余水分；
(2 )对干燥洁净工件直接进行电解抛光处理:将吹干后工件用钛合金夹具，放入电抛槽后，立刻通电，通电方式为恒压直流，电解抛光，电流密度控制在5-7A/dm2;
(3)将电抛后工件放入38-42°C的热水中清洗2min后吹干。
[0005]进一步地，所述预处理是将工件用水洗去除表面油污，使用压缩空气吹干工件表面。
[0006]进一步地，所述电解抛光溶液为Isopol 140电解抛光药水，过程工艺参数为:温度:50-65°C，电压:8-12V,电解抛光 60_120s。
[0007]进一步地，所述电抛槽使用钛丝做阴极，极板面积为零件面积的1/3-1/5。
[0008]本发明的有益效果是:
本发明运用通用的电解抛光药液，通过调整前处理方式及控制过程得到良好的电解抛光效果，哈氏合金工件电解抛光表面外观良好，表面光亮度增加，具有明显金属光泽，无花斑腐蚀等问题，并且有效保证加工质量。
[0009]【具体实施方式】:
下面实施例对本发明进行详细描述。
[0010]实施例1:本发明哈氏合金电解抛光工艺，具体步骤如下:
(I)对哈氏合金电解抛光工件进行干燥洁净预处理，保证工件表面无多余水分；所述预处理是将工件用水洗去除表面油污，使用压缩空气吹干工件表面，以减少表面花斑。
[0011](2)对干燥洁净工件直接进行电解抛光处理:将吹干后工件用钛合金夹具，放入电抛槽后，立刻通电，避免自然状态下工件在药水中腐蚀；通电方式为恒压直流，电流密度控制在5-7A/dm2;所述电解抛光溶液为Isopol 140电解抛光药水，过程工艺参数为:温度:50-65°C,电压:8-12V，电解抛光:60_120s。所述电抛槽使用钛丝做阴极，极板面积为零件面积的1/3-1/5。
[0012](3)将电抛后工件放入38_42°C的热水中清洗2min后吹干。
[0013]实施例2:本例与实施例1不同的是:本例中工艺参数为:电流密度控制在5A/dm2;所述电解抛光过程工艺参数为:温度:50°C，电压:8V，电解抛光:60s。所述电抛槽使用钛丝做阴极，极板面积为零件面积的1/3。将电抛后工件放入38°C的热水中清洗2min后吹干。
[0014]实施例3:本例与实施例1不同的是:本例中工艺参数为:电流密度控制在7A/dm2;所述电解抛光过程工艺参数为:温度:65°C，电压:12V，电解抛光:120s。所述电抛槽使用钛丝做阴极，极板面积为零件面积的1/5。将电抛后工件放入42°C的热水中清洗2min后吹干。
[0015]实施例4:本例与实施例1不同的是:本例中工艺参数为:电流密度控制在6A/dm2;所述电解抛光过程工艺参数为:温度:60°C，电压:10V，电解抛光:100s。所述电抛槽使用钛丝做阴极，极板面积为零件面积的1/4。将电抛后工件放入40°C的热水中清洗2min后吹干。
【主权项】
1.一种哈氏合金电解抛光工艺，其特征在于:包括如下步骤: (I)对哈氏合金电解抛光工件进行干燥洁净预处理，保证工件表面无多余水分； (2 )对干燥洁净工件直接进行电解抛光处理:将吹干后工件用钛合金夹具，放入电抛槽后，立刻通电，通电方式为恒压直流，电解抛光，电流密度控制在5-7A/dm2; (3)将电抛后工件放入38-42°C的热水中清洗2min后吹干。
2.如权利要求1所述哈氏合金电解抛光工艺，其特征在于:所述预处理是将工件用水洗去除表面油污，使用压缩空气吹干工件表面。
3.如权利要求1所述哈氏合金电解抛光工艺，其特征在于:所述电解抛光溶液为Isopol 140电解抛光药水，过程工艺参数为:温度:50-65°C，电压:8_12V，电解抛光60-120so
4.按照权利要求1所述的哈氏合金电解抛光工艺，其特征在于:所述电抛槽使用钛丝做阴极，极板面积为零件面积的I/3-1/5。
【专利摘要】一种哈氏合金电解抛光工艺，属于抛光工艺技术领域。具体步骤为：对哈氏合金电解抛光工件进行干燥洁净预处理，保证工件表面无多余水分；对干燥洁净工件直接进行电解抛光处理：将吹干后工件用钛合金夹具上挂，放入电抛槽后，立刻通电，通电方式为恒压直流，电解抛光60-120s，电流密度控制在5-7A/dm2；将电抛后工件放入38-42℃的热水中清洗2min后吹干。本发明运用通用的电解抛光药液，通过调整前处理方式及控制过程，使哈氏合金工件电解抛光表面外观良好，表面光亮度增加有明显金属光泽无花斑腐蚀，并有效保证加工质量。
【IPC分类】C25F3-22
【公开号】CN104532338
【申请号】CN201410754930
【发明人】张少杰
【申请人】沈阳富创精密设备有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年12月11日