一种电解抛光治具及电解装置的制造方法
【专利摘要】一种电解抛光治具，属于表面处理技术领域。包括钛多环、两根钛杆及置于钛杆两端的固定环，所述钛多环由至少一根钛丝绕成多环形状，各环之间存在预设间隔，所述钛多环由所述两根钛杆交叉固定，钛杆长度大于沿钛杆延伸方向的钛多环直径，每根钛杆的两端分别具有一个所述固定环。本实用新型增加了电解阴极面积，在电解抛光时，阳极凸起处粘膜薄，电流密度大，电位升高，表面析出大量氧气，加快产品小孔处毛刺凸起部位的粘膜溶解速度，使表面平滑，去除毛刺，且本电解抛光治具的钛多环各环间距相等，电解抛光效果更加均匀。
【专利说明】
一种电解抛光治具及电解装置
技术领域
[0001]本发明属于表面处理技术领域，特别涉及一种IC装备制造业的小孔电解抛光治具及电解装置。
【背景技术】
[0002]目前IC装备(半导体器件、集成电路芯片和平板显示器的专用生产设备)制造行业中，需要电解抛光的产品很多，其可以美化产品外观，使产品表面粗糙度和光亮度都有很大改善;但对于有小孔的产品，于小孔电解抛光时溶液流动性不好，去除毛刺实现难度大。
【发明内容】
[0003]针对上述存在的技术问题，本发明提供了一种电解抛光治具，能够更好的实现本发明目的。
[0004]同时，本发明还提供了一种电解装置，通过在电解装置中增加电解阴极面积，更好地去除有小孔产品的小孔处毛刺。
[0005]本发明目的是通过如下技术方案实现的:
[0006]本发明一种电解抛光治具，包括钛多环、两根钛杆及置于钛杆两端的固定环，所述钛多环由至少一根钛丝绕成多环形状，各环之间存在预设间隔，所述钛多环由所述两根钛杆交叉固定，钛杆长度大于沿钛杆延伸方向的钛多环直径，每根钛杆的两端分别具有一个所述固定环。
[0007]进一步地，所述钛多环由钛丝沿同一方向绕制而成，且各环之间间隔相等。
[0008]进一步地，所述钛多环的钛丝直径为5mm。
[0009]进一步地，所述两根钛杆交叉成十字型分别焊接于所述钛多环上，交叉点为钛多环的中心点。
[0010]进一步地，所述钛杆由两根钛丝构成。
[0011]进一步地，所述两根钛杆位于钛多环的同一侧。
[0012]进一步地，所述固定环为“U”型；由钛丝弯制而成。
[0013]本发明一种电解装置，包括所述的电解抛光治具；
[0014]电解阴极；
[0015]产品上挂挂具；
[0016]所述电解抛光治具通过一根钛杆两端的固定环与所述电解阴极连接，通过另一根钛杆两端的固定环与所述产品上挂挂具固定。
[0017]进一步地，所述电解抛光治具与所述产品上挂挂具的固定连接处通过绝缘介质隔离。
[0018]进一步地，所述电解抛光治具钛丝的环形与产品的小孔工位对准，且与产品的距离为 5-10cm。
[0019]本发明的有益效果:
[0020]本发明增加了电解阴极面积，在电解抛光时，阳极凸起处粘膜薄，电流密度大，电位升高，表面析出大量氧气，加快产品小孔处毛刺凸起部位的粘膜溶解速度，使表面平滑，去除毛刺，且本电解抛光治具的钛多环各环间距相等，电解抛光效果更加均匀。
【附图说明】
[0021]附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中:
[0022]图1为本发明实施例中电解抛光治具的结构示意图。
[0023]图2为本发明实施例中电解装置的结构示意图。
[0024]附图标记说明
[0025]I钛多环2钛杆3固定环I电解抛光治具
[0026]Π电解阴极m产品上挂挂具
【具体实施方式】
[0027]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
[0028]图1是根据本发明的一种实施例提供的电解抛光治具的结构示意图。如图1所示，本发明提供的电解抛光治具包括:钛多环1、两根钛杆2及置于钛杆2两端的固定环3，其中钛多环I由至少一根钛丝沿同一方向绕成多环形状，示例地，钛丝直径为5mm;各环之间存在预设间隔，示例地，各环之间间隔相等，电解抛光效果更加均匀;钛多环I由两根钛杆2交叉固定，钛杆2长度大于沿钛杆2延伸方向的钛多环I的直径，示例地，两根钛杆2交叉成十字型，分别焊接于钛多环I上，交叉点为钛多环I的中心点，两根钛杆2可以位于钛多环I的同侧，也可分置在钛多环I的两侧，为了固定更加牢固，钛杆2由两根钛丝构成;每根钛杆2的两端分别具有一个固定环3，示例地，钛杆2两端的固定环3为“U”型，用于同电解装置的电解阴极Π及产品上挂挂具m连接。
[0029]图2是根据本发明的另一种实施例提供的电解装置的结构示意图。如图2所示，本发明提供的电解装置包括:电解抛光治具1、电解阴极Π及产品上挂挂具m。
[0030]如图1所示，电解抛光治具I包括:钛多环1、两根钛杆2及置于钛杆2两端的固定环3，其中钛多环I由至少一根钛丝沿同一方向绕成多环形状，示例地，钛丝直径为5mm;各环之间存在预设间隔，示例地，各环之间间隔相等，电解抛光效果更加均匀;钛多环I由两根钛杆2交叉固定，钛杆2长度大于沿钛杆2延伸方向的钛多环I的直径，示例地，两根钛杆2交叉成十字型，分别焊接于钛多环I上，交叉点为钛多环I的中心点，两根钛杆2可以位于钛多环I的同侧，也可分置在钛多环I的两侧，为了固定更加牢固，钛杆2由两根钛丝构成;每根钛杆2的两端分别具有一个固定环3，示例地，钛杆2两端的固定环3为“U”型。
[0031]电解抛光治具I通过一根钛杆2两端的两个固定环3与电解阴极Π连接，以增大电极面积，通过另一根钛杆2两端的固定环3与产品上挂挂具m固定，固定连接处通过绝缘介质进行隔离，所述绝缘介质为聚氯乙烯胶带或在产品上挂挂具m上套置绝缘壳，防止连接导电;在电解抛光时，电解抛光治具I与产品的小孔工位对准，且与产品距离5-lOcm。
[0032]以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，本优选实施方式中的电解装置因采用了电解抛光治具I，增大了阴极面积，根据电解抛光粘膜理论，阳极凸起处粘膜薄，电流密度大，电位升高，表面析出大量氧气，加快产品小孔处毛刺凸起部位的粘膜溶解速度，使表面平滑，去除毛刺，且本电解抛光治具I的钛多环I各环间距相等，使电解抛光效果更加均匀。
【主权项】
1.一种电解抛光治具，其特征在于:包括钛多环、两根钛杆及置于钛杆两端的固定环，所述钛多环由至少一根钛丝绕成多环形状，各环之间存在预设间隔，所述钛多环由所述两根钛杆交叉固定，钛杆长度大于沿钛杆延伸方向的钛多环直径，每根钛杆的两端分别具有一个所述固定环。2.如权利要求1所述的电解抛光治具，其特征在于:所述钛多环由钛丝沿同一方向绕制而成，且各环之间间隔相等。3.如权利要求1或2所述的电解抛光治具，其特征在于:所述钛多环的钛丝直径为5_。4.如权利要求1所述的电解抛光治具，其特征在于:所述两根钛杆交叉成十字型分别焊接于所述钛多环上，交叉点为钛多环的中心点。5.如权利要求4所述的电解抛光治具，其特征在于:所述钛杆由两根钛丝构成。6.如权利要求4所述的电解抛光治具，其特征在于:所述两根钛杆位于钛多环的同一侧。7.如权利要求1所述的电解抛光治具，其特征在于:所述固定环为“U”型；由钛丝弯制而成。8.一种电解装置，其特征在于:所述电解装置包括: 权利要求1-6中任一项所述的电解抛光治具； 电解阴极； 产品上挂挂具； 所述电解抛光治具通过一根钛杆两端的固定环与所述电解阴极连接，通过另一根钛杆两端的固定环与所述产品上挂挂具固定。9.如权利要求7所述的电解装置;其特征在于:所述电解抛光治具与所述产品上挂挂具的固定连接处通过绝缘介质隔离。10.如权利要求7所述的电解装置;其特征在于:所述电解抛光治具钛丝的环形与产品的小孔工位对准，且与产品的距离为5-lOcm。
【文档编号】C25F7/00GK205676552SQ201620542198
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月7日 公开号201620542198.0, CN 201620542198, CN 205676552 U, CN 205676552U, CN-U-205676552, CN201620542198, CN201620542198.0, CN205676552 U, CN205676552U
【发明人】徐宏岩
【申请人】沈阳富创精密设备有限公司