一种不规则弯管内部的电抛辅助阴极治具的制作方法
【专利摘要】一种不规则不锈钢弯管内部的电抛辅助阴极治具，属于金属表面处理加工技术领域。包括带有螺母的圆柱杆及螺纹连接杆，圆柱杆的无螺母端带有螺纹，电解抛光时，圆柱杆带有螺母的一端置于不锈钢弯管内，带有螺纹的一端通过固定螺母固定在绝缘板上，所述圆柱杆上的螺母对应不锈钢弯管上的管口，螺纹连接杆伸入管口连接在圆柱杆的螺母上。本实用新型能有效对不规则弯管零部件内部管道进行电解抛光。其中螺母圆柱杆的螺纹一端通过绝缘板及螺母与电抛阴极固定，保证了辅助阴极的稳定性及导电性。而其另一端上的螺母根据弯管分叉管路的角度及数量，可以连接并固定多个螺纹圆柱杆，有效地提升了不规则弯管内部的电抛性能。
【专利说明】
一种不规则弯管内部的电抛辅助阴极治具
技术领域
[0001]本发明属于金属表面处理加工技术领域，特别是涉及一种不规则弯管内部的电抛辅助阴极治具，适用于IC装备(半导体器件、集成电路芯片和平板显示器的专用生产设备)制造业的不规则弯管内部电抛的辅助阴极治具。
【背景技术】
[0002]目前IC装备制造行业中需要电抛的腔体、管件较多，对于规则腔体及简单的管件而言，其内部比较容易电抛。但是对于不规则、分叉较多的弯管而言，仅仅依靠外部阴极则无法满足弯管内部的电抛要求。鉴于上述情况，有必要设计一种既可以电抛弯管内部每个分叉管路还可以牢固固定的辅助阴极治具。
【发明内容】
[0003]针对上述存在的技术问题，本发明提供一种不规则弯管内部的电抛辅助阴极治具，它既可以安全地对不规则弯管内部进行电抛，又可以提升电抛性能。
[0004]本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:
[0005]本发明一种不规则不锈钢弯管内部的电抛辅助阴极治具，包括带有螺母的圆柱杆及螺纹连接杆，圆柱杆的无螺母端带有螺纹，电解抛光时，圆柱杆带有螺母的一端置于不锈钢弯管内，带有螺纹的一端通过固定螺母固定在绝缘板上，所述圆柱杆上的螺母对应不锈钢弯管上的管口，螺纹连接杆伸入管口连接在圆柱杆的螺母上。
[0006]进一步地，所述圆柱杆设置多个螺母，所述螺母的数量与不锈钢弯管上所带的管口数量相同，螺纹连接杆与螺母数量相同，分别对应连接。
[0007 ]进一步地，所述圆柱杆上安装螺母的方向与零件管口方向一致。
[0008]进一步地，所述圆柱杆与不锈钢弯管侧壁之间留有大于1mm的安全距离。
[0009]本发明的有益效果为:
[0010]1.本发明能有效对不规则弯管零部件内部管道进行电解抛光。其中螺母圆柱杆的螺纹一端通过绝缘板及螺母与电抛阴极固定，保证了辅助阴极的稳定性及导电性。而其另一端上的螺母根据弯管分叉管路的角度及数量，可以连接并固定多个螺纹圆柱杆，有效地提升了不规则弯管内部的电抛性能。
[0011]2.本发明既拆卸简便且易固定，在解决弯管内部电抛问题的同时，进一步提升了电抛效率及电抛性能。本发明尤其适用于不规则弯管内部的电抛。
【附图说明】
[0012]图1为本发明的分解结构示意图。
[0013]图2为图1的螺母-圆柱杆示意图。
[0014]图3为本发明使用时安装的弯管结构示意图。
[0015]图中:1.圆柱杆，2.螺母，3.螺纹杆，4.不锈钢弯管，5.管口，6.连接座。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图和实施例对本发明进行详细描述。
[0017]实施例:如图1-图3所示，本发明包括带有螺母的圆柱杆I及螺纹连接杆3，圆柱杆I的无螺母端带有螺纹，本例不锈钢弯管4上所带的管口为2个，所述圆柱杆I设置2个螺母，螺纹连接杆为2个，分别对应两个螺母连接。
[0018]电解抛光时，圆柱杆I带有螺母的一端置于不锈钢弯管4内，圆柱杆I带有螺纹的一端通过固定螺母固定在绝缘板上，所述圆柱杆I上的螺母2对应不锈钢弯管4上的管口 5，两个螺纹连接杆2分别伸入两管口 5连接在圆柱杆I的两个螺母2上。
[0019]所述圆柱杆I上安装两个螺母2的方向与不锈钢弯管4的两管口5方向一致。
[0020]所述圆柱杆I与不锈钢弯管侧壁之间留有大于1mm足够的安全距离。
[0021]本发明在电抛时，首先分别将不锈钢弯管4通过其连接座和开有通孔的绝缘板固定在电抛钛杆上，并用扳手进行紧固；然后，将带有螺母端的螺母圆柱杆I深入不锈钢弯管4中，并将其调整至不锈钢弯管4的中心，同时将圆柱杆I的螺纹端固定在绝缘板上。固定时，注意将螺母2的方向与螺纹杆3的连接方向保持一致，同时保证螺母圆柱杆I与管件侧壁之间留有足够的安全距离;最后，分别按照图示箭头方向，将螺纹连接杆2的螺纹通过管口 5旋入螺母2中，并紧固二者即可。
[0022]完成上述步骤后，再通过螺母圆柱杆I的螺纹端与电抛阴极相连接，注意保证二者之间连接的紧密性。
[0023]本发明中圆柱杆I上的螺母2数量和不锈钢弯管4上的管口数量一致，与螺母2连接的螺纹杆3对应设置。螺母2的设置方向根据不锈钢弯管零件设置。
【主权项】
1.一种不规则不锈钢弯管内部的电抛辅助阴极治具，其特征在于:包括带有螺母的圆柱杆及螺纹连接杆，圆柱杆的无螺母端带有螺纹，电解抛光时，圆柱杆带有螺母的一端置于不锈钢弯管内，带有螺纹的一端通过固定螺母固定在绝缘板上，所述圆柱杆上的螺母对应不锈钢弯管上的管口，螺纹连接杆伸入管口连接在圆柱杆的螺母上。2.按照权利要求1所述的电抛辅助阴极，其特征在于:所述圆柱杆设置多个螺母，所述螺母的数量与不锈钢弯管上所带的管口数量相同，螺纹连接杆与螺母数量相同，分别对应连接。3.按照权利要求1所述的电抛辅助阴极，其特征在于:所述圆柱杆上安装螺母的方向与零件管口方向一致。4.按照权利要求1所述的电抛辅助阴极，其特征在于:所述圆柱杆与不锈钢弯管侧壁之间留有大于1mm的安全距离。
【文档编号】C25F3/16GK205676553SQ201620475188
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年5月23日 公开号201620475188.X, CN 201620475188, CN 205676553 U, CN 205676553U, CN-U-205676553, CN201620475188, CN201620475188.X, CN205676553 U, CN205676553U
【发明人】安朋娜, 郑广文
【申请人】沈阳富创精密设备有限公司