专利名称：一种多级干式真空泵转子与轴结构及应用的制作方法
技术领域：
本发明涉及真空设备领域，具体说是涉及一种多级干式真空泵转子与轴结构及应用。
背景技术：
干式真空泵与普通油泵相比突出特点是使工作容积中无油，这样可降低如芯片、 药品、食物等最终产品的污染，可以减少油的用量，节能环保，并且使真空腔内不受水蒸气或灰尘、颗粒的影响，增强了真空泵的可靠性。因此干式真空泵的前景广阔。普通多级罗茨干式真空泵使用了多级罗茨转子串联，获得了较高的压缩比，相对耗电量小，但是气路设计复杂，真空腔体体积较大。普通多级爪型干式真空泵使用了多级爪型转子串联，气路设计简单，可减少真空泵体积，但是在低真空下抽气效率比罗茨泵低。本发明设计的一种多级干式真空泵转子与轴结构及应用，将三叶罗茨转子与异型爪型转子相结合，既在一定程度上减少了真空泵的体积，简化气路设计，并提高抽气效率。 三叶罗茨转子可分化气流，减少气体冲击振动，并提高低真空下抽气效率。异型爪型转子， 使转子间产生相对滑动，带动气体流动。
发明内容
本发明的目的是提供一种多级干式真空泵转子与轴结构，包括轴、多叶罗茨转子、 异型爪型转子，所述结构为5级转子串联，两个多叶罗茨转子分别热胀装配于轴上第一级和第五级，轴在第二级到第四级转子为异型爪型转子并且每个异型爪型转子角度位置相同。所述多叶罗茨转子为三叶罗茨转子。所述异型爪型转子为单爪，分别为放大的异型爪型转子A和外轮廓按比例缩小的异型爪型转子B，且为异型爪型转子A、B交替串联，每级异型爪型转子间的相差角度为0度。本发明所述结构的应用方法为需要成对使用，安装在干式真空泵中，并且保证相啮合的转子为三叶罗茨与三叶罗茨，异型爪型转子A对异型爪型转子B，其中异型爪型转子 A侧开有该级的排气口，而异型爪型转子B侧开有该级的吸气口。本发明的优点是将三叶罗茨转子与异型爪型转子相结合，减少了真空泵的体积， 简化气路设计，并提高抽气效率。能够使以这种转子和轴组合安装方式工作的多级干式真空泵的极限压力小于3Pa。
图1为多级干式真空泵转子与轴的结构图，图2为异型爪型转子剖视图，图3为轴结构图。其中1、轴；2、三叶罗茨转子；3、异型爪型转子A ；4、异型爪型转子B ；5、销轴；6、 固定螺钉；7、转子上销轴孔；8、轴上销轴孔。
具体实施例方式本发明是一种多级干式真空泵转子与轴的组合安装方式，其结构图如图1、图2、 图3所示。两个三叶罗茨转子3分别热胀装配于轴1上第一级和第五级，轴1在第二级到第四级转子安装处分别开有位置相同的带螺纹的销轴孔8，异型爪型转子在侧面也开有销轴孔7，并且每个异型爪型转子的销轴孔7的开孔角度位置相同。通过销轴5的连接，异型爪型转子准确固定在轴1上，并用固定螺钉锁紧。要求相邻的在同一根轴上的异型爪型转子级爪的旋转方向为反向，且为异型爪型转子A3、异型爪型转子B4交替串联。本发明的结构需要成对使用，安装在干式真空泵中，并且保证相啮合的转子为三叶罗茨与三叶罗茨，异型爪型转子A对异型爪型转子B。其中异型爪型转子A侧开有该级的排气口，而异型爪型转子B侧开有该级的吸气口。
权利要求
1.一种多级干式真空泵转子与轴的结构，其特征在于包括轴、多叶罗茨转子、异型爪型转子，所述结构为5级转子串联，两个多叶罗茨转子分别热胀装配于轴上第一级和第五级，轴在第二级到第四级转子为异型爪型转子并且每个异型爪型转子角度位置相同。
2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于所述多叶罗茨转子为三叶罗茨转子。
3.根据权利要求1所述的结构，其特征在于所述异型爪型转子为单爪，分别为异型爪型转子A异型爪型转子B，且为异型爪型转子A、B交替串联，每级异型爪型转子间的相差角度为0度。
4.一种权利要求1所述结构的应用，其特征在于需要成对使用，安装在干式真空泵中，并且保证相啮合的转子为三叶罗茨与三叶罗茨，异型爪型转子A对异型爪型转子B，其中异型爪型转子A侧开有该级的排气口，而异型爪型转子B侧开有该级的吸气口。
全文摘要
本发明公开一种多级干式真空泵转子与轴的结构，包括轴、多叶罗茨转子、异型爪型转子，所述结构为5级转子串联，两个多叶罗茨转子分别热胀装配于轴上第一级和第五级，轴在第二级到第四级转子为异型爪型转子并且每个异型爪型转子角度位置相同；所述结构需要成对使用，安装在干式真空泵中，并且保证相啮合的转子为三叶罗茨与三叶罗茨，异型爪型转子A对异型爪型转子B，其中异型爪型转子A侧开有该级的排气口，而异型爪型转子B侧开有该级的吸气口。本发明的优点是将三叶罗茨转子与异型爪型转子相结合，减少了真空泵的体积，简化气路设计，并提高抽气效率。能够使以这种转子和轴组合安装方式工作的多级干式真空泵的极限压力小于3Pa。
文档编号F04C25/02GK102278311SQ20101019913
公开日2011年12月14日 申请日期2010年6月12日 优先权日2010年6月12日
发明者孔祥玲, 张振厚, 王光玉 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司